高端装备与激光技术创新及产业化项目申报书

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1、第一节项目概况 一项目背景为进一步加快沈阳新松机器人自动化股份有限公司的 发展，尽快把企业做大做强，在巩固原有主营业务的同时，加大新兴 产业的投资力度，增强公司盈利能力与抗风险能力，为股东及投资人 创造价值，新松公司拟在杭州萧山临江工业园区设立全资控股公司， 开拓激光产业及高端装备项目。二项目定位中科新松（杭州）光电有限公司（以工商部门核准的名 称为准），简称中科新松，是由沈阳新松机器人自动化股份有限公司 （简称“新松公司”）投资建设，作为新松公司的南方中心。中科新 松采用有限责任公司的运营机制；办公、研发、生产制造位于杭州市; 市场以杭州、上海、深圳公司为窗口，涵盖珠三角、长三角等华南、 华

2、东经济圈；与北方新松公司总部遥相呼应，协同发展。三项目技术与产品1洁净高端装备产品（1）大气机械手大气机 械手主要应用于IC生产中大气端晶圆片的传送，主要包含运动部件 的洁净润滑、高速平稳控制、控制器的小型化、晶圆位路检测等关键 技术。目前有单臂和双臂两种产品，已经完成了在沈阳芯源公司TRACK 机上的示范应用，并通过了辽宁省的新产品投产鉴定和科技成果鉴 定。（2）真空机械手真空机械手主要应用于IC生产中真空腔室内 部各工位间晶圆片的传送。新松机器人自动化股份有限公司已经完成 了第一代和第二代基于磁流体密封真空机械手的开发。目前已解决（1）真空机械手平滑控制问题；（2）润滑问题；（3）传动问题

3、；（4） 密封问题；（5）材料问题（6）安全问题。目前产品样机已经在北方 微电子公司进行了测试和示范应用，各项测试指标 高端装备与激光 技术创新及产业化项目可行性分析报告完全满足要求。（3）洁净镀 膜机器人新松公司开发完成了洁净镀月莫搬运机器人生产线系统。该 系统主要用于光导鼓（打印机关键零部件）镀膜和搬运，适用于在洁 净环境下工作，已经着重攻克了洁净润滑及材料表而加工技术和机器 人平稳控制技术。目前洁净镀膜机器人在苏州恒久光电科技有限公司 已经成功应用于生产。（4）超薄玻璃洁净搬运机器人 超薄玻璃广 泛应用于生产电脑显示器、笔记本电脑、手机和掌上电脑（PDA ）等 平板显示器（FPD）o沈阳

4、新松机器人自动化股份有限公司与中国洛阳 浮法玻璃集团合作，攻克了超薄玻璃洁净搬运机器人本体设计技术、 平稳控制技术和真空吸附技术，研制出了直角坐标型超薄玻璃洁净搬 运机器人。目前该产品已经成功应用于中国洛阳浮法玻璃集团的生 产。2激光产业产品（1）激光器件激光器件主要包含激光电源、 泵浦源模块、传输光纤、激光模组、激光加工头、送粉器、冷却系统 等。新松公司致力于激光封装技术、激光器件技术的研发和产业化， 为此整合国内外资源攻关和关产品的关键技术。我们研发和制造的产 品主要包含激光电源、半导体模块、激光模组、激光光纤、激光熔覆 头、激光焊接头、激光切割头、负压式送粉器、半导体激光器、光电 探测器

5、、半导体泵浦激光单管、各种系列冷水机等等。目前，半导体 激光器件的封装生产线正在建设，激光加工头、送粉器、冷水机等激 光相关产品已经得到了广泛的应用，产生了近千万元的产值。（2） 激光器 激光器是光电信息产业和装备制造产业的关键部件，市场规 模巨大，目前我国主要依靠进口。新松公司率先研制了国内首台大功 率模块化C02激光器，并形成3KW和5KW系列产品；承担了国家科 技部“十一五”863重点项目“人功率全固态激光器及焊接成套装备”, 形成了 1KW、3KW、5KWX业级全固态激光器系列产品；并与国外知名 激光公司建立了 “全面合作伙伴关系”。目前，公司的激光器产品主 要包含C02激光器、全固态

