CMP抛光—化学机械抛光

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1、CMP抛光-化学机械抛光概念CMP,即卩Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消 耗品包括：抛光机、抛光浆料、抛光垫、后 CMP 清洗设备、抛光终点检测及工艺控制 设备、废物处理和检测设备等。CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。该技术最初是用于获取高质量的玻 璃表面，如军用望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM的制造中， 而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM的生产中以后，CMP技术在世界各 地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法，CMP通过化学的和机械的综合作用

2、,从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的 抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬” 原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。CMP抛光液CMP抛光液是以高纯硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产 品,广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。如何抛光1. 机械抛光 机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面 的抛光方法,一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等,以手工操作为主,特殊零件如回转 体表面,可使用转台等辅助工具,表面质量要求高的可采用超精研抛的方法。超精研 抛是采用特制的磨具,在含有磨料的研

3、抛液中,紧压在工件被加工表面上,作高速旋 转运动。利用该技术可以达到 Ra0.008 pm的表面粗糙度，是各种抛光方法中最高的 光学镜片模具常采用这种方法。2. 化学抛光 化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解, 从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备,可以抛光形状复杂的工件,可以同时抛光很多工件，效率高。化学抛光的核心问题是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数 10(im。3. 电解抛光 电解抛光基本原理与化学抛光相同，即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学 抛光过程分为两步： (

4、1) 宏观整平 溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降， Ra1 口m。(2)微光平整阳极极化，表面光亮度提高，Ra1呵。4. 超声波抛光 将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作 用，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，但工装 制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的 基础上，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或 电解质均匀；超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。5. 流体抛光 流体抛光是依 * 高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的 目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨 是由液压驱动，使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低 压力下流过性好的特殊化合物并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。6. 磁研磨抛光 磁研磨抛光是利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷，对工件磨削加工。 这种方法加工效率高，质量好，加工条件容易控制，工作条件好。采用合适的磨料，表面粗糙度可以达到 RaO.1呵。