中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范Code for design of clean roomGB 50073-2001 主编部门:中华人民共和国信息产业部批准部门:中华人民共和国建设部施行日期:2002年1月1日 关于发布国家标准《洁净厂房设计规范》的通知建标[2001]231号根据国家计委“关于印发《一九九二年工程建设国家标准制订、修订计划》的通知”（计综合[1992]490号）的要求，由信息产业部会同有关部门共同修订的《洁净厂房设计规范》，经有关部门会审，批准为国家标准，编号为GB 50073-2001，自2002年1月1日起施行其中，3.0.1、4.2.2、4.2.3、4.3.1、4.3.2（1款）、4.3.3（1、2、4、5款）、4.3.4（1款）、4.3.7、4.4.1、4.4.3、4.4.4、4.5.1、5.2.1、5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.1、5.3.2（1、2款）、5.3.3（1、2款）、5.3.5（1款）、5.3.7（1款）、5.3.10、6.1.4、6.1.5、6.2.1、6.2.2、6.2.4、6.3.1（1、3、4款）、6.3.2、6.3.3、6.4.1（1、2、3、4款）、6.5.1、6.5.2、6.5.3、6.5.4、6.5.5、6.5.6、6.5.7、6.6.2、6.6.4、6.6.6、7.2.2、7.3.1、7.3.2、7.3.3（1、4款）、7.4.1、7.4.2、7.4.3、7.4.4、7.4.5（2款）、8.1.1、8.1.3、8.1.5、8.1.9（2、3款）、8.4.1、8.4.2、8.4.3、8.4.4、8.4.5、9.2.2、9.2.3、9.2.6（1款）、9.2.7、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、9.5.4、9.5.5、9.5.6、9.5.7为强制性条文，必须严格执行。
原国家标准《洁净厂房设计规范》（GBJ 73-84）同时废止本规范由中华人民共和国信息产业部负责管理，中国电子工程设计院负责具体解释工作，建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行中华人民共和国建设部二○○一年十一月十三日 前言本规范是根据建设部、计委计综合[1992]490号和[1992]建标字第10号文的要求，由我部负责主编具体由中国电子工程设计院会同有关单位共同对《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84修订而成在修订过程中，修订组结合我国洁净厂房设计建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究和必要的测试工作，认真总结了《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84执行10多年来的经验，等效采用国际标准ISO14644-1《洁净室及相关受控环境，第一部分—空气洁净度等级》的洁净度等级广泛征求了全国有关单位的意见，最后由我部会同有关部门审查定稿本规范共9章和4个附录其主要内容有:总则、术语、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、气体管道、电气等本规范在执行过程中，希望各行业、各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改和补充之处，请将意见和有关资料寄交北京市海淀区万寿路27号中国电子工程设计院《洁净厂房设计规范》管理组（邮编: :010- E-mail:www.ceedi@），以供今后修订时参考。
本规范主编单位、参编单位和主要起草人:主编单位:中国电子工程设计院参编单位:信息产业部第十一设计研究院 中国石油化工集团上海医药工业设计院 中国建筑科学研究院主要起草人:刘存宏 陈霖新 张利群 王唯国 缪德骅 郝锡泽 赵 海 俞渭雄 周春海 晁 阳 贺继行 陆 原 肖红梅 樊勖昌 谭易和 黄德明 郭兴周 冷捷敏 冯佩明1 总则1.0.1 洁净厂房设计必须做到技术先进、经济适用、安全可靠、确保质量，并应符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计1.0.3 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件1.0.4 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的有关强制性国家标准、规范的规定2 术语2.0.1 洁净室 clean room空气悬浮粒子浓度受控的房间它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制2.0.2 洁净区 clean zone空气悬浮粒子浓度受控的限定空间它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
洁净区可以是开放式或封闭式2.0.3 移动式洁净小室 clean booth可整体移动位置的小型洁净室有刚性或薄膜围档两类2.0.4 人身净化用室 room for cleaning human body人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间2.0.5 物料净化用室 room for cleaning material物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间2.0.6 粒径 partical size由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径2.0.7 悬浮粒子 airborne particles用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子2.0.8 超微粒子 ultrafine particle具有当量直径小于0.1μm的粒子2.0.9 微粒子 macroparticle具有当量直径大于5μm的粒子2.0.10 粒径分布 particle size distribution粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数2.0.11 含尘浓度 particle concentration单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.12 洁净度 cleanliness以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度2.0.13 气流流型 air pattern对室内空气的流动形态和分布进行合理设计2.0.14 单向流 unidirectional airflow沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流2.0.15 垂直单向流 vertical unidirectional airflow与水平面垂直的单向流2.0.16 水平单向流 horizontal unidirectional airflow与水平面平行的单向流2.0.17 非单向流 non-unidirectional airflow凡不符合单向流定义的气流2.0.18 混合流 mixed airflow单向流和非单向流组合的气流2.0.19 洁净工作区 clean working area指洁净室内离地面高度0.8～1.5m（除工艺特殊要求外）的区域2.0.20 空气吹淋室 air shower利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室2.0.21 气闸室 air lock设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2.0.22 传递窗 pass box在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口两侧装有不能同时开启的窗扇2.0.23 洁净工作台 clean bench能够保持操作空间所需洁净度的工作台2.0.24 洁净工作服 clean working garment为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装2.0.25 空态 as-built设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员2.0.26 静态 at-rest设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员2.0.27 动态 operational设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作2.0.28 检漏试验 leakage test检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验2.0.29 高效空气过滤器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器2.0.30 超高效空气过滤器 ULPA（ultra low penetration airfilter）在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。
2.0.31 纯水 purity water对电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均有要求的水2.0.32 防静电环境 ESD controlled environment能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播2.0.33 表面电阻 surface resistance在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商2.0.34 体积电阻 volume resistance在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商该电流不包括沿材料表面的电流2.0.35 表面电阻率 surface resistivity在材料表面层的直流电场强度与稳态电流线密度之商其量纲为Ω/□2.0.36 体积电阻率 volume resistivity在材料内层的直流电场强度与稳态电流密度之商其量纲为Ω·cm2.0.37 专用消防口 fire-firing access消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开2.0.38 自净时间 cleanliness vecoverly characteristic洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。
2.0.39 生物洁净室 biological cleanroom洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间2.0.40 浮游菌 airborne viable particles洁净室悬浮在空气中的菌落2.0.41 沉降菌 colony forming unit洁净室降落在培养皿上的菌落3 空气洁净度等级3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表3.0.1确定3.0.2 空气洁净度等级所处状态（空态、静态、动态）应与业主协商确定3.0.3 空气洁净度的测试方法按附录C要求进行4 总体设计4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置4.1.1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定:1 应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域如不能远离严重空气污染源时，则应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧3 应布置在厂区内环境清洁、人流、物流不穿越或少穿越的地段4.1.2 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。
4.1.3 洁净厂房与交通干道之间的距离宜大于50m4.1.4 。