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1、传感器的定义国家标准 GB7665-87 对传感器下的定义是： “能感受规定的被测量并按照一定的 规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。传感器是一 种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成 为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录 和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的作用人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官。而单靠人们自身的感觉器官, 在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况， 就需要传感器。因此可以说，传感器是人类 五宜的延长，又称之为电
2、五官。新技术革命的到来，世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中，首先要解决 的就是要获取准确可靠的信息， 而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与 手段。在现代工业生产尤其是自动化生产过程中， 要用各种传感器来监视和控制生产过 程中的各个参数，使设备工作在正常状态或最佳状态，并使产品达到最好的质量。因 此可以说，没有众多的优良的传感器，现代化生产也就失去了基础。在基础学科研究中，传感器更具有突出的地位。现代科学技术的发展，进入了许 多新领域：例如在宏观上要观察上千光年的茫茫宇宙，微观上要观察小到 cm 的粒子 世界，纵向上要观察长达数十万年的天体演化，短到 s 的瞬间反应。此外，还出现
3、 了对深化物质认识、开拓 新能源、新材料等具有重要作用的各种极端技术研究，如超 高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁砀等等。显然，要获取大量人 类感官无法直接获取的信息，没有相适应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的 障碍，首先就在于对象信息的获取存在困难，而一些新机理和高灵敏度的检测传感器 的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发 的先驱。传感器早已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、 医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其之泛的领域。可以毫不夸张地说，从茫 茫的太空，到浩瀚的海洋，以至各种复杂的工程系统，几乎每一个现
4、代化项目，都离 不开各种各样的传感器。由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，是十分明显 的。世界各国都十分重视这一领域的发展。相信不久的将来，传感器技术将会出现一 个飞跃，达到与其重要地位相称的新水平。敏感元件的分类物理类，基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。化学类，基于化学反 应的原理。生物类，基于酶、抗体、和激素等分子识别功能。通常据其基本感知功 能可分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、 色敏元件和味敏元件等十大类 （还有人曾将敏感元件分 46 类）。编辑本段 传感器的分类可以用不同的观点对传感器进行分类：它们的
5、转换原理 （传感器工作的基本物理 或化学效应 ）；它们的用途；它们的输出信号类型以及制作它们的材料和工艺等。根据传感器工作原理，可分为 物理传感器 和化学传感器 二大类:传感器工作原理的分类物理传感器应用的是物理效应，诸如 压电效应,磁致伸缩 现象，离化、极化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电 信号。化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器，被测 信号量的微小变化也将转换成电信号。有些传感器既不能划分到物理类，也不能划分为化学类。大多数传感器是以物理 原理为基础运作的。 化学传感器技术问题较多， 例如可靠性问题， 规模生产的可能性， 价格问题等，
6、解决了这类难题，化学传感器的应用将会有巨大增长。常见传感器的应用领域和工作原理列于下表。1. 按照其用途，传感器可分类为:压力敏和力敏传感器 口位置传感器液面传感器口能耗传感器速度传感器加速度传感器 射线辐射传感器 热敏传感器2. 按照其原理，传感器可分类为:振动传感器湿敏传感器 磁敏传感器 气敏传感器 真空度传感器 生物传感器等。 以其输出信号为标准可将传感器分为: 模拟传感器 将被测量的非电学量转换成模拟电信号。数字传感器 将被测量的非电学量转换成数字输出信号 （包括直接和间接转 换）。 膺数字传感器 将被测量的信号量转换成频率信号或短周期信号的输出 （包括 直接或间接转换 ）。 开关传感
7、器 当一个被测量的信号达到某个特定的阈值时， 传感器相应地输出 一个设定的低电平或高电平信号。在外界因素的作用下，所有材料都会作出相应的、具有特征性的反应。它们中的 那些对外界作用最敏感的材料，即那些具有功能特性的材料，被用来制作传感器的敏 感元件。从所应用的材料观点出发可将传感器分成下列几类:(1) 按照其所用材料的类别分口金属口聚合物口陶瓷口混合物口(2) 按材料的物理性质分口 口导体口绝缘体口半导体口磁性材料口(3) 按材料的晶体结构分口单晶口多晶口非晶材料口与采用新材料紧密相关的传感器开发工作，可以归纳为下述三个方向：口( 1 )在已知的材料中探索新的现象、 效应和反应， 然后使它们能
8、在传感器技术中得 到实际使用。口(2) 探索新的材料，应用那些已知的现象、效应和反应来改进传感器技术。口(3) 在研究新型材料的基础上探索新现象、 新效应和反应， 并在传感器技术中加以 具体实施。口现代传感器制造业的进展取决于用于传感器技术的新材料和敏感元件的开发强 度。传感器开发的基本趋势是和半导体以及介质材料的应用密切关联的。表 1.2 中给 出了一些可用于传感器技术的、能够转换能量形式的材料。口按照其制造工艺，可以将传感器区分为：集成传感器口薄膜传感器口厚膜传感器口陶瓷传感器 集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。 通常还将用 于初步处理被测信号的部分电路也集成在同
