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1、【名词解释】IGZ 夏普的商标被用作一般技术名称2013/06/08把由In （锥I）、Ga （镌）、Zn （锌）、O （氧）构成的半导体材料 用于液晶显示器和有机EL显示器的像素驱动用晶体管（TFL薄膜 晶体管），有望大幅削减这些显示器的耗电量。2011年门月，夏 普给这种半导体材料注册了 “IGZO”商标。不过，开发出基于InGaZnO材料TFT的，是东京工业大学的细野秀 雄教授，夏普与日本半导体能源研究所合作开发的是IGZO液晶显 示器。有关采用这种材料的TFT专利由日本科学技术振兴机构（JST）管理。采用InGaZnO材料的不只是夏普。2011年7月，韩国三星电子与JST签订了授权协议
2、，将该技术应用在了试制阶段的 有机EL面板上。台湾友达光电（AU Optronics）.韩国LG显示器 及东芝等也在开发采用InGaZn0材料的显示器。在学会筹场合发布采用InGaZn0材料TFT的液晶显示器时，经常使用IGZ0这个词。因为用“采用InGaZn0材料的”來介绍，不如用“采用TGZ0的”來介绍更容易让人理解。这时，技术人员往往不用TGZO特指夏普的产品和技术，而是大多将TGZO用作一般的技 术名称。但是，普通人看到或听到这样的说法，容易误解成“三星和东芝也获得了夏普的IGZO技术授权”。下面,我们來看一下TnGaZn0材料“IGZO”的应用范围。据夏普“IGZO”网站介绍,该材
3、料能够提高显示器的精细度和降低耗电量，12经能够应用于医疗保健领域的大面积传感器 以及光计算机。该公司2013年1月申请的商标应用范围中增加了心电仪及血压计等医疗器 械（下表），山此可见夏普止在考虑显示器以外的用途。夏普申请的IGZO商标注册或申请编号/注册日/申请日图应用范围注册号 5451821/2011年 11 M 18 日/2011年6月24日无电熨斗、电热卷发器、电气通信设备、电子设备及其零部件、电池、电线及电缆、配 电用或控制用设备注册号 5455036/2011 年12月2 H/2011年 6月21日无便携式电子游戏机注册号 5563245/2013 年3月8 H/2012年9
4、月21日有电气通信设备、电子设备及其零部件、电池、电线及电缆、配电用或控制用设备、太 阳能电池、发电用太阳能电池模块、使用太阳能电池的发电装置便携式电子游戏机申请编号2013-5065/2013 年 1 月29 EI有洗碗机、电动打蜡机、电动洗衣机、电动吸尘器、商用电动榨汁机、家用电动榨汁 机、家用电动清扫机器人，家用机动式吸尘器自动售货机、加油站的加油机、加油站使用的其他装置、商用电视游戏机、家用电视 游戏机、温度计、煤气表、寒暑表、水表、数字体重计、压力计、转速表、高度表、 湿度计、声度表、示速器、热量计、其他测量仪器、幻灯机、其他图片放映设备、放 映机、其他电影放映设备、望远镜、双筒望远
5、镜、潜望镜、其他光学器材、金钱出纳 机内窥镜、核磁共振CT装置、血压计、血液检查仪、心电仪、体温计、体脂肪测量仪、高频治疗仪、低频治疗仪，治疗用按摩器、X光CT机、其他页疗器械、商用美容 按摩器、家用电动按摩器衣物烘干机、加湿器、家用电动净水器、家用浴槽用电热温水循环净化器、空气净化 器、除湿器、风扇、电解水生成器、电饭煲、电咖啡壶、电褥子、电热水壶、电热 毯、电冰箱，电冰柜、厨房炉具（烤炉）、微波炉、电磁炉、电饼铛、室内冷气设备、其他家用电热用品类、灯泡类及照明灯具、商用空调、商用空气净化器、商用除 湿机、其他制热制冷设备、气体冷藏库、制冰机、制冷机、冷冻用或冷藏用陈列橱、 商用冰箱、其他冷
6、冻设备、商用油炸机、商用电饭褒、商用电磁炉、商用电饭锅、商 用烧烤机、商用炉具，其他前用加热烹调设备、商用餐具烘干机、商用餐具消毒器 钟表 电了-合成器、电子琴及其他斥器增大开口率，缩短驱动时间使用InGdZriO材料之所以能够降低显示器的耗电最，是因为与现在大多显示器采用的非晶 硅材料相比，这利|材料的载流子迁移率高，形成TFT后的截止漏电流小。载流子迁移率是 衡量电流是否容易通过的指标。如果载流子迁移率高，相同电流流过的TFT而积就可以减小，布线也可以减细。从原理上 来讲，不透光部分的而积减小，能够获得很大的开口率。获得相同光量所需要的发光量减 少，有利于降低耗电量。另外，山于漏电流小，图
7、像没有变化的静止图像部分可以设置 TFT驱动电路关闭期。从而可以降低驱动电路的耗电量。山于载流子迁移率高，可以缩小TFT和布线的而积，因此比使用非晶硅材料的显示器也更 容易提高精细度。用于与液晶显示器配合使用的触摸而板的布线吋，在液晶显示器暂停驱 动期间，只要感应到触摸，就不容易受到噪声影响，从而实现顺利操作。各材料的特性材料InGaZnO非晶硅低温多晶（LTPS）硅载流子迁移率Cm2/Vs10以上0.5100以上漏电流A/ u m10-16以下10-13以下10-12以下制造工艺温度室温250 C500C成膜方法澱射、ALD等离子CVD等离子CVD+ELA掩模数量4545811玻璃基板的代数
8、第10代第10代第4*有吋为提高载流子迁移率，会将InGaZnO的制造工艺温度设在300C以上。将在医疗等新领域发挥作用采用InGaZnO开发的柔性显示器摘自木站报道（点击放大）不过,采用IriGaZnO材料的液晶显示器,其出色特 性主要是与非晶硅液晶产品相比较言的。其实 InGaZnO材料的载流子迁移率和精细度提高幅度不 如使用LTPS （低温多结晶硅）液晶。虽然漏电流在 显示器使用的半导体材料中非常出色，但与微处理 器等半导体采用的结晶硅相比，并不算出色。另外，述有人指出，采用InGciZnO材料的液晶显示 器产品的开口率，未必比现有非晶硅产吊裔，根据这些结果，采用该材料降低耗电量的效 果估计也不是很大。另外，还存在量产业绩尚少以及需要使用稀有金属In和G&等课题将来，InGaZnO材料的应用范围将扩展到显示器和触摸而板以外。因为将该材料用于TFT 和布线时，温度可以较低。在低温下处理容易降低制造成本，因此还适合基于树脂基板的 柔性显示器。制造时还可以采用在卷状材料上连续形成元件的卷对卷方法。夏普指出，鉴 于该材料可在大面积柔性基板上形成电子电路，因此有可能应用于装有健康传感器的毛毯 上。（记者：三宅 常之,Tech-On!）
