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1、本文格式为Word版，下载可任意编辑磁控溅射操作流程及注意事项 磁控溅射操作流程及留神事项 一、开启冷却水箱电源（注：水箱电源是设备的总电源。） 检查水压是否足够大（0.1MPa），水压操纵器是否起作用。 二、放气 2.1 确认磁控溅射室内部温度已经冷却到室温； 2.2 检查全体阀门是否全部处于关闭状态； 2.3 磁控溅射室的放气阀是V2，放气时旋钮缓慢开启，这可以保证进入气流不会太大； 2.4 放气完毕将气阀关紧。 三、装卸试样与靶材 3.1 开启B柜总电源（在B9面板上），电源三相指示灯全亮为正常。 3.2 提升或降落（B4“升”或“降“）样品台要留神点动操作，不要连续操作。 3.3 装卸
2、试样与靶材要戴一次性薄膜手套，制止油污、灰尘等污染。 3.4 磁控靶屏蔽罩与阴极间距为2-3毫米，屏蔽罩与阴极理应为断路状态。 3.5 装载试样要留神试验所用样品座位置与档板上溅射孔的对应，并记录样品座的编号及目前所对应的靶位。 3.6 降落样品台时要留神样品台与溅射室的吻合，并用工业酒精擦洗明净样品台与溅射室的合作面。 四、抽真空 4.1 确认D面板“热电偶测量选择”指示“”时； 4.2 确认闸板阀G2、G4已经关闭； 4.3 开启B4上“机械泵”，再开启气阀V1，开头抽低真空。 4.4 开启B3面板的电源开关，同时关闭“复合”键。可以从B31处查看低真空度。(低真空测量下限为0.1Pa）。
3、当真空度小于5Pa可以开头抽高真空。 4.5 关闭气阀V1，开启B4上“电磁阀”（确认听到响声表示电磁阀已开） 4.6 开启B8面板的磁控室分子泵电源，按下“START”键，按下FUNC/DATA键，数 字开头逐步上升，等大于H100.0后开启闸板阀G1，随后分子泵速上升并稳定到H400.0。 4.7 磁控室的高真空度在B2面板显示，不要一向开着高真空的测量，也不要频繁开关, 通常每隔1-2小时可开启查看一次，等示数稳定后再关闭（一般不超过3分钟）。 五、充气 5.1确认高真空度达成了-4、-5的数量级，在充气之前务必关闭高真空计； 5.2 开启A1面板上MFC电源，预热3分钟； 5.3 稍关
4、闭闸板阀G1到确定程度，但不要完全关紧 5.4 开启V4、V6（若是二路进气，V5应和V6同时开启）阀门 5.5 将操纵阀扳到“阀控“位置 5.6 开启气瓶阀门，稍旋紧减压阀至压力示数为0.1MPa即可； 5.7 调理MFC阀控的设定（一般在30左右），再进一步关紧闸板阀使得低真空（B3 1）读数接近所需的溅射压强，然后通过微调MFC阀控得到所需的溅射压强。 六、溅射 6.1 确认溅射靶位电源已经连接。 6.2 确认定位销已经脱开。 6.3直流溅射 6.3.1 开启电源开关，调理旋钮至电压达成确定值（一般不超过0.3kv），直流可以顺遂启辉，此时电流开头有数值。 6.3.2 电压与电流乘积为功
5、率值，可持续调理旋钮到所需溅射功率，但是要小于160W。 6.3.3 直流溅射的关闭：调理旋钮至最小，关闭电源。 6.4 射频溅射 6.4.1开启Uf预热5分钟 6.4.2 面板E或F上的量程按钮设定为200/40 6.4.3 开启Ua，并通过粗调与微调Ua，接近设定工艺功率，然后通过匹配调理，即调整面板E或F上的C1和C2，得到所需溅射功率。 匹配的调整规定如下：F为设定功率（小于160W），R要小于1.5或F的8%；对于绝缘材料，在得志F功率的要求下，R要尽量小，且最大不能超过F的15%。 6.4.4 射频溅射的关闭：粗调与微调Ua关到最小关闭Ua等待3min关闭Uf。 注：连续溅射一小时
6、后需暂停溅射，关闭气路，等抽真空30分钟后再重新充气溅射。 七、溅射终止 7.1 关闭气瓶阀门，旋松减压阀至压力示数为0； 7.2 将MFC阀开关置于“关闭”位，并将流量调至零，然后关闭电源开关； 7.3 关闭V6和V4阀门（若是二路进气，V5应和V6同时关闭）； 7.4 开启闸板阀，持续抽真空30分钟后关闭闸板阀； 7.5 关闭分子泵：按下“STOP”键等待分子泵速下降到H100.0以下关闭电源。 7.6 关闭电磁阀I与机械泵I。 7.7 等30分钟后，关冷却水电源。 八、其他操作说明 8.1加负偏压 加偏压方法：开启偏压电源，调整偏压为200v即可。偏压要在开头镀膜之前施加。 8.2基板加
