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1、公开招标采购文件 项目名称：大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目目 录第一章 公开招标采购公告3第二章 招标需求7第三章 投标人须知15第四章 评标办法及评分标准29第五章 合同主要条款36第六章 投标文件格式41 第一章 公开招标采购公告项目概况（浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目）招标项目的潜在投标人应在政府采购云平台（）获取（下载）招标文件，并于2023年2月7日14点00分（北京时间）前递交（上传）投标文件。一、项目基本情况项目编号：CBNB-20231017G项目名称：浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目预算金额（元）：2,8
2、00,000.00sd最高限价（元）：标项一1,850,000.00、标项二950,000.00采购需求：标项一标项名称：磁控溅射设备数量: 1套预算金额（元）：1,850,000.00简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：详见招标文件第二章 招标需求。备注：不接受进口产品。标项二标项名称：退火炉数量: 2套预算金额（元）：950,000.00简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：详见招标文件第二章 招标需求。备注：不接受进口产品。合同履约期限：标项一、二，自合同签订生效后开始至双方合同义务完全履行后截止。本项目（是）接受联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足中华人民共和国政府采购法第二十
3、二条规定；未被“信用中国”（)、中国政府采购网（）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：标项一属于专门面向中小企业采购的项目，投标人应为符合政府采购促进中小企业发展管理办法（财库202046 号）规定的中小企业（其中，小微企业包括视同为小型、微型企业的监狱企业、残疾人福利性单位）。3.本项目的特定资格要求：无。三、获取招标文件时间：2023年1月12日至2023年1月19日，每天上午00:00至12:00，下午12:00至23:59（北京时间，线上获取法定节假日均可，线下获取文件法定节假日除外）地点（网址）：政府采
4、购云平台（）方式：供应商注册后直接登录“政府采购云平台”（）下载电子磋商文件。供应商未在规定时间内或未按上述方式获取磋商文件的，其响应文件无效；通过本公告下方“游客，浏览采购文件”下载的采购文件仅供浏览，不视作依法获取采购文件。售价（元）：0四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年2月7日14:00（北京时间）投标地点（网址）：开标时间：2023年2月7日14:00开标地点（网址）：政府采购云平台（）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的，可以自获取采购文件之日或者采购文件公告期限届满之日（公告期限
5、届满后获取采购文件的，以公告期限届满之日为准）起7个工作日内，以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到浙江政府采购网下载专区下载。2.其他事项：2.1.采购项目需要落实的政府采购政策：政府采购促进中小企业发展管理办法【财库（2020）46号】、关于促进残疾人就业政府采购政策的通知（财库2017141号）、关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知（财库201468号）、关于调整优化节能产品环境标志产品政府采购执
6、行机制的通知（财库20199号）等。2.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一标项的投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的投标。2.3本次政府采购活动有关信息在浙江政府采购网公布，视同送达所有潜在投标人。 2.4特别提醒事项：（1）供应商应于提交投标文件截止时间前将电子加密投标文件上传到政府采购云平台，未上传电子加密投标文件，视为供应商放弃投标。（2）供应商在“政府采购云平台”完成“电子加密投标文件”的上传递交之外，还可以（邮寄形式或派人现场提交，以招标代理机构联系人签收时间为准）在投标截止时间前提交以介
7、质（U盘）存储的数据电文形式的“备份投标文件”。（3）电子招投标有关事项说明：本项目通过“浙江政府采购网（）”实行电子投标，供应商须安装客户端软件，并按照采购文件和电子交易平台的要求制作投标文件。客户端软件下载方式：供应商可通过“浙江政府采购网-下载专区-电子交易客户端”进行下载。供应商须申领CA，CA申领及相关操作可参考“浙江政府采购网-下载专区-电子交易客户端-CA驱动和申领流程”。供应商在进行上述操作时，如遇技术问题可致电进行咨询。（4）疫情期间特别提醒事项：采用邮寄方式提交电子备份投标文件，需按以下要求递交：供应商须在投标截止时间前将电子备份投标文件邮寄至规定地点，由招标代理工作人员进
