SEE灵敏体积厚度研究路秀琴（中国原子能科学研究院核物理所）*国家自然科学基金资助项目（10375098）精选课件合作者刘建成郭继宇郭刚惠宁沈东军倪嵋楠孔福全（中国原子能科学研究院核物理所）张庆祥黄治张振龙韩建伟（中科院空间中心）精选课件1引言2原理3实验方法4结果与分析内容精选课件单粒子效应（SEE )研究 测定 模型计算空间辐射环境 辐照环境模型（重离子、质子等） 能谱 离子与器件 相互作用模型地面模拟辐射源 截面（加速器，激光器，放射源）（SEU，SEL，SEB） SEU(SEL,SEB)率 SEE机理 精选课件SEU率精选课件器件灵敏体积（SV）长方六面体模型（RPP)入射离粒子在该体中沉积能量临界能量 SEU（SEL，SEB）效应SV厚度d 关键参数 预估SEU(SEL,SEB)率 SEE机理研究d=2m?h=?精选课件1993年D.R.Rothetal.,J.Beauvaisetal.,分别质子（200MeV),改变能量，角度1995年Barak,1997年R.Ecoffet低能低射程重离子SV测试研究精选课件原理SEU截面 / LET 射程LET r曲线 Bragg 峰观测SV改变入射离子射程 -Bragg峰位置 -Edep -SEU 实验测量SEU（r)数学处理(deconvonvoluting )h , d 精选课件数学分析定义门函数射程r-u相应于能量E+dE，产生沉积能量：精选课件数学分析Edep曲线可用Weibull函数拟合：其中sat饱和截面,Ec临界能量,w和s形状参数精选课件数学分析d,hFT(f(u):傅立叶变换函数用傅立叶变换计算函数：精选课件精选课件实验束流：12C（或B),2.4MeVMeVC,F,Si,Cl,Br,I束流197Au靶散射SRAM芯片(8k8128k8)Si(Au)探测器测粒子数SEU检测系统测SEU数SEU（E)SEU(r)SEU（LET)sat,Ec,w,s精选课件SEU截面射程曲线精选课件死层厚度h MT5C10083.5m IDT71643.5m IDT7164（日立）17.5m IDT7125616.5m HM656423.5m精选课件SEU截面LET曲线精选课件分析SEU（LET)sat,Ec,w,sSEU（r)Fourier变换（h,d）将h,d值用于预言空间率精选课件小结 我们利用HI-13串列提供的重离子束测量了五个SRAM器件的SEU截面随射程变化曲线SEU(r)R和随LET值变化曲线SEU(LET)LET； SEU(r)R曲线均呈布拉格峰形状SEU(LET)LET形状可用Weibull函数拟合； 利用测得的曲线可提取h和d，将这些值用于空间SEU率预言的模拟计算，可以得到比较精确的SEU率。