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1、常用传感器原理及应用4.1 4.1 概述概述一、传感器的定义一、传感器的定义 传感器（传感器（transducer/senortransducer/senor）是将被测量按一定规律转换成）是将被测量按一定规律转换成 便于应用的某种物理量的装置。通常将传感器看作是一个把被测便于应用的某种物理量的装置。通常将传感器看作是一个把被测非电量转换成电量的装置。非电量转换成电量的装置。测力计测力计压力计压力计温度计温度计二、传感器的组成二、传感器的组成传感器通常由三部分组成：传感器通常由三部分组成：敏感元件：敏感元件： 直接感受被测量直接感受被测量, ,输出与被测量成确定关系。输出与被测量成确定关系。 转
2、换元件：转换元件： 敏感元件的输出就是转换元件的输入敏感元件的输出就是转换元件的输入, ,它把输入转它把输入转 换成电量参量换成电量参量 。 转换电路：转换电路： 把转换元件输出的电量信号转换为便于处理、显把转换元件输出的电量信号转换为便于处理、显 示、记录或控制的有用的电信号的电路。示、记录或控制的有用的电信号的电路。这种传感器适用于较小位移的测量，一般约为0.由于不可避免地存在电荷泄漏，利用压电式传感器测量静态或准静态量值时，必须采取一定措施，使电荷从压电元件经测量电路的漏失减小到足够小的程度；结构型传感器：是依靠传感器结构参数的变化而实现信号转换的。测量时，基座固定在振动体上。分辨率高，
3、例如测量压力时可测出1020Pa的微压；根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三种，其中极距变化型和面积变化型应用较广。671011N/m2，则k0=LE50100。电阻丝应变片是用直径为0.上述可知，面积变化型电容传感器的优点是输出与输入成线性关系，但与极板变化型相比，灵敏度较低，适用于较大角位移及直线位移的测量。例如利用水银的热胀冷缩现象制成水银温度计来测温；面积变化型电容式传感器霍尔元件越薄(d越小)，kH就越大，薄膜霍尔元件厚度只有1m左右。(4) 能量损耗小。在这种情况下，弹性元件将得到与被测量成正比的应变，再通过应变片转换成电阻的变化后输出。
4、4、按照能量的传递方式分：能量控制型和能量转换型。应用范围：可测量位移、加速度、力、力矩、压力等各种参数。三、传感器的类型三、传感器的类型1 1、按被测对象分：位移传感器、压力传感器和压力传感器等；、按被测对象分：位移传感器、压力传感器和压力传感器等；2 2、按工作原理分：电阻应变式、电感式、电容式和压电式等；、按工作原理分：电阻应变式、电感式、电容式和压电式等；3 3、按被测量的转换特征分：结构型和物性型。、按被测量的转换特征分：结构型和物性型。 结构型传感器：是依靠传感器结构参数的变化而实现信号转换的。例结构型传感器：是依靠传感器结构参数的变化而实现信号转换的。例如，电容式传感器依靠极板间
5、距离变化引起电容量变化；电感式传感器依靠如，电容式传感器依靠极板间距离变化引起电容量变化；电感式传感器依靠衔铁位移引起自感或互感变化等。衔铁位移引起自感或互感变化等。 物性型传感器是依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实物性型传感器是依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号变换的。例如利用水银的热胀冷缩现象制成水银温度计来测现信号变换的。例如利用水银的热胀冷缩现象制成水银温度计来测温；利用石英晶体的压电效应制成压电测力计等。温；利用石英晶体的压电效应制成压电测力计等。4 4、按照能量的传递方式分：能量控制型和能量转换型。、按照能量的传递方式分：能量控制型和能量转换型。 能量控制型传感器是从
