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1、泓域咨询/抚州半导体前道设备项目投资计划书目录第一章 背景、必要性分析7一、 半导体前道设备各环节格局梳理7二、 半导体设备国产替代空间广阔7三、 半导体设备行业的壁垒9四、 全力推动先进制造业高质量发展10第二章 公司基本情况13一、 公司基本信息13二、 公司简介13三、 公司竞争优势14四、 公司主要财务数据16公司合并资产负债表主要数据16公司合并利润表主要数据16五、 核心人员介绍17六、 经营宗旨18七、 公司发展规划18第三章 行业发展分析24一、 涂胶显影设备24二、 检测设备24三、 刻蚀设备25第四章 项目总论27一、 项目名称及建设性质27二、 项目承办单位27三、 项目
2、定位及建设理由28四、 报告编制说明29五、 项目建设选址31六、 项目生产规模31七、 建筑物建设规模31八、 环境影响31九、 项目总投资及资金构成32十、 资金筹措方案32十一、 项目预期经济效益规划目标32十二、 项目建设进度规划33主要经济指标一览表33第五章 建筑物技术方案36一、 项目工程设计总体要求36二、 建设方案36三、 建筑工程建设指标37建筑工程投资一览表38第六章 选址分析40一、 项目选址原则40二、 建设区基本情况40三、 完善科技创新服务体系。44四、 项目选址综合评价45第七章 SWOT分析46一、 优势分析（S）46二、 劣势分析（W）48三、 机会分析（O
3、）48四、 威胁分析（T）49第八章 运营管理模式57一、 公司经营宗旨57二、 公司的目标、主要职责57三、 各部门职责及权限58四、 财务会计制度61第九章 人力资源配置68一、 人力资源配置68劳动定员一览表68二、 员工技能培训68第十章 环境保护方案70一、 编制依据70二、 建设期大气环境影响分析71三、 建设期水环境影响分析72四、 建设期固体废弃物环境影响分析73五、 建设期声环境影响分析74六、 环境管理分析74七、 结论78八、 建议78第十一章 劳动安全生产80一、 编制依据80二、 防范措施81三、 预期效果评价85第十二章 项目节能说明87一、 项目节能概述87二、
4、能源消费种类和数量分析88能耗分析一览表89三、 项目节能措施89四、 节能综合评价90第十三章 投资方案91一、 编制说明91二、 建设投资91建筑工程投资一览表92主要设备购置一览表93建设投资估算表94三、 建设期利息95建设期利息估算表95固定资产投资估算表96四、 流动资金97流动资金估算表97五、 项目总投资98总投资及构成一览表99六、 资金筹措与投资计划99项目投资计划与资金筹措一览表100第十四章 项目经济效益101一、 经济评价财务测算101营业收入、税金及附加和增值税估算表101综合总成本费用估算表102固定资产折旧费估算表103无形资产和其他资产摊销估算表104利润及利
5、润分配表105二、 项目盈利能力分析106项目投资现金流量表108三、 偿债能力分析109借款还本付息计划表110第十五章 风险风险及应对措施112一、 项目风险分析112二、 项目风险对策114第十六章 项目综合评价说明116第十七章 附表118建设投资估算表118建设期利息估算表118固定资产投资估算表119流动资金估算表120总投资及构成一览表121项目投资计划与资金筹措一览表122营业收入、税金及附加和增值税估算表123综合总成本费用估算表123固定资产折旧费估算表124无形资产和其他资产摊销估算表125利润及利润分配表125项目投资现金流量表126第一章 背景、必要性分析一、 半导体
6、前道设备各环节格局梳理晶圆制造设备是半导体设备行业需求最大的领域，光刻、刻蚀和沉积设备为主要组成部分。根据SEMI数据来看，目前半导体设备主要为晶圆制造设备，市场占有率超过85%。其中，刻蚀机、薄膜沉积、光刻机设备为半导体设备的核心设备，这三类半导体设备的市占率分别为22%、22%和20%。国内为全球半导体设备最大市场，先进技术由美欧日等国主导。从地区分布来看，中国大陆半导体设备市场占比呈持续提升之势，2021年市场规模达到296亿美元，占全球市场的比重为29%，是半导体设备的最大市场。先进半导体设备技术仍由美欧日等国主导，其中美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、测试设备、程序控制、CM
7、P等设备的制造技术位于世界前列；荷兰凭借ASML的高端光刻机在全球处于领先地位；日本则在刻蚀设备、清洗设备、测试设备等方面具有竞争优势。二、 半导体设备国产替代空间广阔半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升，直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。2021年半导体市场规模实现同比增长26%，达5530亿美元。全球半导体产业资本支出保持强劲增长，根据ICInsights数据，2021年，全球半导体行业资本支出达到1539亿美元，预计2022年将达到1904亿美元。摩尔定律推动产业发展，设备行业壁垒将持续提升。根据摩尔定律演进，每隔18-24个月芯片性能将提升一倍。先进制
