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1、流体控制装置的制作方法专利名称：流体控制装置的制作方法技术领域：本发明涉及半导体制造装置等所使用的流体控制装置，尤其涉及多个流体控制器被集成化而形成的流体控制装置。背景技术：在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，正在推进下述的集成化(专利文献 1以及专利文献幻多个流体控制器串联状地配置，并且不经由管或接头地连接，将由此形成的多条管线并列状地设置在基座部件上。在专利文献1的流体控制装置中，如图7所示，以一个流量控制器21作为基本构成要素而构成1列生产气体控制管线(流体控制管线)，多条(与流量控制器21的数量相同)生产气体控制管线Ll L16并列地配置，由此构成流体控制装置。进一步与流体控制管线
2、Ll L16并列地追加的管线P为清洁气体管线。图7中，各生产气体控制管线Ll L16从入口侧开始具有过滤器对、入口侧的两个开闭阀23、流量控制器(质量流量控制器)21以及出口侧的开闭阀25，在各生产气体控制管线Ll L16共用的出口部分上设有开闭阀26。在这样的流体控制装置中，并不是所有生产气体控制管线Ll L16中总是有流体 (气体)流动，而是使用2 3条管线，依次切换不同种类、不同流量的气体，通过流量调整器21调整其流量，并向下游侧的腔室输送。作为流量调整器21而使用的质量流量控制器， 是内置有流量传感器以及控制阀等的装置，价格高且需要频繁的维护，这成为导致整体的成本增加的主要原因。另一方
3、面，在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，存在流体种类增加的倾向，与此相伴，存在空间以及成本增加的问题。另外，在专利文献2的流体控制装置中，具有流体控制部和流体导入部，其中，流体控制部是将以一个流量控制器作为基本构成要素且分别具有一个入口以及一个出口的1 列流体控制管线配置M列而构成的；流体导入部是通过多个开闭阀以入口数为N( M)且出口数为M的方式而构成的，流体导入部的M个出口和流体控制部的M个入口分别以1 1 的比例连接。若使该专利文献2的结构与图7所示的现有的流体控制装置对应，则如图6所示， 成为下述装置该装置具有将以M个(图示为8个)流量控制器21作为基本构成要素的流体控制管线Ll
4、L8配置M列而成的流体控制部2 ；通过多个开闭阀23以入口数为N (图示为16个)且出口数为M的方式构成的流体导入部3。在该图中，各流体控制管线Ll L8是对生产气体(process gas)进行控制的管线，以与这些管线并列的方式设有1列清洁气体管线P。作为流量控制器21，使用质量流量控制器。由于质量流量控制器21能够进行流量调整的范围较窄，即使是相同种类的流体，在其流量调整范围不同的情况下，要使用不同的质量流量控制器21，通过M列的流体控制管线Ll L8，能够对M个种类的生产气体(包括生产气体相同但流量不同的情况)的流量进行调整。流体导入部3由NXM个开闭阀23构成，流体导入部3的M个出口和
5、流体控制部 2的M个入口分别以11对应的方式连接。在流体导入部3的N个各入口上分别设有过滤器M以及手动阀27。在M列的各流体控制管线Ll L8上分别设有两个出口侧开闭阀25。另外，在流体控制部2的出口侧设有各流体控制管线Ll L8共用的压力开关观、过滤器M以及开闭阀26。此外，作为流量控制器，除了质量流量控制器，还已知压力式控制器(参照专利文献3) 专利文献1 日本特开2002-206700号公报专利文献2 日本特开2000-323464号公报专利文献3 日本专利第3387849号公报根据上述图6所示的流体控制装置，与图7所示的流体控制装置相比，具有能够将包含成本相对较高且维护麻烦的流量控制器
