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19中华人民共和国国家学问产权局12有用新型专利21申请号 CN202122043624.822申请日 2021.12.0671申请人 浙江高校地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路 866 号10申请公布号CN209140574U43申请公布日 2021.07.2372制造人 王晶;黄潇;白剑;赵磊;周骧东;侯晶74专利代理机构 杭州求是专利事务全部限公司代理人 刘静51Int.CI权利要求说明书 说明书幅图54制造名称一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置57摘要本有用新型公开了一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，通过处于偏振光路中的纯相位空间光调制器生成不同空间频率与 PV 值的中频误差相位分布，来对入射光场进展相位调制，实现中频误差的衍射成像，并由采样相机完成衍射光斑数据的快速采集。本装置能够解决中频误差光学元件样品加工困难、无法大量制作、衍射光斑采集过程中需要不断更换样品和进展位置调整的问题，实现不同空间频率与 PV 值的中频
