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1、驱控一体机产业发展行动方案推进我国机器人面向制造业典型行业/重点领域、医疗/康复、助老助残/智慧家庭/社会服务、安全与救援/科学工程等行业/领域的系统集成与应用，实现我国机器人技术与产品在国家重点行业/领域高端应用和典型领域拓展应用，提高国产机器人国际竞争力，为国产机器人产业化奠定基础，加速推进我国智能机器人技术与产业的快速发展。研究先进制造工艺方法、工艺基础数据库，研究并整合国内外制造工艺相关数据资源，建立健全制造基础技术数据库、基础制造工艺资源环境属性数据库等。研发基础数据采集工具和知识库管理系统和标准，开发面向基础工艺和典型产品全生命周期环境影响评价工具。粗放式发展道路已经无法适应我国制
2、造业的发展，通过科技创新提高制造业竞争力是必由之路。在当前我国制造业实施战略转型的关键时期，制造业健康快速发展对科技创新工作提出了明确的需求。一、 极大规模集成电路制造装备及成套工艺针对移动通信、大数据、新能源、智能制造、物联网等重点领域大宗产品制造需求，重点围绕28-14纳米技术节点进行工艺、装备和关键材料的协同布局，形成28-14纳米装备、材料、工艺、封测等较完善的产业链，推动全产业链专项成果的规模化应用，促进产业生态的改善和技术升级，实现技术促进产业发展目标。（一）光刻机及核心部件研发干式光刻机产品并实现销售；研制28纳米浸没式光刻机产品，进入大生产线考核；开展配套光学系统、双工件台等核
3、心部件产品研发，并集成到整机；构建关键技术与产品开发平台，提升光刻机自主创新能力；建设光刻机光学系统等关键部件生产基地，具备批量生产能力。（二）高端关键装备及零部件面向集成电路14-10纳米先进工艺，重点开展刻蚀、薄膜、化学机械处理、掺杂和检测等关键装备及其配套核心零部件产品研发，通过大生产线考核并进入销售。（三）成套工艺及知识产权（IP）库以移动通信应用为重点，开发14纳米及相关产品工艺；以大数据应用为重点，开发立体堆叠闪存（3D-D）存储器工艺，开展7-5纳米关键技术研究；面向新能源、智能制造、物联网等重点领域大宗产品制造需求，开发特色产品工艺平台；取得核心知识产权并实际应用。（四）关键材
4、料面向45-28-14纳米集成电路工艺，重点研发300毫米硅片、深紫外光刻胶、抛光材料、超高纯电子气体、溅射靶材等关键材料产品，通过大生产线应用考核认证并实现规模化销售；研发相关超高纯原材料产品，构建材料应用工艺开发平台，支撑关键材料产业技术创新生态体系建设与发展。（五）封装测试面向移动互联和汽车电子等重大领域需求，围绕处理器、存储器、14-10纳米工艺节点晶圆等产品开发下一代封装集成与测试新技术以及相关的关键装备和材料产品；实现可集成数模混合电路、射频、微机电系统（MEMS）和光电等多功能异质材料芯片的三维系统集成技术的量产应用；建成有影响力的封装集成产业共性技术研发平台，取得较完善的知识产
5、权体系。二、 运动控制系统行业下游应用领域发展情况（一）运动控制系统半导体制造装备行业领域发展情况半导体作为信息产业的基础和核心组成部分，是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业。根据世界半导体贸易统计组织（WSTS）统计数据，中国半导体市场规模由2014年的917亿美元增长至2019年的1，441亿美元，2019年占全球半导体市场规模的3495%。当前的国际政经环境及我国半导体自主可控的需求，带动了我国半导体装备制造的快速发展。硅片设备、制造设备，以及包含固晶机、贴片机、焊线机、划片机、倒装机、切筋成型设备、清洗机、测试机、分选机和探针台等在内的封装、测试设备等半导体装备需求