6、外部供给辅助能量使其工作的，并由被测能量控制型传感器是从外部供给辅助能量使其工作的，并由被测量来控制外部供给能量的变化；能量转换型传感器是直接由被测对象量来控制外部供给能量的变化；能量转换型传感器是直接由被测对象输入能量使其工作的，例如，热电偶温度计、弹性压力计等输入能量使其工作的，例如，热电偶温度计、弹性压力计等 。4.2 4.2 电阻应变式传感器电阻应变式传感器一、电阻应变式传感器一、电阻应变式传感器 电阻应变式传感器是一种利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传电阻应变式传感器是一种利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器。是基于测量物体受力变形所产生应变的一种传感器，最常用的传感感器。
7、是基于测量物体受力变形所产生应变的一种传感器，最常用的传感元件为电阻应变片。元件为电阻应变片。 应用范围：可测量位移、加速度、力、力矩、压力等各种参数。应用范围：可测量位移、加速度、力、力矩、压力等各种参数。 1 1、金属电阻应变片、金属电阻应变片 金属电阻应变片的工作原理是基于金属的电阻应变效应工作的。金属电阻应变片的工作原理是基于金属的电阻应变效应工作的。 金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着它所受机械变金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着它所受机械变形形( (伸长或缩短伸长或缩短) )的变化而发生变化的现象，称为金属的电阻应变效应。的变化而发生变化的现象，称为金属
8、的电阻应变效应。金属应变片的结构和测量原理金属应变片的结构和测量原理 电阻丝应变片是用直径为电阻丝应变片是用直径为0.025mm0.025mm具有高电阻率的电阻丝制成的。具有高电阻率的电阻丝制成的。为了获得高的阻值，将电阻丝排列成栅状，称为敏感栅，并粘贴在为了获得高的阻值，将电阻丝排列成栅状，称为敏感栅，并粘贴在绝缘的基底上。电阻丝的两端焊接引线。敏感栅上面粘贴有保护作绝缘的基底上。电阻丝的两端焊接引线。敏感栅上面粘贴有保护作用的覆盖层。用的覆盖层。原理公式：原理公式：K K0 0称为金属丝的灵敏系数，其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变称为金属丝的灵敏系数，其物理意义是单位应变所引起的电阻
9、相对变化。通常化。通常K K0=1.70=1.73.6 3.6 大量实验表明，在电阻丝拉伸比例极限范围内，电阻的相对变化与其所受大量实验表明，在电阻丝拉伸比例极限范围内，电阻的相对变化与其所受的轴向应变是成正比的。的轴向应变是成正比的。应用：应用： 将应变片粘贴于弹性体表面或者直接将应变片粘贴于被测试件上。将应变片粘贴于弹性体表面或者直接将应变片粘贴于被测试件上。弹性体或试件的变形通过基底和粘结剂传递给敏感栅，其电阻值发生弹性体或试件的变形通过基底和粘结剂传递给敏感栅，其电阻值发生相应的变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，即可测量应变。相应的变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，即可
10、测量应变。1 1）将应变片粘贴于被测构件上，直接用来测定构件的应力或应变。）将应变片粘贴于被测构件上，直接用来测定构件的应力或应变。例如，为了研究或验证机械、桥梁、建筑等某些构件在工作状态例如，为了研究或验证机械、桥梁、建筑等某些构件在工作状态下的受力、变形情况，可利用形状不同的应变片，粘贴在构件的下的受力、变形情况，可利用形状不同的应变片，粘贴在构件的预测部位，可测得构件的拉、压应力、扭矩或弯矩等。预测部位，可测得构件的拉、压应力、扭矩或弯矩等。 2 2）应变片粘贴于弹性元件上，与弹性元件一起构成应变式传感器。）应变片粘贴于弹性元件上，与弹性元件一起构成应变式传感器。这种传感器常用来测量力、
11、位移、压力、加速度等物理参数。在这种这种传感器常用来测量力、位移、压力、加速度等物理参数。在这种情况下，弹性元件将得到与被测量成正比的应变，再通过应变片转换情况下，弹性元件将得到与被测量成正比的应变，再通过应变片转换成电阻的变化后输出。成电阻的变化后输出。 当被测物体产生位移时，悬臂当被测物体产生位移时，悬臂梁随之产生于位移相等的挠度，梁随之产生于位移相等的挠度，因而应变片产生相应的应变。因而应变片产生相应的应变。将应变片接入桥路，输出与将应变片接入桥路，输出与位移成正比的电压信号。位移成正比的电压信号。 测量时，基座固定在振动体上。测量时，基座固定在振动体上。振动加速度使质量块产生惯性振动加
