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1、CF制程简介制程简介中小二期工程部雷清芳“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。簡報大綱簡報大綱k液晶顯示器的基本構成元件液晶顯示器的基本構成元件k彩色濾光片的結彩色濾光片的結 構構kCF製程介紹製程介紹kCF不良简介不良简介“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。何謂Color FilterColor Filter 彩色的彩色的 LCD需要用到
2、彩色濾光片（Color Filter），經由控制IC的訊號處理，使得從背光源發射的強光，可利用彩色濾光片的處理，表現出彩色的畫面。 彩色濾光片彩色濾光片 之製作是於玻璃基板上，將紅、綠、藍三原色之有機材料，製作在每一個畫素之內。“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。1.TFTLCD是由兩片玻璃所組成，上端是CF，下端是 TFT，中間夾著一層液晶，再搭配偏光板、背光板及驅動電路等元件，形成為一顯示器模組。GlassCFTFT-LCD面板剖面圖液晶Glass偏光片背光燈管
3、驅動 IC板TAB ICTFT偏光片液晶顯示器的基本構成元件液晶顯示器的基本構成元件RGB“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。彩色濾光片結構彩色濾光片結構0.30.7TRBM1.2mCF剖面圖CF俯視圖“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。BM製程製程1.功用：遮光效用，防止TFT產生光電效應進而產生誤動作;防止兩色相混，使兩顏料不會混合在
4、一起;增進色彩對比性 ;2. CrBM製程樹脂BM製程基板黑色光阻光阻塗佈曝光UV光源光罩顯影Cr成膜UV光源光罩硬烤BM形成RGBBMOCOCITOMVAPS基板光阻塗佈曝光顯影蝕刻光阻剝離BM形成光阻“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。鍍鉻鍍鉻製程製程 (Sputtr Cr)基板Ar靶材Cr 二次電子通入通入 氣體氣體 Ar 自由電子抽真空抽真空原理：利用高壓電場將通入的氣體分子Ar游離成 Ar+離子和電子，再以電場加速Ar+離子撞擊 Target，Target
5、原子就會被撞擊出來，沉積在基板上。“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。UV燈烘烤顯影BM - 基板紅色光阻塗佈曝光光罩綠色&藍色曝光部分因聚合而失去溶解性。洗去未曝光部分，形成所需圖案樣式。加熱以硬化殘留之負型光阻。RGB製程製程RGBBMOCOCITOMVAPS“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。正正/負型光阻負型光阻正型光阻正型光阻:
6、開口曝光開口曝光 光阻不保光阻不保留留負型光阻:開口曝光 光阻保留“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。CF廠一般機種製造流程廠一般機種製造流程導入導入 OC材材機種製造流機種製造流程程OCOC製造流程OCOC層的作用說明：層的作用說明：層的作用說明：層的作用說明：使色層平坦化與保護層的作用，提升後段製程良率使色層平坦化與保護層的作用，提升後段製程良率使色層平坦化與保護層的作用，提升後段製程良率使色層平坦化與保護層的作用，提升後段製程良率。ITOBM+RGBRGBBM
7、OCOCITOMVAPS“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。鍍鍍ITO製程製程 (Sputtr ITO) 所謂ITO是指Indium(銦銦)及Tin(錫錫)的氧化合物，因為透明又具導電性，所以又稱透明導電膜透明導電膜 。RGB基板鍍好ITO膜之基板濺鍍ITO靶RGBBMOCOCITOMVAPS“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。MVA 製
8、程製程Glass Input水洗段水洗段 CleanMVA光阻塗佈光阻塗佈顯顯影影AOI檢查檢查Oven 曝光製程曝光製程Glass OutputRGBBMOCOCITOMVAPS“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。MVA製程製程 (多象限垂直配向多象限垂直配向 )Multi-domain Vertical Alignment藉由此突出物的幫忙，可以讓液晶產生一預傾(pre-tiltangle)，以便當電壓施加於液晶時，可以讓液晶倒向不同的方向，人眼對液晶長軸與短軸
