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1、光刻机项目质量管理方案目录一、 项目概况3二、 产业环境分析5三、 半导体前道设备各环节格局梳理6四、 必要性分析7五、 质量改进工具概述8六、 常用的质量改进工具11七、 六西格玛管理的实施27八、 六西格玛管理的特点31九、 质量检验的含义35十、 质量检验的目的40十一、 质量检验的计划与实施42十二、 质量检验制度55十三、 质量管理体系基础57十四、 质量管理八项原则63十五、 ISO9000族标准的结构67十六、 ISO9000族标准的作用69十七、 项目投资分析71建设投资估算表72建设期利息估算表73流动资金估算表75总投资及构成一览表76项目投资计划与资金筹措一览表77十八、
2、 项目规划进度78项目实施进度计划一览表78一、 项目概况（一）项目基本情况1、承办单位名称：xx（集团）有限公司2、项目性质：技术改造3、项目建设地点：xxx（以最终选址方案为准）4、项目联系人：万xx（二）主办单位基本情况经过多年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，丰富的生产经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步增强。公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工艺新材料应用研发。集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社会” 的企业宗旨，以优良的产品服务、可靠的质量
3、、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。公司自成立以来，坚持“品牌化、规模化、专业化”的发展道路。以人为本，强调服务，一直秉承“追求客户最大满意度”的原则。多年来公司坚持不懈推进战略转型和管理变革，实现了企业持续、健康、快速发展。未来我司将继续以“客户第一，质量第一，信誉第一”为原则，在产品质量上精益求精，追求完美，对客户以诚相待，互动双赢。公司不断建设和完善企业信息化服务平台，实施“互联网+”企业专项行动，推广适合企业需求的信息化产品和服务，促进互联网和信息技术在企业经营管理各个环节中的应用，业通过信息化提高效率和效益。搭建信息化服务平台，培育产业链，打造创新链，提升价值链，促进带动
4、产业链上下游企业协同发展。（三）项目建设选址及用地规模本期项目选址位于xxx（以最终选址方案为准），占地面积约14.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）项目总投资及资金构成本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资8306.25万元，其中：建设投资6415.20万元，占项目总投资的77.23%；建设期利息77.53万元，占项目总投资的0.93%；流动资金1813.52万元，占项目总投资的21.83%。（五）项目资本金筹措方案项目总投资8306.25万元，根据资金筹措方案，xx（
5、集团）有限公司计划自筹资金（资本金）5141.70万元。（六）申请银行借款方案根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额3164.55万元。（七）项目预期经济效益规划目标1、项目达产年预期营业收入（SP）：15700.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：13749.05万元。3、项目达产年净利润（NP）：1415.96万元。4、财务内部收益率（FIRR）：8.96%。5、全部投资回收期（Pt）：7.52年（含建设期12个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：8353.06万元（产值）。（八）项目建设进度规划项目计划从可行性研究报告的编制到工程竣工验收、投产运营共需12个月的时间。二、
6、产业环境分析地区生产总值可比增长6.5，分别高于全国、全省0.4和1个百分点；规模以上工业增加值增长16.1，分别高于全国、全省10.4和9.4个百分点，位居15个副省级城市之首，连续21个报告期两位数增长；一般公共预算收入下降1.6，扣除减税降费等因素影响，可比增长11.5；固定资产投资下降19.8，扣除2018年恒力、英特尔项目投资基数较大因素影响，可比增长11；城乡居民人均可支配收入分别增长6.7和10.3，均超过GDP增长速度。全市经济社会呈现总体平稳、稳中有进的良好态势，高质量发展迈出坚实步伐。2020年是全面建成小康社会和“十三五”规划收官之年。大连将围绕既定目标抓落实，对标对表抓
7、进度，扎实做好后续实施工作，实现“十三五”规划圆满收官。以2049城市愿景规划为引领，科学编制“十四五”规划，一张蓝图绘到底，为实现“两个一百年”奋斗目标和中华民族伟大复兴中国梦谱写大连篇章。今年全市经济社会发展的主要预期目标是：地区生产总值增长与全国同步，确保完成全面建成小康社会目标任务；一般公共预算收入可比增长2以上；固定资产投资增长5左右；社会消费品零售总额增长3左右；外贸进出口总额占全省份额不减；实际利用外资增长10左右；城乡居民人均可支配收入与经济增长基本同步；城镇登记失业率控制在4.5以内；居民消费价格涨幅控制在4以内；单位GDP能耗降低完成省下达计划目标。三、 半导体前道设备各环
