平行度测量步骤 激光系统可以用于测量线性和旋转的平行度 并行测量包括2套直线度测量这是表示之前已经完成并充分理解直线度测量,采集直线度数据，然后并行性分析整理课件平行度测量原理 线性平行度测量用于确定两个标称平行轴之间的角度关系平行度测量由两组直线度测量组成，用共同的直线度反射镜参考基准来进行（就像垂直度测量一样） 从第1运动轴的斜度 ( 1) 中减去第2运动轴的直线度数据采集斜度 (2)，算出线性平行度 线性平行度 = 1 - 2线性平行度整理课件直线平行度 计算直线平行度误差 从第1运动轴的斜度 ( 1) 中减去第2运动轴的直线度数据采集斜度 (2)，算出线性平行度 线性平行度 = 1 - 2固定直线度反射镜固定和移动的光学设计之间交换的测量整理课件旋转平行度 旋转平行度测量是确定旋转轴和一个线性轴之间的角 直线度反射镜放置在旋转轴（如车床卡盘）和直线度干涉镜沿着直线轴，如图3所示反射是通过180旋转的两组之间的直线度测量，如图4所示整理课件整理课件激光测量由以下组件构成： XL-80激光头 直线度光学镜组 直线度测量附件 垂直度测量光学镜组 LaserXL校准软件整理课件平行度测量配置整理课件线性平行度配置水平平面平行度垂直平面平行度整理课件水平平面平行度替代设置垂直平面平行度替代设置整理课件水平平面平行度测量整理课件垂直平面平行度测量整理课件水平平面平行度替代设置测量整理课件垂直平面平行度替代设置测量整理课件旋转平行度整理课件准直平行光束 线性平行度光束准直 对准沿着第一测量轴 依据正常直线度准直程序 对准沿着第二测量轴 确保合理的光束强度保持在第二个轴的测量通过以下调整的要求: 垂直和水平激光转动 俯仰和旋角激光调整 垂直和水平直线度干涉镜的转动 细转动调整直线度干涉镜正面。
直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转整理课件旋转平行度准直 对准沿着第一测量轴 依据正常直线度准直程序 对准沿着第二测量轴整理课件 旋转的旋转轴，连同直线度反射镜，通过180 确保直线度干涉镜移动全程有足够的信号强度保持如下调整的要求 小幅度的垂直和水平激光转动 小角度和倾斜调整激光 小的垂直和水平直线度干涉镜的转动 细转动调整直线度干涉镜正面 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转 精细调整的回转镜（使用时）整理课件线性平行度符号惯例固定反射镜整理课件固定/移动整理课件旋转平行度符号惯例整理课件影响平行度测量精度的因素 同直线度测量的影响因素整理课件平行度数据采集 同直线度的数据采集整理课件平行度分析 选择分析/分析/旋转平行直线平行度或选择菜单栏 整理课件平行度分析整理课件。