12、速度使质量块产生惯性力，悬臂梁在惯性力的作用下力，悬臂梁在惯性力的作用下产生弯曲变形。梁的应变在一产生弯曲变形。梁的应变在一定的频率范围内与振动体的加定的频率范围内与振动体的加速度成正比。速度成正比。 2 2、半导体应变片、半导体应变片 1 1）压阻效应）压阻效应: :半导体材料受到应力作用时，其电阻率会发生变化的现半导体材料受到应力作用时，其电阻率会发生变化的现象。象。 实际上，任何材料都不同程度地呈现压阻效应，但半导体材料的这实际上，任何材料都不同程度地呈现压阻效应，但半导体材料的这种效应特别强。种效应特别强。对于半导体硅，对于半导体硅，LL=(40=(4080)10-11m2/N80)1
13、0-11m2/N，E E=1.671011N/m2=1.671011N/m2，则，则k k0=0=LELE5050100100。半。半导体电阻材料的灵敏系导体电阻材料的灵敏系数比金属丝的要高数比金属丝的要高50507070倍。倍。 2 2）压阻式传感器的特点）压阻式传感器的特点 优点优点: : 灵敏度非常高，有时传感器的输出不需放大可直接用于测量；灵敏度非常高，有时传感器的输出不需放大可直接用于测量； 分辨率高，例如测量压力时可测出分辨率高，例如测量压力时可测出101020Pa20Pa的微压；的微压； 测量元件的有效面积可做得很小，故频率响应高；测量元件的有效面积可做得很小，故频率响应高； 可
14、测量低频加速度和直线加速度。可测量低频加速度和直线加速度。缺点：缺点：温度误差大，故需温度补偿或恒温条件下使用。温度误差大，故需温度补偿或恒温条件下使用。4.3 4.3 电感式传感器电感式传感器电感式传感器的工作原理是电磁感应。它是把被测量如位移等，转换为电电感式传感器的工作原理是电磁感应。它是把被测量如位移等，转换为电感量变化的一种装置。按照转换方式的不同，可分为自感式（包括可变磁感量变化的一种装置。按照转换方式的不同，可分为自感式（包括可变磁阻式与涡流式）和互感式（差动变压器式）两种。阻式与涡流式）和互感式（差动变压器式）两种。 一、自感式传感器（可变磁阻式传感器一、自感式传感器（可变磁阻
15、式传感器 ）可变磁阻式传感器自感 自感L与气隙成反比，而与气隙导磁截面积S0 成正比。0空气导磁率 ；W 线圈匝数 1 1、变气隙式、变气隙式L L 与与呈非线性（双曲线）关系。传感器的灵敏度为呈非线性（双曲线）关系。传感器的灵敏度为 灵敏度灵敏度S S与气隙长度与气隙长度的平方成反比，的平方成反比，愈小，灵敏度愈小，灵敏度S S愈高。这种传感器愈高。这种传感器适用于较小位移的测量，一般约为适用于较小位移的测量，一般约为0.0010.0011 mm1 mm。2 2、变面积式、变面积式自感L与S0 呈线性关系，这种传感器灵敏度较低。3 3、螺管式、螺管式单螺管线圈型，当铁芯在线圈中运动时，将单螺
16、管线圈型，当铁芯在线圈中运动时，将改变磁阻，使线圈自感发生变化。这种传感改变磁阻，使线圈自感发生变化。这种传感器结构简单、制造容易，但灵敏度低，适用器结构简单、制造容易，但灵敏度低，适用于较大位移于较大位移( (数毫米数毫米) )测量。测量。 双螺管线圈差动型，较之单螺管线圈双螺管线圈差动型，较之单螺管线圈型有较高灵敏度及线性，被用于电感型有较高灵敏度及线性，被用于电感测微计上，其测量范围为测微计上，其测量范围为0 0300m300m，最小分辨力为，最小分辨力为0.5m0.5m。线圈电感。线圈电感L1L1、L2L2随铁芯位移而变化随铁芯位移而变化 . .测量精度高，量程较大。测量精度高，量程较大。二、差动变压器式传感器（互感式）二、差动变压器式传感器（互感式）三、电涡流式传感器三、电涡流式传感器高频（数高频（数MHzMHz以上）激励电以上）激励电流流i i施加于邻近金属板一施加于邻近金属板一侧的线圈，由线圈产生侧的线圈，由线圈产生的高频电磁场作用于金的高频电磁场作用于金属板的表面。在金属板属板的表面。在金属板表面薄层内产生涡流表面薄层内产生涡流i i ，涡流，涡流i i又产生反向的磁又