8、行签收。各供应商自行考虑邮寄在途时间，邮寄过程中无论何种因素导致电子备份投标文件未按时递交的后果，均由供应商自行负责。电子备份投标文件递交时间以招标代理实际收到电子备份投标文件的时间为准。迟到的电子备份投标文件将被拒收。请各供应商确保密封包装在邮寄过程密封包装完好，并在邮寄包裹上注明项目名称，因邮寄过程的密封破损造成不符合开标要求的，本招标代理及招标人概不负责。电子备份投标文件邮寄地址为：采用现场递交方式递交电子备份投标文件，在投标当天投标人员需佩戴口罩后方可进入开标现场递交电子备份投标文件。若供应商因未按上述要求办理而导致无法准时进入开标现场的，由供应商自行负责。2.5本招标公告中二、申请人
9、的资格要求：第1条中的“重大税收违法案件当事人名单”即为“重大税收违法失信主体”。七、对本次采购提出询问、质疑、投诉，请按以下方式联系。第二章 招标需求前附表序号子项招标需求一采购标的需实现的功能或者目标，为落实政府采购需满足的要求详见技术需求二采购标的需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准规范由投标人提供的所有产品和服务必须符合下列规范、条例及标准，并不限于下列规范、条例及标准：2.1中华人民共和国有关技术标准2.2由招标人认可的有关国家权威标准注：本技术要求所列的规范、标准不意味着全部的或最新的，承包单位必须执行国家、地方、有关机构所有相关的技术规范与标准，且确保所采用的技术
10、规范、标准必须是国家或有关机构发布的最新版本，无论此版本在此有无提及。三采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求详见技术需求。四采购标的的数量、采购项目交付或者实施的时间和地点详见商务需求五采购标的需满足的服务标准、期限、效率等要求详见商务需求六采购标的的验收标准详见技术需求七采购标的的其他技术、服务等要求详见技术需求八核心产品无九现场踏勘无十样品要求无一、采购需求标项一：磁控溅射设备（不接受进口产品） 数量：1套序号技术参数响应情况一、技术要求1适用范围1.1主要用于中试线钙钛矿组件的功能层的磁控溅射沉积制备。设计为连续式三腔体镀膜线，外围设有上、下料台，主体部分由进样室、镀膜室
11、、出样室组成。内部设有基片行走系统，可实现连续式镀膜。各腔体间通过门阀隔离，避免气氛交叉污染。1.2溅射尺寸300400 mm，3个矩形溅射靶，腔体温控：0-150 ，1个RF电源，2个直流脉冲电源，具备共溅功能，制备100 nm合金，节拍10 min/片。1.3承重需求500 kg/m2，满足合金电极与NiOx制备。2技术性能参数要求2.1基本参数2.1.1镀膜室极限真空：510-5Pa；2.1.2抽气时间：从大气抽到工作真空（510-4 Pa）时间少于35分钟；2.1.3系统漏率：2*10-7 Pa.l/S (以氦质谱检漏仪测试指标考核）；2.1.4系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压1
12、2小时后真空度小于10 Pa；2.1.5真空室尺寸：900mm600mm380mm，真空室采用不锈钢加工而成，配玻璃观察窗，侧门可开启；2.1.6靶尺寸、数量：3只75450mm永磁靶。靶材尺寸：754506mm；2.1.7靶基距可调（60120mm）；2.1.8样品台：可放置300400mm尺寸样品，带加热功能，最高可加热至300度，精度:1C，基片旋转速度：525rpm连续可调；2.1.9主机尺寸：不超过长2000mm宽1100mm高1600mm；2.1.10气体种类：工作气体Ar+反应气体；2.1.112路MFC质量流量计控制气体流量（100SCCM）；2.1.12升压率： 优于610-
13、1 Pa/h；2.1.13沉积速度（铜）：300 nm/min；2.1.14膜厚不均匀性：优于3%；2.1.15配备缺水保护及完善的逻辑互锁系统；2.1.16各腔体采用独立抽真空及测量系统，腔体间采用门阀隔离；2.1.17工件架采用卧式布局，水平运动，两侧带导向轮。底座部分与真空室壁上的导轨固定连接；夹持架用于样品安装，可方便拆卸；每次可安装300400尺寸片样品一件；传动采用带槽滚轮+齿轮与链条组合的传递系统；2.2进样真空室2.2.1腔体尺寸500*600*300 mm，腔体外壁设有冷却水线。配备在线等离子体清洗装置，可实现在样品表面等离子体清洗，腔体配备300W射频电源，工作气路配备1路
14、200SCCM流量计进入腔体。上下电极可覆盖300*400mm区域。腔体内侧设有红外加热装置，可对样品进行预加热，最高可加热至150度，温度PID控制，可控可调。2.2.2抽气系统：配备机械干泵+分子泵组成高真空抽气系统及自动恒压装置。2.3镀膜室2.3.1镀膜室为立式方形结构。腔体尺寸不超过2200*600*350mm，腔体上部安装有矩形溅射靶3只；在样品后侧配有铠装加热丝加热，在溅射靶一侧装有红外加热灯管，用于样品辅助加热；在真空室后部开有抽气接口，工艺气体接口2路，通过阀门控制分别输送至三个溅射靶位，侧壁磁流体传动接口。2.3.2镀膜室采用双分子泵+机械干泵组合进行抽气，分子泵与腔体间采用手电一体可调开启度插板阀隔离，插板阀驱动电机与本腔体配备薄膜规及上位机系统形成闭环，实现镀膜腔体内部压力自动控制。工作状态具有声、光、电同步提醒。2.3.3腔体侧壁
