电子工业用气体+三氟化硼

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1、ICS 7110020G 86囝亘中华人民共和国国家标准GBT 1 4603-2009代替GBT 14603-1993电子工业用气体 三氟化硼Gases for electronic industry-Boron trifluoride2009-1 0-30发布 2010-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局借者 中国国家标准化管理委员会厘111GBT 1 4603-2009刖罱 本标准代替GBT 146031993电子工业用气体三氟化硼。本标准与GBT 14603-1993相比主要区别如下：修改三氟化硼的适用范围(GBT 14603-1993的第1章，本版的第l章)；修改规范

2、性引用文件(GBT 14603-1993的第2章，本版的第2章)；修改三氟化硼的技术指标内容(GBT 14603-1993的第3章，本版的第3章)；增加三氟化硼采样安全要求(本版的412)；修改氮、氧(氩)含量的分析方法(GBT 14603-1993的42，本版的43)；修改二氧化硫含量的分析方法(GBT 146031993的42，本版的46)；增an-氧化碳、四氟化碳含量的分析方法(见本版的43)；修改标志、包装、贮运及安全(GBT 14603 1993的第6章、第7章，本版的第5章)；增加资料性附录A，并把测定三氟化硼中的氮、氧(氩)、二氧化碳和四氟化碳含量的色谱切割流程图写入该附录(见附

3、录A)。 本标准的附录A为资料性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。 本标准起草单位：核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。 本标准主要起草人：邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GBT 14603-1993。GBT 14603-2009电子工业用气体 三氟化硼1范围本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼和以 氟硼

4、酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式：BF3。 相对分子质量：67805(按2005年国际相对原子质量计算)。2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB 190危险货物包装标志GBT 3723工业用化学产品采样安全通则GB 7144气瓶颜色标志GB 11640铝合金无缝气瓶GB 14194永久

5、气体气瓶充装规定 气瓶安全监察规程 危险货物运输规则3技术要求 三氟化硼的质量应符合表1和表2的要求。注：质量保证期为18个月。表1 直接反应法制备的产品技术指标项目指标 三氟化硼(BF3)纯度(摩尔分数)10-29999999995 氮(N。)含量(摩尔分数)lO-6 220 氧+氩(02+Ar)含量(摩尔分数)lo州110 二氧化碳(C02)含量(摩尔分数)10“1 5 四氟化碳(CF4)含量(摩尔分数)lO“1 5四氟化硅(SiR)含量(摩尔分数)10“510总杂质含量(摩尔分数)io“10 50颗粒供需双方商定 供需双方商定GBT 14603-2009表2热分解法制备的产品技术指标项目

6、指标 三氟化硼(BF，)纯度(摩尔分数)10_2 99995 氮(Nz)+氧(Oz)+氩(Ar)含量(摩尔分数)10-6 10 二氧化碳(c02)含量(摩尔分数)10-6 10 二氧化硫(SOz)含量(摩尔分数)10“ 10 四氟化硅(SiF4)含量(摩尔分数)0-6 20 硫酸盐(SOt 2一)含量(摩尔分数)10“ 8 总杂质含量(摩尔分数)10“ 50颗粒供需双方商定4试验方法41抽样、判定和复验411三氟化硼产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判 该产品不合格。412三氟化硼采样安全应符合GBT 3723的相关规定。42三氟化硼纯度421直接反应法制

7、备三氟化硼纯度按式(1)计算：圣一100一(磊+晚+晚+吼+晚)10一(1) 式中：哥一三氟化硼纯度(摩尔分数)，10 ；A氮含量(摩尔分数)，10；币：氧+氩含量(摩尔分数)，10一；屯二氧化碳含量(摩尔分数)，10； 乱四氟化碳含量(摩尔分数)，10 ； 氨四氟化硅含量(摩尔分数)，10一。422热分解法制备三氟化硼纯度按式(2)计算： 雪一100一(西1+中2+圣3+甄)10一式中： 中一三氟化硼纯度(摩尔分数)，10_； 西，空气含量(摩尔分数)，10一；垂。二氧化硫含量(摩尔分数)，10一； 氏四氟化硅含量(摩尔分数)，10； 甄硫酸盐含量(摩尔分数)，10。43氮、氧(氩)、二氧化

8、碳、四氟化碳的测定431仪器 采用配备带切割装置的氦离子化检测器气相色谱仪测定三氟化硼中的氮、氧(氩)、二氧化碳和四氟化碳。气相色谱流程示意图见附录A的图A1。检测限的摩尔分数：0110一。432原理 电子与稀有气体碰撞形成亚稳态原子，该亚稳态原子的激发能传递到样品分子或原子；如果样品分子或原子的电离电位(IP)小于亚稳态原子的激发电位，样品将通过碰撞被电离，使离子流增大。2GBT 14603-2009433测定条件 载气：高纯氦，必须经过纯化，其流速参照相应的仪器说明书。 辅助气：需要采用辅助气的仪器按仪器说明书使用辅助气。切割柱：长50 ITI，内径2 mm，内装粒度为018 mmO25