7、热 8.2.1确认热偶回路、加热回路连接正常，完好； 8.2.2 开启加热电源I，设定加热温度，调整电流加热； 8.2.3 终止加热：先将电流调到最小，然后关闭电源。 九、清理工作及离开留神事项 9.1 将所用工具放回原处，整理室内卫生； 9.2 在离开之前，应确认拉闸断电，关闭门窗。 十、紧急处境处理 突然停电后的措施：尽快关闭闸板阀，然后关闭各路气阀，关闭电路按钮开关。 进样室加热退火操作流程及留神事项 一、开启冷却水箱电源（注：水箱电源是设备的总电源。） 检查水压是否足够大（0.1MPa），水压操纵器是否起作用。 二、放气 2.1 确认进样室内部温度已经冷却到室温； 2.2 检查全体阀门
8、是否全部处于关闭状态； 2.3 进样室的放气阀是V8，放气时旋钮缓慢开启，这可以保证进入气流不会太大； 2.4 放气完毕将气阀关紧。 三、装卸样品 3.1 开启进样室门，将样品朝下，送入退火炉内，使样品托的尖端插入圆形槽内，保证样品托与退火炉平行； 3.2 关闭进样室门并锁紧旋钮。 四、抽真空 4.1 确认闸板阀G2、G4已经关闭 4.2 开启B5面板上“机械泵”，再开启气阀V9，开头抽低真空。 4.3 开启B3面板的电源开关，同时关闭“复合”键。可以从B32处查看低真空度。(低真空测量下限为0.1Pa）。当真空度小于5Pa可以开头抽高真空。 4.4 关闭气阀V9，开启B4上“电磁阀”（确认听
9、到响声表示电磁阀已开）； 4.5 开启B7面板的进样室分子泵电源，按下“工作”键，高速/转速指示灯亮，随后 分子泵速上升并稳定到704，然后开启闸板阀G3，。 4.6 进样室的高真空度在B3-2面板显示（复合键灯亮，测量值为高真空度），不要一 直开着高真空的测量，也不要频繁开关，通常1小时后可达成4x10-3Pa，开启后等示数稳定后再关闭（一般不超过1分钟） 五、加热退火 5.1 确认热偶回路、加热回路连接正常，完好； 5.2 开启对应加热电源，设定加热温度，调整电流加热； 5.3 终止加热：先将电流调到最小，然后关闭电源。 六、终止 6.1 关闭闸板阀； 6.2 关闭分子泵：按下“工作”键等
10、待分子泵速下降到0关闭电源； 7.6 关闭电磁阀III与机械泵III； 7.7 等1小时后，关冷却水电源。 七、清理工作及离开留神事项 9.1 将所用工具放回原处，整理室内卫生； 9.2 在离开之前，应确认拉闸断电，关闭门窗。 八、紧急处境处理 突然停电后的措施：尽快关闭闸板阀，关闭电路按钮开关。 附：简朴操作步骤 一、 磁控溅射 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 打定工作： 开启冷却水箱电源 开启V2放气 关闭V2 开启磁控室装样品与靶材 关闭磁控室 抽真空：开机械泵I 开启V1气阀 至低真空小于5Pa 关闭V1气阀 开电磁阀I 开分子泵 至转速大于H100.0 开启闸板阀G1 充气：
11、开启MFC预热3分钟 稍关闭闸板阀G1 开启V4 开启V6（或V5） 将MFC打到“阀控” 开启气瓶 关紧闸板阀G1 调理MFC 溅射：开启电源开关 调理功率至启辉 溅射终止： 将功率调至最小 关闭电源 关闭气瓶 关MFC 关V6（或V5） 关V4 开启闸板阀G1 抽真空30分钟 关闭闸板阀 关闭分子泵 关闭电磁阀I 关机械泵I 30分钟后关冷却水电源 整理工作：整理仪器和卫生 拉闸断电，关闭门窗 1.6 二、 进样室退火 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 打定工作： 开启冷却水箱电源 开启V2放气 关闭V2 开启进样室装样品 关闭进样室 抽真空：开机械泵III 开启V9气阀 至低真空小
12、于5Pa 关闭V9气阀 开电磁阀III 开分子泵 至转速稳定704 开启闸板阀G3 加热：开启电源 设定加热程序 调整电流开头加热 加热终止：将电流调至最小 关闭电源 关闭闸板阀 关闭分子泵 关闭电磁阀III 关机械泵III 1小时后关冷却水电源 整理工作：整理仪器和卫生 拉闸断电，关闭门窗 附：SR93温度操纵器说明书 （进样室退火和磁控室基板加热） 1. 开启电源，按GRP，进入Prog（程序）设置： Step1（升温曲线）： *按“step”调加热温度（），按“Ent”确认； *按“ ”调升温时间（小时），按“Ent”确认； Step2（保温曲线）： 重复上述步骤 Step3（降温曲线）：重复上述步骤（但一般都随炉冷却，保温时间到后直接关电源即可） 2. 设定完程序，退回到初始状态，按“Run”约3秒，绿灯亮，就开头运行 3. 缓慢顺时针旋转面板功率调理旋钮，将电流调至4A，停留2分钟后，将电流调至8A（将 旋钮再旋1/2圈即可），一般加热到最高温度只需8A电流。 4. 关电源时，先调理功率旋钮毕竟，再关闭电源。 注：为了到温时实际温度与设定温度偏差不要太大，可分两段升温，低温升温速度加快，高温升温速度降低。 9