8、节格局梳理晶圆制造设备是半导体设备行业需求最大的领域，光刻、刻蚀和沉积设备为主要组成部分。根据SEMI数据来看，目前半导体设备主要为晶圆制造设备，市场占有率超过85%。其中，刻蚀机、薄膜沉积、光刻机设备为半导体设备的核心设备，这三类半导体设备的市占率分别为22%、22%和20%。国内为全球半导体设备最大市场，先进技术由美欧日等国主导。从地区分布来看，中国大陆半导体设备市场占比呈持续提升之势，2021年市场规模达到296亿美元，占全球市场的比重为29%，是半导体设备的最大市场。先进半导体设备技术仍由美欧日等国主导，其中美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、测试设备、程序控制、CMP等设备的制
9、造技术位于世界前列；荷兰凭借ASML的高端光刻机在全球处于领先地位；日本则在刻蚀设备、清洗设备、测试设备等方面具有竞争优势。四、 必要性分析1、提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。五、 质量改进工具概述所谓质量管理常用工具，就是在开展全面质量管理活动中，用于收集和分析质量数据，分析和确定质量问题，控制和改进质量水平的常用方法。这些方法不仅科学，而且实用，应
10、该首先学习和掌握它们，并应用到实际中。有效质量改进活动会使质量成本得以改善。同时，质量改进活动并非企业内一个部门、一个人的工作，特别是企业推行系统的、自上而下的、高层次的质量改进即六西格玛管理，更需要企业最高管理层的策划和各相关方的参与。通过防差系统的设计将会杜绝人为操作，使得无缺陷过程得以实现，最后，通过顾客满意度的调查，改进顾客关系，达到以顾客满意为核心的现代企业的质量管理目的。质量改进是一项系统工程，需要有精心的策划、认真的实施和管理。实施质量改进必须以实际情况和数据分析为基础进行决策和策划并付诸实践，才能取得成功。所以，正确、有效地应用各种有关的工具和统计方法是促进质量改进项目和活动取
11、得成功的必要条件。1、定量的方法与工具以统计的观点看待产品和过程质量则具有以下两方面的观念：产品和过程质量之所以存在变异性，是因为影响产品和过程质量的人、机、料、法、环等诸因素均在无时无刻地变化着，因而造成产品和过程的变异性。即使完全相同的生产条件下所生产的若干产品，其质量特性也可能不完全一致。产品和过程质量的变异在一定范围内，具有一定的数学规律，因此，质量改进的工作，应以掌握产品质量变异的规律性为前提。现代质量管理活动中，需要应用各种数理统计技术方法。为此，统计技术成为质量管理及质量改进的一个重要因素。在市场分析、产品设计、可信性规范、寿命和耐用性预测、工序控制和工序能力的研究、确定抽样检验
12、方案的质量水平、数据分析、过程改进及安全性评价等质量活动领域应制定并坚持实施统计技术方法，能查明质量指标与哪些因素相关，其中哪些是主要因素，哪些是次要因素，从而为优质生产获取最佳生产条件或最优参数组合。在质量改进活动过程中，利用数理统计技术与方法提高设计质量，开发优质产品，以及优化生产工艺，降低生产成本。2、定性的方法与工具在很多情况下影响产品和过程质量的人、机、料、法、环等诸因素难以取得量化的数字数据。此时，应通过广泛深入的调查研究，获得大量定性的非数字数据的信息、意见，反映、设想、议题等，分析其原因，结果或目的之间的因果关系，以符合逻辑的定性方法，找出其彼此间的相互作用关系，来阐明问题所在
13、的方法称为定性的方法与工具。让参与人员在多次修改中，取得一致观念与认同，并转化成一种方式方法去实施，对解决问题有无限帮助。若运用得当，经过分类、分层、归纳、总结，获得有条理的思路，对质量改进活动的成功也会发挥重要的作用。3、品质管理（QC）七大方法与工具排列图、因果图、直方图、控制图、散布图、调查表和分层法被称为质量管理的QC七种工具，重点在整理问题数值资料取得后的管理手法。关联图、系统图、亲和图（KJ法）、PDPC法（也称过程决策程序图法）、矩阵图法、矩阵分割（矩阵数据分析法）被称为质量管理的QC新七种工具，将散漫无章的语言资料和不利因素，通过运用系统化的图形，呈现计划的全貌，防止错误或疏漏
14、发生，重点在整理问题数值数据取得前的管理手法。从20世纪60年代开始，日本的企业通过运用品质管理七大方法，收集工作现场的数据并进行分析，提升了日本产品的水平，是日本产品走向世界的关键因素。70年代初，日本人大力推行QCC活动，除了重视现场的数据分析外，对工作现场伙伴的情感表达和语言文字资料进行分析，并逐渐演绎成新的品质管理方法。1972年，日本科技联盟之QC方法开发委员会正式发表了“品质管理新七大方法”。区别：作为工具与方法是QC，而QCC是品管圈。经常用的质量改进工具当然不止新旧七种工具，常用的工具还有实验设计、分布图、推移图、水平对比、流程图、头脑风暴法等。六、 常用的质量改进工具1、调查
15、表（1）调查表的含义。调查表是用于收集和记录统计数据的一种表格形式，以便于按统一的方式收集数据并进行统计计算和分析，以获得对事实的明确认识的一种表格。调查表又称为检查表、分析表、核对表。调查表既适用于收集数字数据（定量分析），又适用于收集非数字数据（定性分析）。在质量管理和质量改进的工作过程中普遍应用各种统计方法，以探索事物的规律性。统计的对象是数据，而所收集的数据是否具有代表性，将直接关系到统计方法的应用效果。而且，数据往往具有一定的时效，过时的数据就会失去应有的价值。应用调查表就是为了能采用简便的方法，迅速收集到能反映事物客观规律的数据，这对于各种统计方法的应用都具有非常重要的意义。特别是作为信息源，可为原因分析和质量改进决策提供依据。（2）制作步骤。调查表具体的制作与操作步骤如下。确定对象。首先要明确调查最终要达到的目的，据此来确定具体的产品或零件作为调，查的主要对象。设计表格。根据调查对象和调查目的的特点，设计形式多样的调查表。记录汇总。确定调查周期，在规定期限对调查对象进行调查、记录，最后进行汇总整理。分析结果。分析调查记录的结果，找出主要原因，制定改进措施。2、分层法（1）分层法的含义，所谓分层法，就是把收集来的原始质量数据，按照一定的目的和要求加以分类整理，以便分析质量问题及其影响因素的一种方法。分层法又