6、激光器、半导体激光器和光纤激光器， 其中C02激光器和全固态激光器已经推向市场，半导体激光器和光 纤激光器正在联合国外公司 高端装备与激光技术创新及产业化项B 可行性分析报告和科学院研究所共同研制，打算在2011年推向市场。(3)激光装备及应用新松公司在数控加工系统、自动化生产线设计 开发技术、机器人周边设备设计开发技术、机器人系统集成技术和机 器人工程应用技术等方面，开发了具有自主产权的多功能激光加工系 统、激光焊接机器人系统、激光钎焊机器人系统、便携式激光加T机 器人系统、柔性激光切割系统等等自动化激光加工成套装备和生产 线。在成套装备设计制造项目管理方面，积累了丰富的工程设计经验, 建立

7、了一整套系统的工程管理制度，具备了强大的集成能力和创新能 力，先后为汽车、冶金、屯力、军工等行业提供500多台套机器人 自动化加工成套装备和激光加工成套装备系统，引领了国内自动化激 光加工成套装备集成制造的发展。目前，各种自动化激光加工装备形 成年产值超过1亿元。(4)激光加工工艺 新松公司在激光再制造、 激光表面改性、激光冲击处理、激光远程焊接、激光钎焊、激光复合 焊接、激光塑料焊接、激光打标、激光切割、激光打孔等激光加工工 艺方面都累积了大量的工艺技术和工程实施经验，先后为长春一汽集 团、一航黎明发动机股份有限公司、沈阳鼓风机集团、沈阳机床集团、 鞍山钢铁集团、唐山钢铁集团等龙头企业开展了

8、汽车模具、燃气轮机 转子、电机转子、曲轴、滑轨、活塞杆、轧馄、结品器等装备零部件 的激光再制造和激光强化；为上海延峰江森座椅有限公司、长春一汽 富维、东光集团、比亚迪汽车、长春轨道客车股份有限公司等等开展 了汽车座椅、飞轮、齿轮、燃料电池盒、高速列车零部件等的激光焊 接工艺研究，汽车内饰件、冲压件等的激光切割工艺研究，动力电池 极板等的精密激光切割工艺研究等等。（5）激光显示 激光显示被 称为是继黑白显示，标准彩色显示和数字显示之后的第四代显示技 术，激光显示能实现传统显示能达到的所有先进技术指标，如大屏幕、 高分辨率、数字化等。激光显示技术的应用范围主要包括激光电视、 激光投影机、激光数字电

9、影放映机等。新松公司攻关了激光显示的核 心技术：红绿蓝三基色激光光源技术，激光照明光源的匀场整形技术, 激光显示消散斑技术，激光投影光学引擎等。新松公司通过自主研发 适合于激光显示的激光光源模组，并从光源着手根本解决了散斑问 题，实现驱动、散热一体的激光光源模组，通过引进技术与LCOS光 机厂家合作共同进军激光显示产业。目前我们开发的主要产品包含激 光电视、高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性分析报告激 光投影仪、电子阅报栏、激光射灯等等。第二节市场分析和市场定位一整体市场环境I洁净高端装备行业环境市场调研公司IC Insights发布的报告显示，未来5年中国的IC产业将以两倍于整个 IC

10、产业的速度增长。目前，中国IC市场的份额已经占全世界的1/5 以上，市场潜力全球最大。近年来国际跨国公司、投资机构及电子产 品厂商纷纷在我国建设IC芯片加工和封装生产线，呈现国际IC产 业转移的趋势。然而国产IC装备制造业发展规模与国内IC市场需 求严重脱节，IC装备大量依赖进口，如果IC装备业不能靠自主创 新赶上来，只能是代代引进，代代落后，受制于人。中国IC装备制 造业的发展是中国IC产业进一步发展的力量源泉。IC装备制造业 快速发展的迫切需求为我国硅片传输机器人的产业化发展提供了契 机。根据SEMI （国际半导体设备与材料协会）预测，2008年全球 半导体设备销售收入为341.2亿美元，

11、虽然比2007年下降了大约 20%,但是中国的半导体生产设备销售额将比2007年增长1%。并且 中国的新设备市场在2008年将超过欧洲和世界其他地区的市场。国 内半导体设备市场的迅猛发展，对晶圆输送口动化部件（大气和真空 机械手，半导体设备前端模块EFEM）的需求在不断地增大，大气、真 空机械手是IC制造工厂的关键设备，也是IC装备的关键核心部件, 目前完全依赖于进口，严重受制于人。技术发达国家在出口中国的关 键设备和成套工艺技术上设立了严格的许可证制和飞行检查条款，近 来这一趋势又有了进一步收紧的趋势。因此，完全自主知识产权的晶 圆输送自动化部件（大气和真空机械手，半导体设备前端模块EFEM

