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1、第一章 总论21项目简介22项目概况4第二章技术、设备及工程方案71技术方案72设备方案123. 工程方案14第三章原辅材料及燃料供应181. 主要原料供应18第四章环境保护201. 设计依据和标准202. 主要污染源及治理措施203. 绿化224. 环境评价结论22第五章节能节水措施241. 节能和节水的必要性242. 节能原则243. 节能措施244. 节水措施25第六章市场预测与可行性分析271. 中国多晶硅工业现状272. 市场预测与可行性分析28第七章投资估算与资金筹措321. 估算依据32.2. 估算323. 资金来源334. 资金使用计划33第八章经济效益测算341. 年销售收入
2、、销售税金及附加估算342. 产品成本估算343. 利润总额及分配35第九章社会效益分析361. 项目实施对社会的影响分析362. 项目与所在地互适性分析363. 社会评价结论37第一章总论1项目简介：1.1项目名称项目名称:XXXX年产1000吨电子级高纯多晶硅建设项目1.2项目承建单位及概况项目承建单位:XXXX项目投资方:外资1.3可行性研究报告的编制依据(1) 国家计委办公厅投资项目可行性研究指南(2) 一般工业项目可行性研究报告编制内容深度规定(3) 国家制定颁布的有关法规和规定(4) 行业对项目可行性研究的要求(5) 项目承办单位提供的资料，编制人员现场勘测的有关资料、数据等(6)
3、 建设项目经济评价方法与参数(第三版)(7) XXXX关于XXXX年产1000吨电子级高纯多晶硅建设项目编制委 托书1.4项目提出的理由和过程多晶硅是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品，制造硅抛光片、 太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是半导体工业、电子信息产业、太 阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材料，可作各种晶体管、整 流二极管、可控硅、太阳能电池、集成电路、电子计算机芯片以及红外探 测器等。多晶硅的需求主要来自半导体和太阳能电池。按纯度要求不同， 分为电子级和太阳能级。其中，用于电子级多晶硅占55%左右，太阳能级 多晶硅占45%O近年来，随着全球信息技术不断进步和光伏产业的迅
4、猛发展，对于多 晶硅的需求量将日益增加。电子信息产业是我国发展支柱的产业，作为半 导体产业最基础的功能材料多晶硅，是当前国家重点鼓励发展的产业、产 品。即使在建的多晶硅项目投产，国内多晶硅产量仍不能满足市场需求。 随着我国集成电路高速增长的势态，以及“光明工程”的实施，光伏发电 技术及其产量的腾飞，对多晶硅的需求量将持续增长。而国内多晶硅的自 主供货存在着严重的缺口，95%以上的多晶硅材料需要进口，供应长期受制 于人，再加上价格的暴涨，已经危及到多晶硅下游众多企业的发展，成为 制约中国信息产业和光伏产业发展的瓶颈问题。XXXX经过对市场的调研和分析，抓住有利时机，决定建设年产1000 吨电子级