6、21的流体控制管线从16列(N列)减少到8 列(M列)的优点，但由于开闭阀23的数量大幅增加，在欲增加入口数量的情况下，存在着无法充分发挥该优点的问题。发明内容本发明的目的在于提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。本发明的流体控制装置，具有流体控制部和流体导入部，其中，所述流体控制部是将以一个流量控制器作为基本构成要素且分别具有一个入口以及一个出口的1列流体控制管线配置M列而构成的；所述流体导入部是通过多个开闭阀以入口数为( )且出口数为M的方式而构成的，流体导入部的M个出口和流体控制部的M个入口分别以1 1的比例连接，其特征在于流体导入部被分成入口侧阻断开放部，该入口侧
7、阻断开放部由多个开闭阀构成，并配置在入口侧，其入口的总数为N个、出口的总数为K个；流体控制部侧阻断开放部，该流体控制部侧阻断开放部由多个开闭阀构成，配置在入口侧阻断开放部和流体控制部之间，其入口的总数为K个、出口的总数为M个，并且，入口侧阻断开放部被分成分别具有2个以上的所希望数量的开闭阀的多组。该流体控制装置，入口数为N个，出口数为M个，能够使用M列流体控制管线(例如Ll L8)对N个种类的流体的流量进行调整。1列流体控制管线是通过单独在流量控制器上或在流量控制器上连接所需要的流体控制器而形成的。这里，流体控制器是指流量控制器(质量流量控制器或流体可变型流量控制装置)以外的流体控制装置构成要
8、素，作为流体控制器，可以适当使用开闭阀(进行流体通路的阻断、开放的阀)、减压阀、压力显示机、过滤器、压力开关等。流体控制装置所需要的流体控制器被分为分别设在流体导入部的N个入口的部分、设在M列流体控制管线中的各列上的部分、在流体控制部的出口作为M列流体控制管线共用的部分而设置的部分， 该流体控制器被配置在适当的位置。一个流体控制管线中，例如，成为下层的多个块状接头部件通过外螺纹部件被安装在可动导轨上，成为上层的多个流体控制器以及流量控制器以横跨相邻的接头部件的方式通过从上方的螺纹部件被安装在接头部件上。一般地，入口的总数为N个且出口的总数为K个的入口侧阻断开放部由NXK个开闭阀构成，K个出口的
9、总数为M个的流体控制部侧阻断开放部由KXM个开闭阀构成，但入口侧阻断开放部被分成分别具有两个以上的所希望数量的开闭阀的多个(例如两个或四个) 组，由此，在入口侧阻断开放部的开闭阀的总数被分为两组的情况下，减少到NXK/2个，在被分成四组的情况下，减少到NXK/4个。例如，流体导入部包括第一以及第二入口侧阻断开放部，该第一以及第二入口侧阻断开放部分别由m X 2个以及(N-Nl) X 2个开闭阀构成；流体控制部侧阻断开放部，该流体控制部侧阻断开放部由4XM个开闭阀构成。m成为例如N/2。N为入口数，M为出口数，在该情况下，通过第一以及第二入口侧阻断开放部，相对于入口数N个，出口数成为4个 (作为
10、流体种类，最大情况下各入口侧阻断开放部为两种，合计限定为4个种类)，通过流体控制部侧阻断开放部，4个种类的流体被分配给M个出口的任一个。这样，能够减少构成流体导入部所需要的开闭阀的数量。另外，流体导入部包括设N = W+N2+N3+N4，分别由Ni、N2、N3以及N4个开闭阀构成的第一至第四入口侧阻断开放部；由4XM个开闭阀构成的流体控制部侧阻断开放部。 例如，m = N2 = N3 = N4 = N/4. N为入口数，M为出口数，在该情况下，通过第一至第四入口侧阻断开放部，相对于入口数N个，出口数为4个(作为流体种类，最大情况下各入口侧阻断开放部为一种，合计限定为4个种类)，通过流体控制部侧
11、阻断开放部，4个种类的流体被分配给M个出口的任一个。这样，能够进一步减少构成流体导入部所需要的开闭阀的数量。另外，流体导入部包括分别由N/4个开闭阀构成的第一至第四入口侧阻断开放部；分别由2XM/2个开闭阀构成的第一以及第二流体控制部侧阻断开放部。N为入口数， M为出口数，该情况下，通过从第一至第四的入口侧阻断开放部，相对于入口数N个，出口数为4个(作为流体种类，最大情况下各入口侧阻断开放部为一种，合计限定为4个种类)， 通过第一以及第二流体控制部侧阻断开放部，4个种类的流体被分配给M个出口的任一个。 这样，能够减少流体控制部侧阻断开放部的开闭阀，能够进一步减少构成流体导入部所需要的开闭阀的数