12、） 具有巨大的国内市场，随着产品性能的提高，加上我们产品的价格优 势，国际市场将是一个更大的空间，形成一个具有口大经济效益和社 会效益的产业。高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性分析 报告2激光产业行业环境Laser Focus World预测，2010年光 电子信息技术产业将达到50000亿美元的产业规模；2010年到2015 年，光电子产业将成为21世纪最大的产业，成为衡量一个国家经济 发展和综合国力的最重要标志。其中，2009年激光器市场的实际销 售额为53.2亿美元，比2008年70.1亿美元的总销售额下降了 24. 1%，但是中国的激光产业增长了 7.1%。2010年全球激光器市

13、场 将实现11. 1%的增长，销售额将达到59. 1亿美元。目前，中国有 5个国家级激光技术研究中心，10多个研究机构；有21个省、市生 产和销售激光产品，常年有定型产品生产和销售、并形成一淀规模的 单位有200多家。根据2009-2012年中国激光行业市场调研及发 展趋势分析报告，预估在今后三年内我国激光产业平均行业复合成 长率应该不低于20%,未來5年，中国激光产品市场需求将超过600 亿兀。激光技术与众多新兴学科相结合，将更加贴近人们的日常生活, 而激光器研究向固态化方向发展，半导体激光器、光纤激光器和半导 体泵浦固体激光器将成为激光加工设备的主导方向，整个激光产业界 并购将盛行，各公司

14、力争成为行业巨头，激光产品也将在工业生产、 交通运输、通讯、信息处理、医疗卫生、军事及文化教育等领域得到 更深入的应用。二市场细分分析1洁净高端装备市场分析近年来, 国家在北京、上海、天津、深圳等地引进了一批较为先进的IC制造 生产线。台湾IC界厂商陆续在中国建厂，特别是中芯国际已经陆续 在上海（8英寸）、天津（8英寸）、北京（12英寸）建厂,我国IC 产业进入了蓬勃发展的新时期；但是，这些生产线上使用的设备，基 本没有国产设备；而且在西方发达国家技术封锁下，高端的IC制造 装备引进受到限制，使得我国的IC制造业受制于人，为了摆脱这种 局面，需耍发展具有市场竞争力和自主产权的先进IC制造装备。

15、目 前，硅片加工的主流是8英寸，并向12英寸发展，现时8英寸硅片 厂正全力采用自动化，以达到更高的生产效能并提高合格率。这个趋 势对12英寸硅片厂来说更是势在必行，虽然IC制造中人力是不可或 缺的，但12英寸硅片厂中一个装载25高端装备与激光技术创新及 产业化项目可行性分析报告片硅片盒的重量达18磅，人操作起来很 困难，因此，自动化的物料搬运系统是必然的趋势，此外，采用硅片 搬运机器人可减少工人数，减少污染来源，捉高生产效率。因此，在 12英寸厂方而，自动化已经不是一个选择，而是一个必要。硅片传 输设备已经成为IC制造中应用最多的通用设备，建一条由儿十种、 数百台套IC装备组成的12英寸生产线

16、大概需要投资20亿美元，而 其中的70%80%是用于购买设备。而多数TC装备都需要采用机器人 在高洁净（或真空）环境下对硅片进行高效率、高可靠搬运。IC装 备制造业快速发展的迫切需求为我国硅片搬运机器人的产业化发展 提供了契机。以每台国产硅片搬运洁净机器人售价50万元为例，国 内每年硅片搬运洁净机器人的需求量为500-1000台，并每年以大约 30%以上的速率增长。2激光加工及装备市场分析 据 ILS （Industrial Laser Solutions）统计，全球工业激光系统的产值 199 7年为20. 63亿美元,1998年为23.38亿美元,1999年为25.91 亿美元，这三年年产值年增长率一直保持在13%左右。但2000年仅 为27. 76亿美元，年增长为7%左右，开始受到网络经济泡沫，美国 和全球范围经济衰退的影响。在2003年1月ILS发表的校正后统 计数字，计入了 2001年中国工业激光系统市场额增长的因素，2001 年全球工业激光系统产值为28. 75亿美元，比2000年增长9. 6%。 显然，中国的激光加T市场增幅已明显地牵动着国