5、高纯多晶硅项目。该项目不仅符合国家产业政策要求，而且项目 建成后，能缓解国内对多晶硅的需求，更能增加国家和地方的财政收入， 带动当地的经济发展和产业结构的调整，还能有效解决当地剩余劳动力问 题，有利于社会的和谐稳定发展。2. 项目概况2.1拟建地点该项目拟建于洛阳孟津县城关镇开发区，占地约300亩。东距省会郑 州110公里，西距豫西名城三门峡90公里，南与古都洛阳毗邻，北临滔滔 黄河，与济源市一桥相连。2.2建设规模和建设内容依据国家产业政策，结合市场供需状况，XXXX拟投资建设规模为年 产1000吨电子级高纯多晶硅项目。序号项目单位数据备注I经济数据1项目总投资万元29968其中：规模总投资
6、万元269402建设投资万元256433建设期利息万元04流动资金万元4325其中；铺底流动资金万元12975资金筹措万元29968其中：债务资金万元0项目资本金万元29968资本金比例%100. 006年平均营业收入万元1364887年平均营业税金及附加万元6508年平均总成本费用万元1053589年平均利润总额万元3048010年平均所得税万元762011年平均利润万元2286012年平均息税前利润万元3048013年平均增值税万元6497II财务评价指标1总投资收益率%101. 712项目资本金净利润率%76. 283项目投资财务内部收益率（所得税前）%66. 324项目投资财务净现值（
7、所得税前）万元126913Ic=12%5项目投资回收期（所得税前）年3. 346项目投资财务内部收益率（所得税后）%55. 857项目投资财务净现值（所得税后）万元92507Ic=12%8项目投资回收期（所得税后）年4. 069项目资本金财务内部收益率%55. 6210盈亏平衡点（生产能力利用率）%21. 58本项目主要建设内容：生产厂房建筑面积6040平方米；仓储用房、配 电房等建筑面积2745平方米；办公楼建筑面积2160平方米；质检、科研 楼建筑面积1500平方米。该项目建筑总面积为12500平方米。2.3建设期限根据项目建设内容和建设资金筹措情况，该项目建设期为30个月。 2.4项目投
8、资情况该项目总投资为29968万元，主要经济数据及评价指标如下表主要经济数据及评价指标表2. 5建设条件2. 5. 1地形、地貌条件该项目所选地点，南依邙山，北临黄河，介于丘陵和平原之间，丘陵 起伏，层次分明。2. 5. 2水文地质、气象条件水文地质:洛阳市孟津县地下水蕴藏量1070米之间，水质良好；地下 水资源丰富，储量充足，易开采，易利用。气象条件：属亚热带和温带的过渡地带，季风环流影响明显，春季多风 常干旱，夏季炎热雨充沛，秋高气爽日照长，冬季寒冷雨雪稀。平均气温 13. 7C, 1月最冷，平均为-0.5C, 7月最热平均为26. 2Co平均降水量为 650.2毫米。全县地形复杂，光、热
9、、水等资源差异明显。全年平均日照 时数为2270. 1小时，6月份日照时数最长，为247. 6小时；2月份日照时 数最短，为147.5小时。全年平均日照率为51%；在作物生长的410月份, 日较差5月份最大为12. 7C, 8月份最小为8.6C,积温平均为5046. 4C； 平均无霜期为235天；年平均降水量为650.2毫米，保证率80%的降水量为 600毫米。第二章技术、设备及工程方案1. 技术方案1.1生产工艺本项目采用的生产工艺为氢硅烷气相沉淀法，属企业自主研发工艺， 该工艺已完成中试，可直接用于工业化。建设项目生产关键装置(如硅烷 发生器、硅结晶炉、硅化镁感应炉等)由公司与国家航天火箭