6、旺盛。根据国际半导体产业协会（SEMI）统计，2020年中国半导体设备行业市场规模达18720亿美元，同比增长3918%。2009年至2020年，中国半导体设备行业市场规模复合增长率为3125%。根据上海集成电路产业发展研究报告，2019年我国半导体装备（该数据包括集成电路、LED、面板、光伏等设备）的国产化率约为188%，其中集成电路设备国产化率仅为8%左右，未来空间巨大。（二）运动控制系统工业机器人行业领域发展情况工业机器人广泛应用于机械制造、汽车制造、船舶制造、电子、物流、化工等现代工业领域，是产业转型升级、实现智能制造的重要抓手。工业机器人包括多关节机这人、SCARA机器人、坐标机器人
7、、并联机器人等多种类型，随着技术不断成熟，工业机器人整体往更加高速、高精度、智能化、柔性化等方向发展。我国早在2013年就成为全球工业机器人的最大市场，当年装机量超过日本、美国、韩国、德国之总和。根据国际机器人联合会（IFR）及中国机器人产业联盟（CRIA）统计数据，2014年至2020年间，我国工业机器人销量由571万台增至1560万台，年复合增长率达1824%，2021年市场规模有望突破70亿美元。2017年，我国工业机器人的国产化率约为29%，其中高端机器人国产化率为175%，空间同样巨大。（三）运动控制系统数控机床行业领域发展情况数控机床是装备制造的工业母机，机床产业的技术水平、加工效
8、率、精准程度及长期稳定可靠工作对一个国家制造业至关重要。随着制造业加速转型，精密模具、新能源、航空航天、轨道交通、3D打印、医疗器械等新兴产业迅速崛起，其生产制造过程高度依赖数控机床等智能制造装备，这将有力推动高速、高精、高效、高稳定性、智能化、多轴化、复合化等高档数控机床的发展。中国制造业的规模决定中国数控高精密机床拥有广阔的提升空间。但我国数控机床企业主要定位于中低端市场，高端产品渗透率虽在提升但仍处于较低水平。根据前瞻研究院整理的资料，2018年我国低档数控机床国产化率约82%，中档数控机床国产化率约65%，高档数控机床国产化率仅约6%。我国国产机床并非没有市场，而是因为我国智能制造转型
9、升级需求和国产机床整体水平之间不平衡不匹配，从而抑制了国产机床消费能力。中国制造2025规划中明确提出高端数控机床与基础设施装备之具体目标：到2025年，高档数控机床与基础制造装备国内市场占有率超过80%。高档数控机床与基础制造装备总体进入世界强国行列。未来我国机床行业的数控化提升和中高端替代具有高度确定性，高档数控系统价值约占高端数控机床成本的20%-40%，发展空间巨大。（四）运动控制系统激光装备行业领域发展情况受益于各类金属及非金属工业材料加工的旺盛需求，激光加工装备市场迎来持续稳定的增长。根据2021年中国激光产业发展报告，我国2020年激光设备市场销售收入已达692亿元，2014年至
10、2020年间年复合增长率达1772%。但目前高端激光装备的国产化率仅为10%。未来激光加工装备仍将持续往数字化、智能化、切割柔性化的趋势发展，而运动控制系统是激光加工装备的关键功能部件，是推动激光装备向更高功率、更快速度、更高精度发展的技术保障，将持续受益于激光装备市场的增长。（五）运动控制系统传统制造产业领域发展情况传统制造业是我国工业体系的基础构成，其健康稳定发展对我国国民经济发展具有深远影响。中国装备制造业的提升不仅仅是在半导体、数控机床、工业机器人、激光精密装备等高端装备领域，还包括纺织、印刷、包装、焊接、压铸、冲压、注塑、压装等更广泛的各类工业装备。在新的发展阶段，各类制造产业都迫切
11、需要通过先进制造技术实现装备和工艺的数字化、智能化提升，并依托工业数据进行智能分析，实现运维、能耗、产能、效率、质量等多维度价值提升。一方面，印刷、纺织、包装、食品、冶金等多种传统制造产业为满足新经济环境下对高品质、定制化和快速服务响应的需求，需要对自身进行智能化升级改造，以满足新需求、开拓新市场；另一方面，传统制造业亟需提升数字化、网络化、智能化水平以解决劳动力严重短缺、人力成本上升、柔性化生产能力瓶颈、市场响应缓慢、产品同质化严重等产业发展痛点。同时，经过多年发展，传统制造产业的地方特色集聚现象愈发明显，行业共性的智能化升级需求不断显现，并呈现出由点带面加速落地的示范推广效应。我国运动控制
