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1、本文格式为Word版，下载可任意编辑TEM和SEM的异同比较分析以及环境扫描电镜场 TEM和SEM的异同对比分析以及环境扫描电镜,场放射电镜与传统电镜相对比的技术特点和应用 xrd是x射线衍射，可以分析物相，SEM是扫描电镜，主要是查看显微组织，TEM是透射电镜，主要查看超限微布局。AES是指能谱，主要分析浓度分布。STM扫描隧道显微镜，也是查看超微布局的。AFM是原子力显微镜，主要是查看外观形貌用的。 TEM: 透射电子显微镜（英语：Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到分外薄的样品上，电子与样品中的原子碰
2、撞而变更方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射电子显微镜的辨识率为0.10.2nm，放大倍数为几万百万倍，用于查看超微布局，即小于0.2m、光学显微镜下无法看清的布局，又称“亚显微布局”。 TEM是德国科学家Ruskahe和Knoll在前人Garbor和Busch的根基上于1932年研发的。 编辑本段成像原理透射电子显微镜的成像原理可分为三种处境： 吸收像：当电子射到质量、密度大的样品时，主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大，通过的电子较少，像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理 TEM透射电
3、镜 。 衍射像：电子束被样品衍射后，样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各片面不同的衍射才能，当展现晶体缺陷时，缺陷片面的衍射才能与完整区域不同，从而使衍射钵的振幅分布不平匀，反映出晶体缺陷的分布。 相位像：当样品薄至100A以下时，电子可以穿过样品，波的振幅变化可以疏忽，成像来自于相位的变化。 编辑本段组件电子枪：放射电子，由阴极、栅极、阳极组成。阴极管放射的电子通过栅极上的小孔形成射线束，经阳极电压加速后射向聚光镜，起到对电子束加速、加压的作用。 聚光镜：将电子束聚集，可用于操纵照明强度和孔径角。 样品室：放置待查看的样品，并装有倾转台，用以变更试样的角度，还有装配加热 、冷却等设
4、备。 物镜：为放大率很高的短距透镜，作用是放大电子像。物镜是抉择透射电子显微镜辨识才能和成像质量的关键。 中间镜：为可变倍的弱透镜，作用是对电子像举行二次放大。通过调理中间镜的电流，可选择物体的像或电子衍射图来举行放大。 透射镜：为高倍的强透镜，用来放大中间像后在荧光屏上成像。 此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。 编辑本段应用透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到结果的成像质量，务必制备更薄的超薄切片，通常为50100nm。所以用透 射电子显微镜查看时的样品需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法
5、、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通常是挂预处理过的铜网上举行查看。 编辑本段特点以电子束作光源，电磁场作透镜。电子束波长与加速电压(通常50120KV)的平方根成反比。 由电子照明系统、电磁透镜成像系统、真空系统、记录系统、电源系统等5片面构成。 辨识力0.2nm，放大倍数可达百万倍。 TEM分析技术是以波长极短的电子束作照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高辨识率（1nm）、高放大倍数的电子光学分析技术； 用电镜（包括TEM）举行样品分析时，通常有两个目的：一个是获得高倍放大倍数的电子图像，另一个是得到电子衍射花招； TEM常用于研究纳米材料的结晶处境，查看纳米粒子的形
6、貌、分散处境及测量和评估纳米粒子的粒径。是常用的纳米复合材料微观布局的表征技术之一。 SEM: 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质外观时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。原那么上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形 貌、组成、晶体布局、电子布局和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜是1965年研发的较现代的细胞生物学研究工具，
7、主要是利用二次电子信号成像来查看样品的外观形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子放射。二次电子能够产生样品外观放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。 扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质外观时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动（声子）、电子振荡（等离子体）。原那么上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身
8、的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体布局、电子布局和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集， 可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。 编辑本段功能介绍扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。 当一束高能的入射电子轰击物质外观时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、
9、晶格振动 （声子)、电子振荡 （等离子体）。原那么上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体布局、电子布局和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。 编辑本段机构组成扫描电子显微镜由三大片面组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。 以下提到扫描电子显微镜之处，均用SEM代替 真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两片面。真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油分散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油分散泵的组合可以得志配置钨枪的SEM的真空要求，但对于装置了场致放射枪或六硼化镧枪的SEM，那么需要机械泵加涡轮分子泵的组合。 成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。 之所以要用真空，主要基于以下两点理由： 6
