碳化硅外延片表面缺陷图谱

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GB/T 1附录 A(资料性附录)缺陷图谱缺陷图谱1.掉落物(Downfall)缺陷图谱放大倍数为:100 倍GB/T 2掉落物在 ScN、QZrO、VIS-PL 和 NUV-PL 通道呈现的形状2 三角形(Triangle)缺陷图谱放大倍数为:100倍GB/T 3triangle 在 ScN、QZrO、VIS-PL 和 NUV-PL 通道呈现的形状3、浅浅三角形三角形(Shallow Triangle)缺陷图谱GB/T 4Shallow triangle 在 ScN、QZrO、VIS-PL 和 NUV-PL 通道呈现的形状4、胡萝卜(Carrot)缺陷图谱放大倍数为:200 倍放大倍数为:100 倍GB/T 5carrot 在 ScN、QZrO、VIS-PL 和 NUV-PL 通道呈现的形状5、梯形缺陷(Obtuse Triangle):放大倍数为:20 倍GB/T 6梯形缺陷 在 ScN、QZrO、VIS-PL 和 NUV-PL 通道呈现的形状6、表面台阶聚集(Step Bunching):放大倍数为:20 倍GB/T 7台阶聚集 在 ScN、QZrO、VIS-PL 和 NUV-PL 通道呈现的形状

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