9、一芯片上。口薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底 (基板)上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。口厚膜传感器是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是 Al2 O3 制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。口 完成适当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感 器这二种工艺之间有许多共同特性，在某些方面，可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一 种变型。口每种工艺技术都有自己的优点和不足。由于研究、开发和生产所需的资本投入较 低，以及传感器参数的高稳定性等原因，采用陶瓷和
10、厚膜传感器比较合理。编辑本段传感器静态特性传感器的静态特性是指对静态的输入信号， 传感器的输出量与输入量之间所具有 相互关系。因为这时输入量和输出量都和时间无关，所以它们之间的关系，即传感器 的静态特性可用一个不含时间变量的代数方程，或以输入量作横坐标，把与其对应的 输出量作纵坐标而画出的特性曲线来描述。表征传感器静态特性的主要参数有：线性度、灵敏度、迟滞、重复性、漂移等。（1）线性度：指传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程 度。定义为在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的最大偏差值与满量程输出 值之比。（2）灵敏度：灵敏度是传感器静态特性的一个重要指标。其定义为输出量的
11、增 量与引起该增量的相应输入量增量之比。用 S 表示灵敏度。（3）迟滞：传感器在输入量由小到大（正行程）及输入量由大到小（反行程） 变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象成为迟滞。对于同一大小的输入信号，传 感器的正反行程输出信号大小不相等，这个差值称为迟滞差值。（4）重复性：重复性是指传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时， 所得特性曲线不一致的程度。（5）漂移：传感器的漂移是指在输入量不变的情况下，传感器输出量随着时间 变化，次现象称为漂移。产生漂移的原因有两个方面：一是传感器自身结构参数；二 是周围环境（如温度、湿度等）。编辑本段传感器动态特性所谓动态特性，是指传感器在输入变化时
12、，它的输出的特性。在实际工作中，传 感器的动态特性常用它对某些标准输入信号的响应来表示。 这是因为传感器对标准输 入信号的响应容易用实验方法求得， 并且它对标准输入信号的响应与它对任意输入信 号的响应之间存在一定的关系，往往知道了前者就能推定后者。最常用的标准输入信 号有阶跃信号和正弦信号两种，所以传感器的动态特性也常用阶跃响应和频率响应来 表示。编辑本段传感器的线性度通常情况下，传感器的实际静态特性输出是条曲线而非直线。在实际工作中，为 使仪表具有均匀刻度的读数，常用一条拟合直线近似地代表实际的特性曲线、线性度 （非线性误差）就是这个近似程度的一个性能指标。拟合直线的选取有多种方法。 如将零
13、输入和满量程输出点相连的理论直线作为拟 合直线；或将与特性曲线上各点偏差的平方和为最小的理论直线作为拟合直线，此拟 合直线称为最小二乘法拟合直线。编辑本段传感器的灵敏度灵敏度是指传感器在稳态工作情况下输出量变化 y对输入量变化x的比值。 它是输出一输入特性曲线的斜率。如果传感器的输出和输入之间显线性关系，则 灵敏度 S 是一个常数。否则，它将随输入量的变化而变化。灵敏度的量纲是输出、输入量的量纲之比。例如，某位移传感器，在位移变化mm 时，输出电压变化为 200mV ，则其灵敏度应表示为 200mV/mm 。 当传感器的输出、输入量的量纲相同时，灵敏度可理解为放大倍数。 提高灵敏度，可得到较高
14、的测量精度。但灵敏度愈高，测量范围愈窄，稳定性也 往往愈差。编辑本段传感器的分辨力分辨力是指传感器可能感受到的被测量的最小变化的能力。也就是说，如果输入 量从某一非零值缓慢地变化。当输入变化值未超过某一数值时，传感器的输出不会发 生变化，即传感器对此输入量的变化是分辨不出来的。只有当输入量的变化超过分辨 力时，其输出才会发生变化。通常传感器在满量程范围内各点的分辨力并不相同， 因此常用满量程中能使输出 量产生阶跃变化的输入量中的最大变化值作为衡量分辨力的指标。 上述指标若用满量 程的百分比表示，则称为分辨率。分辨率与传感器的稳定性有负相相关性。编辑本段电阻式传感器电阻式传感器是将被测量，如位移
15、、形变、力、加速度、湿度、温度等这些物理 量转换式成电阻值这样的一种器件。主要有电阻应变式、压阻式、热电阻、热敏、气 敏、湿敏等电阻式传感器件。称重传感器1称重传感器是一种能够将重力转变为电信号的力 -电转换装置，是 电子衡器的 一个关键部件。能够实现力 -电转换的传感器有多种，常见的有电阻应变式、电磁力式和电容式 等。电磁力式主要用于电子天平，电容式用于部分电子吊秤，而绝大多数衡器产品所 用的还是电阻应变式称重传感器。电阻应变式称重传感器结构较简单，准确度高，适 用面广，且能够在相对比较差的环境下使用。因此电阻应变式称重传感器在衡器中得 到了广泛地运用。编辑本段电阻应变式传感器传感器中的电阻应变片具有金属的应变效应，即在外力作用下产生机械形变，从 而使电阻值随之发生相应的变化。电阻应变片主要有金属和半导体两类，金属应变片 有金属丝式、箔式、薄膜式之分。半导体应变片具有灵敏度高（通常是丝式、箔式的 几十倍）、横向效应小等优点。编辑本段 压阻式传感器压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻 而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥形式。 当基片受到外力作用而产生形变时，各电阻值将发生变化，电桥就会产生相应的不平 衡输出。用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片，硅片为敏感
