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1、表面处理与清洗是纳米器件实现量产的保证杨修文等:纳米楔形光纤探针的制备20N变化到5N时,可以得到楔角在15.40.楔形的光纤探针,对应的楔长逐渐减小,楔长最大可达4m.如果在一个夹具中夹上多根光纤,则可以一次腐蚀出多根楔形光纤探针,易于大批量生产.参考文献:1LAzAREVA,FANGN.LuOQ,eta1.Formati0noffinenearfie1dscanning0ptica1micr0scopytips():bylaserheatedpu1lingandbendingJ.RevsciInstrum,2OO3,74(8):36843688.2杨修文,祝生祥,胡毅.变温腐蚀法制备纳米光
2、纤探针J.微纳电子技术,2008,45(4),231234.3LAzAREVA,FANGN,LuOQ,eta1.Formation0ffinenearfieidscanningoptica1micr0sc0pytips(I):bystaticanddynamicchemicaletchingJ.RevsciInstrum,2O03,74(8):36793683.4sUNJL,xuJH,TIANGY,etaI_Fabricationandapp1icationofnear-fie1doptica1fiberpr0bej.chinPhys,2O01,1O(7):631635.5徐凯,潘石,吴世法,
3、等.热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针J.物理,2O03,52(5):119O一1195.6张立源,李永贵,王潜.扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法口.物理,2OO1,50(12):23222326.7李昌安,刘战辉,孙永康,等.虹吸动态化学腐蚀法制备近场光学显微镜光纤探针的研究J.光学,20(】4,(24)11:14411444.8孙家林,田广彦.李勤,等.动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针J.物理,2001,5O(12):23822386.9李鹏,张全,沈诗哲,等.柱状楔形微透镜光纤与半导体激光器耦合效率研究J.光学仪器,2006,28(3):5255.1O孔小健,黄德修,刘德明,
4、等.用楔形柱面光纤微透镜耦合的1.3msOA组件J.光子,20O3,32(10):12O112O3.11李武军,杨爱粉,王石语,等.光纤束耦合LD输出光束的空间耦合技术研究J.激光技术,2O06,3O(3):304307.12杨修文,祝生祥,江锐,等.楔形光纤与半导体激光器的耦合研究J.微纳电子技术,20O7,44(10):96O一963.13刘旭,肖金标,孙小菡.楔形光纤与半导体多量子阱平面光波光路芯片的耦合分析J.光学,2o07,27(4):680684.作者简介:杨修文(1966一),男,湖北丹江口人,理学硕士,副教授,主要从事光电子,光纤通信及传感器方面的研究;祝生样(1944一),学
5、,晶体场理论的研究;江锐(1966一),视频方面的研究;石义杰(1976一),器方面的研究.男,教授,主要从事激光光谱,光电子男,讲师,主要从事光电器件,传感器,男,讲师,主要从事计算机,网络及传感表面处理与清洗是纳米器件实现量产的保证近来,各种后CM0S时代的器件不断涌现.然而,如果期望在未来1O年内这些器件能够由最初的研究阶段迈入发展阶段,则相应包括成品率提升,材料表面处理技术以及清洗技术等在内的可制造性研究会变得日益重要,且由于其工艺的特殊性,表面预处理和清洗技术将不同于以往的传统Ic工艺.因为,目前的表面清洗技术只能非选择性地去除污染物,这意味着当采用定向装配纳米管或其他纳米器件时,目
6、前的清洗技术会将污染物与器件结构一起移除.那么,怎样才能克服困难,从而能够确保纳米器件能够顺利量产呢?这就要求研发出的新一代清洗技术,能够对纳米器件和污染物具有选择性,且在清洗时能够避免对纳米器件的损伤.其结果就是,化学试剂将扮演更为重要的角色.化学试剂可以通过选择性刻蚀,溶解或采用其他方式去除污染物.但是如果污染物和纳米器件材料相同,这些技术就英雄无用武之地了.在这种情况下,物理化学处理以及物理清洗技术就能大展拳脚了.这种技术能通过以下几种方式发挥作用:通过静电增强纳米器件的黏附力;在器件定向装配前后改变表面能;采用具有易于激活的可逆表面能的衬底等.而且,黏附力能够通过选择不同的衬底材料进行控制.另一方面,可以采用经过改良的清洗技术对污染物实现选择性地施加外力作用,这项技术已经得到验证,它能够尽可能地减少清洗过程中器件的损伤,加快纳米器件量产的进程.(摘编自纳米器件的表面预处理和成品率,原作者:AhmedBusnaina)560crD口0ZPcrDc了c0Z0gVo1.46No.9SPPm钯r20O9一国一