9、的屈光特性並不一致，以致當人眼的夾角變化時，感受到的光強度便不一致，就會有不同灰階的感覺。MVA的原理就是想利用不同角度的液晶，藉由互相的補強，來擴大視角的範圍。VA机种液晶排列是垂直于面板，属于normalblack类型。加入凸起物（加入凸起物（ Protrusion）使液晶本身產生一個預）使液晶本身產生一個預傾角（傾角（ Pre-tilt Angle） “雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。Photo Spacer 目的:在使TFT及CF面板中間有間距，使液晶能做
10、旋轉的動作.PS光罩UV 燈曝光顯影PS光阻塗佈 及旋轉烘烤CFTFTSpacer-BallCFTFTColumnConventional StructureNovel StructureRGBBMOCOCITOMVAPS“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。同性電互斥Cell-Ball spacerCF- PSPhoto Spacer“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用
11、为重点的“群众性治安防控工程”。MACRO外觀檢查外觀檢查光盒透過檢查 鈉燈反射檢查 強光燈檢查主要針對外觀不良(異物、漏光、Mura、色不均等)進行篩檢過濾檢查。“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。特性量測特性量測BMBM位置精度位置精度線幅精度線幅精度Total Pitch光學濃度光學濃度 (OD)RBGRBG色度色度 (分光值分光值 )ITOITO膜厚膜厚透過率透過率阻抗值阻抗值PSPSPS柱高柱高位置精度位置精度上底尺寸上底尺寸“雪亮工程是以区（县）、乡（镇
12、）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。黑色陣列圖案 (BM)總長 Total PitchBM特性量測特性量測開口幅 -XTotal Pitch變寬部份偏移部份偏移關鍵性的尺寸： BM的線寬、開口率、位置精度線寬變寬 =開口率變小正常正常開口幅 -YOD值、膜厚“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。RGB色度量測色度量測色度“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综
13、治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。RGB特性量測特性量測 II起始部起始部全距全距終了部終了部幅手幅手“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。RGB 特性量測特性量測 I線寬線寬線寬線寬色度色度透過透過率率“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。ITO規格量測規格量
14、測理想下阻抗值越低越好穿透率 (88以上)阻抗值 (30以下)ITO膜“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。RGB-穿透率理想下：穿透率越高越好“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。Photo Spacer 規格量測規格量測Photo spacer134PS Top AreaPS Bottom Area Opening of lower pi
15、xelOpening of upper pixel2.75um7.75umBM center YBM center X特性量測：位置精度、膜厚、上特性量測：位置精度、膜厚、上/下底下底線幅線幅X軸面Y軸面“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。CF不良簡介 白缺陷：白缺陷：漏光漏光 (RBM欠陷、欠陷、 RGB色剝、針孔、圖形刮傷等色剝、針孔、圖形刮傷等) 黑缺陷：黑缺陷：異物異物 (RBM殘留、殘留、 Particle、RGB光阻異物等光阻異物等 ) Mura缺陷：缺
16、陷：Mura(直直/橫橫 Mura、黑、黑 Gap Mura、ITO色不均等色不均等 )“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。白缺陷類 -BM欠陷BM欠陷欠陷 特徵：特徵：從反射光中較易看出，如果從透射光去看可以看見不規則遮光層消失，形成漏光現象。反射光反射光透射光透射光“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。白缺陷類 - RBM額緣針孔 RBM額緣針孔額緣針孔 ：從反射光中較易看出，如果從透射光去看可以看見遮光層消失，形成漏光現象 。反射光反射光透射光透射光“雪亮工程是以区（县）、乡（镇）、村（社区）三级综治中心为指挥平台、以综治信息化为支撑、以网格化管理为基础、以公共安全视频监控联网应用为重点的“群众性治安防控工程”。白缺陷類 - RBM膜面線刮 BM膜面線刮膜面線刮 特徵：特徵：從反射光中較易看出，如果從透射光去看可以看見遮光層消