8、程IC产能具有强劲的增长势头，根据ICInsights预测，2024年先进制程（10nm）的IC产能预计增长并在全球产能占比提升至30%。每更新一代工艺制程，则需更新一代更为先进的制程设备，更加精密的制程带来半导体设备难度直线上升，行业壁垒不断提高。随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，14nm制程所需使用的刻蚀步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设备为例，
9、每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。先进工艺单位产能投资几何级数提升。随着技术节点的不断缩小，集成电路制造的设备投入呈大幅上升的趋势，5万片月产能的5nm技术节大陆半导体设备的成长空间较大，国产化率有望加速。中国大陆半导体设备企业经过多年的技术研发和工艺积累，在部分领域实现了技术突破和创新，成功通过部分集成电路制造企业的验证，成为制造企业的设备供应商。去胶设备已基本实现国产化，CMP设备、清洗设备、热处理设备、刻蚀设备等的国产化率为20%左右；涂胶显影设备、离子注入设备、光刻设备也实现了突破。国产半导体设备进入生产线后，在不同产线持续测试和应用，可以及时掌握晶圆厂的
10、技术需求，有针对性的对设备进行研发、升级，推动其技术的不断完善、进步和创新。目前国内晶圆厂积极扩产，极大拉动国内半导体设备需求；终端半导体产品的不断迭代推动晶圆厂开发新的工艺，随着国内晶圆制造产业的迅速发展，国产半导体设备种类将不断增加，性能也将不断提升，国产设备厂商将迎来增长机遇，进入加速成长阶段。三、 半导体设备行业的壁垒技术壁垒：1）半导体设备是由成千上万的零部件组成的复杂系统，将成千上万的零部件有机组合在一起实现精细至nm级别的操作是第一个难点。2）保障设备在nm级别的操作基础上的超高良率是半导体设备制造过程中的第二个难点。制造一块芯片通常需要上百台设备紧密配合，历经400-500道工
11、序，若单工序良率仅能做到99%，则历经500道工序最终良率不足1%；提升至小数点后两位的水平才能使良率达到95%以上。3）保障设备在实现以上两个要求的基础上长时间稳定的运行是半导体设备制造过程中的第三个难点。与上述同理，一条芯片产线上百台设备，每一台设备稳定运行时间的微小降低将在整个体系内被巨额放大。若发生设备宕机造成该批假设1000片晶圆的报废，在28nm及以下的制程级别对应的损失超过300万美元，近2000万人民币。客户验证壁垒：正是由于设备本身和产线构成的复杂性，单设备的良率、稳定性会在整个体系内产生累积效应的影响，同时可能带来巨额的潜在损失，因此晶圆制造厂商对于上游设备的验证、验收有严
12、苛的标准和流程。同时，对于晶圆制造厂而言，配合上游设备验证需要付出大量的人力（合作研发、调试）、物力（拿出其他设备配合验证的机会成本损失、验证过程中的物料损失），以及采用新设备供应商面临的巨大潜在风险（批量晶圆报废的风险、向客户延迟交货的风险），很少有晶圆厂愿意承担以上的损失和风险去验证新供应商的设备。四、 全力推动先进制造业高质量发展着眼未来产业发展趋势，以平台化、规模化、链群化为方向，以项目、企业、集群、园区为着力点，打造若干具有战略性、全局性的核心产业链，培育壮大新兴产业，推动传统产业转型升级。以先进制造业为核心，全力推动“4+N”产业高质量跨越式发展，实现制造业比重稳中有进，巩固壮大实
13、体经济根基。（一）全力推动产业链优化升级优化产业链供应链发展环境，强化要素支撑，以产业链、供应链为抓手，深入实施“铸链”“补链”“强链”“延链”工程，促进产业结构提档升级。加快新兴产业发展步伐，重点培育新一代信息技术、汽车及零配件、生物医药、新能源新材料四大先进制造产业集群。大力发展汽车及零配件产业，全面提升整车柔性生产制造能力，推进专用车向“专精特”方向发展，推进自主品牌新能源整车产品向中高端提升，打造抚州改装汽车品牌，着力打造体系完备的汽车及零配件产业集群。大力发展生物医药产业，推动生物制药、中药材精深加工等企业做大做强。培育一批技术先进、主业优势明显、核心竞争力强的旗舰企业，重点发展优势
14、原料药、现代新型中药和生物工程药物，加快推进重点中药企业技术改造。大力发展新能源新材料产业，加快培育壮大龙头企业，着力引进上下游特别是应用端企业，形成完整产业链，打造具有全国影响力的新能源动力电池产业基地和具有区域影响力的赣东新材料产业基地。加快推进传统产业转型升级。实施新一轮企业技改升级工程，引导企业加大技改投入，着力推动机械制造、有色金属加工、变电设备、纺织服装、食品加工、化工建材、香精香料、教育装备、耐热陶瓷、塑料制品等传统优势产业优化升级。（二）促进产业集群集约发展加快推进数字化改造，积极推动新一代信息技术在制造业各环节领域的深度应用，加快引导全市制造业企业与大数据云计算企业协作，引进
15、和支持智能制造系统集成供应企业发展。扩大企业上云广度和深度，力争园区企业100%上云，积极开展“5G+工业互联网”示范应用。推行绿色设计、绿色工艺和绿色产品，积极推广运用节能环保和清洁生产工艺、技术、装备，提升绿色制造水平。大力发展服务型制造，培育建设一批服务型制造企业、项目、平台，引导企业发展总集成总承包、定制化服务、网格化协同制造新模式。推动互联网、大数据、人工智能等同各产业深度融合，推动先进制造业集群发展，构建一批各具特色、优势互补、结构合理的战略性新兴产业增长引擎，培育新技术、新产品、新业态、新模式。（三）抢抓前沿领域发展制高点紧跟战略性新兴产业和未来产业发展趋势，聚焦新能源、新材料、生物技术、电子信息、人工智能、高端装备制造等细分领域，超前布局前沿科技和产业化运用，谋划一批试点示范项目，打造一批重大应用场景，培育未来发展新引擎。加快装配式建筑产业发展，扎实推进装配式建筑示范市