10、发动机研究 院联合研发。国际上传统生产多晶硅采用的是氢硅烷气相沉淀法(西门子工艺)，氢 硅烷法作为氯硅烷法替代技术，日本和美国已有少数厂家在使用，优点显 著于氯硅烷法。(1) 环保，氢硅烷法几乎对环境没有污染硅烷法使用氯气(剧毒)，产生 的大量四氯硅烷废物，既无法利用又不能排放，很难处理(2) 节能，氢硅烷法生产晶硅，原材消耗显著低于氯氢烷法，电力消耗仅 为氯硅烷法的三分之一。硅甲烷分解成硅和氢，一次能完成百分之九十 五左右；而三氯硅烷结晶，一次最大量仅能完成百分之二十七，十分耗 能。(3) 纯度高，氢硅烷法是很容易结晶出7N以上的多晶硅，而氯硅烷法达到6N已属不易。(4) 成本低，硅甲烷没有
11、腐蚀性，绝大数设备可运行710年；而氯硅烷对不锈钢腐蚀性大，设备一般仅能使用35年。1. 2主要反应机理本项目选择氢硅烷法生产多晶硅，共分四个步骤：(1) 硅和镁反应，生成硅化镁。反应式：Si+2Mg-Mg2Si(2) 硅化镁和氯化鞍在液氨内反应，生成硅化烷。反应式：Mg2Si+4NH4Cl-SiH4+2MgC12+4NH3(3) 硅甲烷纯化去除氨、硼、磷、硫、氧、水分等(4) 硅甲烷分解成硅和氢反应式：SiH4-Si+H21. 3工艺流程及产污环节建设项目选择氢硅烷气相沉积法生产多晶硅。工业硅与工业镁在真空 炉内转化成硅化镁，硅化镁与氯化氨化学反应生产硅甲烷混合气体，硅甲 烷混合气体经过提纯
12、去除杂质，再经热分解使硅晶体沉积在钮丝电极上形 成硅棒。采用这种方法生产的多晶硅，一般纯度很高，其生产工艺流程及 产污环节见图硅粒镁粒氨收集罐硅甲烷A废分子筛分子筛吸附f硅甲烷释放氢气液碱碱淋洗裂解、硅晶体析出收氢气包装多晶屆产品硅酸钠溶液氢气高空火炬排放V1.4工艺流程说明（1）硅化镁合成硅粒和镁粒在惰性气体氮气保护下，在600C真空内加热56个小时，反 应生成硅化镁。硅化镁直接密闭、干燥保存备用，未反应的硅粒、镁粒由 设备自动筛分（真空状态下）后返回真空炉内继续反应。（2）硅甲烷合成将硅化镁和氯化鞍混合后，在-40C液氨溶媒条件下，在硅甲烷发生器中生产硅甲烷、氯化镁和氨气。整个反应在密闭条
13、件下进行， 为连续（循环）反应，硅甲烷和氨气不断生成，经反应釜顶部冷凝器出口 进行收集；氯化镁和多余的液氨从反应釜底部间歇排除：1）氯化镁和多余的液氨从反应釜底部出口进入真空干燥器进行分离。液氨被压 缩进入液氨罐，氯化镁和未反应的硅、镁、硅化镁采用塑料包装。真空干燥 器尾气（主要成分为氨气）经浓硫酸吸收塔、稀硫酸吸收装置吸收后排放。2）硅甲烷混合气体含有氨气，经压缩、冻干收回液氨，回收的液氨返回硅甲烷 发生器，冻干处理后的硅甲烷气体经过浓硫酸吸收除去残余氨气进入分子筛 吸附、耙催化脱氧和分子吸附工序。建设项目浓硫酸吸收塔会有硫酸雾产生，但由于硫酸吸收是在密闭系统内完 成的，酸雾不进入大气，仅会
14、被硅甲烷携带到下一步工序，而且为防止雾状硫酸 被携带到下一步工序，建设项目拟在硫酸吸收工段没有硫酸沉积罐，沉积罐上部 有不锈钢除沫过滤器（专用除雾），可截留5微米的液珠，而且硫酸吸收塔后设 有分子筛吸附装置，可吸附气体中可能存留的微量硫酸酸雾。经过上述处理后， 建设项目无硫酸雾排放。(3) 分子筛吸附和耙催化硅甲烷分子经分子筛变温吸附去除酸雾、水分、氮气等气体，然后通过耙催 化去除少量的氧气，再经分子筛吸附除去水分，使硅甲烷纯度达到6N以上，即 杂质成分含量在10以下。(4) 硅甲烷裂解将硅甲烷通入裂解炉，硅甲烷在裂解炉中分解成硅和氢气，硅沉积在鋁丝电 极上，形成硅棒。该过程周期在1012天，硅棒直径可达到200毫米左右。 该步骤转化率约百分之九十五，裂解炉尾气为氢气及硅甲烷混合气体，裂 解炉尾气通过精鎳储氢材料吸收氢气，未反应的硅甲烷重新进入裂解炉反 应。精鎳储氢材料吸收达到饱和后释放氢气，释放氢气