9、mm的Porapak Q有机多孔聚合物的不锈钢柱或采用其他等效色谱柱。分析柱：长30m，内径2mm，内装粒度为018 ram025mm的HayeSepDB的气相色谱级多孔 聚合物的不锈钢柱或采用其他等效色谱柱。其他条件：载气纯化器温度、色谱柱温度、检测器温度、切割时间、样气流量等其他条件参考仪器说 明书。434气体标准样品 组分含量的摩尔分数为(110)10，平衡气为氦。435分析步骤 开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。 平行测定气体标准样品和样品气至少两次，记录色谱响应值，直至相邻两次测定的相对偏差不大于10lo，取其平均值。436结果处理 采用峰面积(或峰高)定量，用外标

10、法计算结果。 氮、氧(氩)、二氧化碳、四氟化碳含量的计算采用外标法，按式(3)计算：氨一涨X cP,(3)式中：囊样品气中被测组分的含量(摩尔分数)； A：(。)样品气中被测组分的峰面积或峰高，单位为平方毫米或毫米(ram2或ram)； A。(。)气体标准样品中相应已知组分的峰面积或峰高，单位为平方毫米或毫米(mm2或mm)；西。气体标准样品中相应已知组分的含量(摩尔分数)。437允许采用其他等效的方法测定三氟化硼中氮、氧(氩)、二氧化碳、四氟化碳含量。当测定结果有 异议时，以本标准规定的方法为仲裁方法。44四氟化硅含量的测定441方法和原理 采用分光光度法测定。 BF。和SiF4在水中按下式

11、发生水解反应： BF3+3H20H3BO。+3HF3SiF4+4H20=H4Si04+2H2SiF6HzSiF6+4H20H4Siq+6HF 在适当的酸度下，硅酸根与钼酸生成黄色的硅钼酸络合物，用抗坏血酸还原为硅钼蓝，其颜色深度与含量成正比。在选定的条件下进行分光光度测定。442仪器 分光光度计。443试剂及溶液硫酸溶液：分析纯。c(12HzSOt)一05 molL和10 molL。偏硅酸钠标准溶液：01 mgmL。准确称取01 g偏硅酸钠(精确到0000 1 g)，溶解后转移至1 000 mL容量瓶中定容。 氨水：1+1水溶液。GBT 14603-2009抗坏血酸：001 gmL水溶液。 钼

12、酸铵溶液：015 gmL水溶液。 对硝基酚溶液：001 gmL水溶液。 去离子水。444测定条件 波长：650 nlll； 比色皿厚度：1 cm；硅钼黄显色酸度：pH为1114。445绘制标准曲线(1) 系列硅标准溶液的制备 准确量取硅标准溶液000、005、100、150、200、250、300、350、400、450 mL分别加 至一系列100 mL容量瓶内，加入两滴001 gmL对硝基酚，用1+1氨水调至微黄色，用滴 定管加入6 mL 05 molL硫酸，并立即加入3 mL钼酸铰溶液，显色10 rain后加入8 mL10 molL硫酸，最后加入6 mL抗坏血酸显色30 mln。(2)吸光

13、度的测定按分光光度计使用说明书，用波长为650 13m及1 cm厚度的比色池测定显色后的系列标准溶 液的吸光度。(3)标准曲线的绘制 用系列标准溶液的吸光度作纵坐标，以硅的质量为横坐标绘制标准曲线。(4)取样在50 mL带有密封丝扣的不锈钢取样器中，装入40 mL去离子水，通过高压微调阀、压力表 按图1与盛装三氟化硼的气瓶连接。1充装BR的气瓶2高压微调阀；3压力表；4机械真空泵；5取样器；6冷浴；7开关阀。图1取样装置图GBT 14603-2009 在取样器外，套上一10的冰盐水冷浴。用机械真空泵抽至约一01 MPa，关闭阀7，然后打开三氟化硼气瓶阀慢慢导入三氟化硼气体，用去离子水吸收约30 rain。吸收速度用压力表和高压微调阀 控制。吸收结束后，关闭气瓶阀，测量吸收液总体积(y)。将吸收液转人聚四氟乙烯烧杯中作为样品溶 液。样品量(m，)为吸收前后吸收液的称量之差。446测定准确量取2000mL样品溶液于100mL容量瓶中，加入两滴001 gmL对硝基酚，用1+1氨水调 至微黄色，用滴定管加入6 mL 05 molL硫酸并立即加入3 mL 015 gmL钼酸铵溶液，显色10 rain 后加入8 mL 10 molL硫酸，最后加入6 mL 001 gmL抗坏血酸显