2022石墨烯声表面波滤波器结构制备

石墨烯声表面波滤波器结构制备规范 目  次 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 压电基片清洗 1 5 制备金属电极层 2 6 制作变形组件 2 7 制备石墨烯层 2 I 石墨烯声表面波滤波器结构制备规范 1 范围 本文件规定了石墨烯声表面波滤波器结构制备规范的术语和定义并对包括压电基片清洗、制备金属 电极层、制作变形组件、制备石墨烯层等进行规范。 本文件适用于石墨烯声表面波滤波器结构领域。 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 压电基片（Piezoelectric substrates） 矩形基片,电极由等厚的金属膜构成,其中一个电极为盒状,另一个电极为矩形薄片状,盒状电极紧贴压电基片且包覆压电基片的下底面、四个侧面以及上底面的四条等宽边缘,矩形薄片状电极贴于压电基片的上底面,矩形薄片状电极的长度大于宽度的两倍,矩形薄片状电极与盒状电极上底面边缘之间的间隙相等于盒状电极上底面四条边缘的宽度。 3.2 金属电极层（Metal electrode layer） 在两种不同物质的界面上，正负电荷分别排列成的面层。在溶液中，固体表面常因表面基团的解离 或自溶液中选择性地吸附某种离子而带电。由于电中性的要求，带电表面附近的液体中必有与固体表面 电荷数量相等但符号相反的多余的反离子。带电表面和反离子构成金属电极层。 4 压电基片清洗 清洗压电基片，准备压电基片和加热釜，将压电基片放置于加热釜中，加热釜中充满水，加热釜的 底部设置有超声波发生器，加热釜内部设置有给水加热的电加热板，加热釜上方设置有给加热釜中充入 2 水进行加热的水泵和供应在水泵一侧的水箱，水浴加热至 90 摄氏度至 100 摄氏度、设定压强为 10MPa 至 50MPa、启动超声波发生器，对压电基片表面进行清洗； 5 制备金属电极层 制备金属电极层，准备金属电极层基材和开槽机，利用开槽机将金属电极层的外圈处开设有凹槽， 凹槽呈等距离开设有多组，凹槽沿着金属电极层的长度方向分布，且金属电极层的每一面均开设有多组凹槽。 6 制作变形组件 制作第一变形组件、第二变形组件，准备弹性金属板若干、弹性金属片若干、橡胶层若干、焊接机 一台、热压机一台，利用焊接机将弹性金属片通过固定焊接的形式焊接在一对弹性金属板之间，利用热 压机将橡胶层热压固定在一对弹性金属板的三面位置，然后利用焊接机在将一对弹性金属板的开口位置 固定焊接在金属电极层的左右两侧中部和上下两侧两端。 7 制备石墨烯层 制备石墨烯层，准备离子镀膜机和石墨烯靶材，利用离子镀膜机将石墨烯靶材以离子镀膜的方式镀 膜覆盖在金属电极层的外圈处，形成将金属电极层、第一变形组件、第二变形组件包覆的石墨烯层，金 属电极层与石墨烯层之间结合性高。