12、系统企业基于对本土需求的深刻理解和更强的本地化技术服务能力，将在赋能传统制造业，推动转型升级和智能化改造中发挥重要作用。三、 我国制造业发展对科技创新的需求粗放式发展道路已经无法适应我国制造业的发展，通过科技创新提高制造业竞争力是必由之路。在当前我国制造业实施战略转型的关键时期，制造业健康快速发展对科技创新工作提出了明确的需求。（一）加强制造基础能力方面的科技创新制造业基础技术研究能力薄弱已经成为当前制约我国制造业发展的主要瓶颈，其中基础材料、关键基础零部件、电子元器件、集成电路、传感器、控制系统、软件工具及平台等众多领域的基础研究、关键技术研究、关键工艺研究都没有掌握自主核心技术，工艺装备、
13、测试与实验装备、标准化等共性技术自主创新能力薄弱，亟需科技攻关。（二）亟需加强制造企业经营管理模式创新我国制造企业管理正处于由传统管理模式向现代管理模式转变的阶段，经营目标、管理模式、管理理念和决策标准发生根本性变化，多数企业并没有从根本上改变以产品为中心的传统制造模式，无法适应互联网、云制造等模式下的多品种大批量定制化的要求，企业管理信息化、生产过程智能化、咨询服务网络化的水平制约着中国制造业的快速发展。（三）亟需提升制造业智能化水平随着中低端产品加工制造产业重心向东南亚等发展中国家转移，我国装备制造业在全球地位面临挑战，急需利用互联网、物联网、大数据、传感器等增强装备产品智能化程度，构建数
14、字化、智能化、网络化的智能化生产线和数字化工厂，从而提升生产效率、产品质量，提升产业的竞争力。（四）亟需加强新兴产业关键装备的研发我国新兴产业所需装备的需求缺口较大。光电子、先进光伏电池设备、新一代通信设备等发展所需的关键技术和核心技术的自给率较低，核心技术掌握仍较少，试验设计能力较欠缺、技术集成能力薄弱、制造装备进口依赖大，新兴产业发展所需的关键装备自给不足。（五）亟需加强绿色制造技术的研发优质高效、节能、节材的先进基础制造工艺和自动化、智能化技术的普及程度不高，能源消耗、材料利用率及污染排放与国际先进水平相比存在较大差距。亟需发展先进绿色制造技术与产品，突破制造业绿色产品设计、环保材料、节
15、能环保工艺、绿色回收处理等关键技术，支撑制造业可持续发展。四、 网络协同制造以推进互联网与制造业、服务与制造融合发展为主线，以重塑制造业技术体系、生产模式、产业形态和价值链以及促进制造业转型升级为目标，探索一批引领发展的制造与服务新模式，突破一批网络协同制造理论、关键技术与标准，研发一批互联网+协同制造工业软件，创建一批互联网+制造服务平台。（一）网络协同制造模式与理论围绕推进互联网与制造业、服务业与制造业融合发展以及打造智慧企业的创新需求，探索云制造等网络协同制造新模式；研究智慧空间与工业大数据、服务型制造与制造服务融合等前沿理论；研发与构建产品全生命周期制造服务融合、多模式智能供应链、服务
16、价值链协同、多学科支撑的工业大数据精准分析、在线运维与预测运营等核心模型与关键技术。为重塑制造业技术体系、产业形态和价值链提供理论支撑。（二）互联网+协同制造工业软件围绕基于互联网的协同制造服务新模式，面向创新设计、企业经营与资源管理、产品全生命周期制造服务以及工业云、工业大数据、工业互联网等平台系统的构建，研发复杂产品全数字化优化和仿真、产品全生命周期/服务生命周期管理、资源管理与智能供应链协同、基于OT的智能服务、工业大数据分析等平台系统与软件，形成互联网+协同制造工业软件系统，支撑网络协同制造创新发展。（三）基于互联网+的创新设计探索支撑制造业要素资源共享互联及社会力量参与互动的研发设计新模式；攻克互联网+环境下设计资源共享、研发设计价值链协同以及众创空间构建新技术；研发支持云制造的设计资源共享与协同创新平台、典型行业众创服务平台以及制造业