12、量。作为流量控制器，例如，能够使用质量流量控制器，质量流量控制器可以由形成有入口通路以及出口通路的主体和安装在主体上的流量传感器以及压电元件式控制阀构成， 另外，还可以由开闭控制阀、压力传感器、节流部、流量传感器以及控制部构成。作为流量控制器，可以为压力式的控制器(压力式流量控制装置)，作为这样的流量控制器，例如，流量控制器是在将孔口的上游侧压力保持在下游侧压力的约2倍以上的状态下进行流体的流量控制的压力式的控制器，该流量控制器构成为包括在金属薄板上穿设微小的孔而形成且具有所需要的流量特性的孔口 ；设在孔口的上游侧的控制阀；设在控制阀和孔口之间的压力检测器；根据压力检测器的检测压力P并通过Qc
13、 = KXP(K为常数)而对流量Qc进行运算，并且，将流量指令信号Qs和所述运算的流量信号Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置，该流量控制器通过控制阀的开闭调整孔口上游侧压力，并控制孔口下游侧流量。根据该压力式流量控制器，能够通过一台压力式流量控制器对多种流体的流量进行调整，因此，能够以具有m( 具体实施例方式以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，对与图6所示部分结构相同的部分标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。图1表示本发明的流体控制装置的第一实施方式。本实施方式的流体导入部3被分成三部分，包括配置在入口侧且分别由2XN/2 个开闭阀23构成的第一
14、以及第二入口侧阻断开放部5、6 ；由4XM个开闭阀23构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部5、6和流体控制部2之间的流体控制部侧阻断开放部7。第一以及第二入口侧阻断开放部5、6将N个入口分成两个入口侧阻断开放部，所以，分别具有N/2个入口和2个出口。由此，第一以及第二入口侧阻断开放部5、6总的出口数(对于流体控制部侧阻断开放部7来说为入口数)为(2+2)个，与该合计4个出口数对应地，使流体控制部侧阻断开放部7由4XM个开闭阀23构成，由此，作为整个流体导入部 3，能够得到M个出口，流体导入部3的M个出口和流体控制部2的M个入口以分别1 1 对应的方式连接。在图6所示的结构中，能够同时向流体
15、控制部2导入最多M个种类(8个种类)的流体。但是，在实用性方面，只要同时向流体控制部2导入最多4个种类的流体即可，在该条件下，通过如第一实施方式那样设置，能够实现开闭阀23数量的减少。此外，在本实施方式中，第一以及第二入口侧阻断开放部5、6的总共的出口数为两个，在同时导入4个种类的流体时，由于不能向第一以及第二入口侧阻断开放部5、6的任一方一起导入4个种类的流体，所以，向第一以及第二入口侧阻断开放部5、6分别各导入2个种类的流体。这样，根据第一实施方式的结构，与图6所示的结构相比，开闭阀23的数量从NXM 个减少到(2N+4XM)个。图2表示本发明的流体控制装置的第二实施方式。 本实施方式的流
16、体导入部3被分成五部分，包括配置在入口侧且分别由N/4个开闭阀23构成的第一至第四入口侧阻断开放部8、9、10、11 ；由4XM个开闭阀23构成且配置在第一至第四入口侧阻断开放部8、9、10、11和流体控制部2之间的流体控制部侧阻断开放部7。流体控制部侧阻断开放部7具有与第一实施方式相同的结构。与第一实施方式的不同点在于，对第一实施方式中的第一以及第二入口侧阻断开放部5、6分别进行进一步分割并分成四个入口侧阻断开放部8、9、10、11。根据第二实施方式的结构，向第一至第四的各入口侧阻断开放部8、9、10、11分别各导入1个种类的流体，由此，与第一实施方式相同地， 第一至第四入口侧阻断开放部8、9、10、11的总出口数(对于流体控制部侧阻断开放部7来说为入口数)为(1+1+1+1)的4个，使该合计4个出口数与由4XM个开闭阀23构成的流体控制部侧阻断开放部7的各入口对应，由此，作为整个流体导入部3，能够得到M个出口， 流体导入部3的M个出口和流体控制部2的M个入口以分别11对应的方式连接。这样，根据第二实施方式，与第一实施方式相比，
