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1、精品word学习资料可编辑PVD 镀膜工艺PVD 镀膜工艺1.装饰件材料（底材）(1) 金属；不锈钢，钢基合金，锌基合金等；(2) 玻璃，陶瓷；(3) 塑料；abs ，pvc ，pc ，sheet ，尼龙，水晶等；(4) 柔性材料；涤纶膜， pc ，纸，布，泡沫塑料，钢带等；2.装饰膜种类(1) 金属基材装饰膜层： tin ，zrn ，tic ，crnx ，ti ，cr ，ti02 ，al 等；(2) 玻璃，陶瓷装饰膜层： tio2 ，cr2o3 ，mgf2 ，zns 等；(3) 塑料基材装饰膜层： ai ，cu，ni ，si02 ，ti02 ，ito ，mgf2 ；(4) 柔性材料装饰膜层：
2、 al ，lto ，ti02 ，zns 等；3.部分金属基材装饰膜颜色金属基材装饰膜的种类和色调很多； 表 1 为部分金属基材装饰膜的种类及颜色；表 1 部分金属基材装饰膜的种类及颜色膜层种类色 调名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑tinx浅黄，金黄，棕黄，黑色tic浅灰色，深灰色ticxny赤金黄色，玫瑰金色，棕色，紫色tin+ au金色zrn金黄色zrcxny金色，银色tio2紫青蓝，绿，黄，橙红色crnx银白色tixal-nx名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑金黄色，棕色，黑色tixzral-nx金黄色3.装饰膜的镀制工艺一金属件装饰膜镀制工艺比较成熟的镀膜技术有
3、电弧离子镀， 磁控溅射离子镀和复合离子镀； 下面分别从各类镀膜技术中选取一种具有代表性的典型镀制工艺进行介绍；1) 用电弧离子镀的方法为黄铜电镀亮铬或镍手表壳镀制ti 膜；接受小弧源镀膜机和脉冲偏压电源；(1) 工件清洗，上架，入炉工件在入炉之前要经过超声波清洗，酸洗和漂洗三道工序；第一是在超声波清洗槽中放入按使用要求配制的金属清洗剂，利用超声波进行脱脂，清洗；清洗之后，进行酸洗，它可以中和超声波清洗时残余的碱液，仍 能起到活化处理的作用； 然后进行漂洗以完全除去酸液， 漂洗时必需接受去离子纯洁水或蒸馏水；经过三洗后，即时进行烘干，温度一般把握在100 左右，时间为 1h 左右；也可以风吹干后
4、马上人炉；(2) 镀膜前的预备工作名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑清洁真空镀膜室；用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍；当经过多次镀膜时， 真空镀膜室的衬板仍需作定期清洗，一般是半个月清洗一次；检查电弧蒸发源；工作前，要确保电弧蒸发源发源安装正确，绝缘良好， 引弧针把握灵敏 ,程合适，恰好能触及阴极表面；检查工件架的绝缘情形； 工件架与地之间的绝缘必需须良好， 负偏压电源与工件架的接触点点必需接触良好；以上几项工作确保没有问题后， 才可以关闭真空镀膜室的门， 进行抽气和镀膜；(3) 抽真空真空抽至 6.6 x 10-3pa ；开头是粗抽，从大气抽至 5pa 左右，用油扩散泵进行细抽；在粗
5、抽时，可以烘烤加热至 150 ；相伴镀膜室温度的上升，器壁放气会使真空度降低，然后又回升，等到温度回升到 6.6 x 10-3pa 时方可进行镀膜工作；(4) 轰击清洗氩离子轰击清洗真空度：通人高纯度氩气 (99.999%) 真空度保持在 2 3pa ；轰击电压：800 1000v ；轰击时间： 10min.名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑此刻在真空镀膜室发生辉光放电， 放电产生的氩离子以较高的能量撞击工件表面，将工件表面吸附的气体， 杂质和工件表面层原子溅射下来，露出材料的新颖表面；钛轰击真空度：通人高纯度氩气使真空度保持在2 x 10-2pa；脉冲偏压： 400 500v ，
6、占空比 20% ；电弧电流： 60 80a ，轮换引燃电弧蒸发源，每个电弧蒸发源引燃 1 2min ；(5) 镀膜镀钛真空度：通人高纯度氩气，真空度保持在2 x 10-2pa；脉冲偏压： 200 300v ，占空比 50 % ；电弧电流： 60 80a ，引燃全部弧源，时间 2 3min.镀 ti真空度：通人高纯度氮气使真空度保持在(38) x 10-1pa，然后再逐步加大 c2h2 气体，随着 c2h2 气体量增大，色泽由金黄一赤金黄一玫瑰金一黑色变化；把握 n2 与 c2h2 两种气体的比例可以达到预定的色度；电弧电流： 50 70a ；脉冲偏压： 100 150v ，占空比 60 % 8
7、0 % ；沉积温度： 200 左右；镀膜时间： 10 20min ，膜层厚度 0.2 0.5 m；(6) 冷却名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑镀膜工序终止后，第一关闭电弧电源和偏压电源，然后关闭气源，停转架；工件在真空镀膜室冷却至 80 100 时，向镀膜室充大气，取出工件；2) 用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制zrn 膜；接受基材为锆的非平稳磁控溅射靶和中频电源，以及脉冲偏压电源；(1) 抽真空5 x 10-3 6.6 x 10-13pa本底真空；加热温度应在真空室器壁放气后又回升到 100 150 ；2) 轰击清洗真空度：通人氩气真空度保持在2 3pa ；轰击
8、电压： 800 1000v ，脉冲占空比 20% ；轰击时间： 10min ；(3) 镀膜沉积锆底层真空度：通入氩气，真空度保持在 s x lo-1pa ；靶电压： 400 550v ，靶功率 15 n 30w/crrr2；脉冲偏压：450 500v ，占空比 20 % ；镀膜时间：5 10min ；镀 zrn 膜真空度：通入氮气，真空度保持在 (3 5) x 10-1pa ；靶电压： 400 550v ， 靶电流随靶的面积增大而加大；脉冲偏压：150 200v ，占空比 80 % ；镀膜时间： 20 30min ；名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑由于磁控溅射技术中金属离化率低，
9、 不简洁进行反应沉积， 获得化合物膜层的工艺围比较窄；可接受气体离子源将反应气体离化，扩大反应沉积的工艺围； 也可以接受柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源，柱状弧源仍是帮忙镀膜源；(4) 冷却镀膜终止后， 第一关闭磁控溅射靶电源， 偏压电源， 然后关闭气源， 停转架；工伫件在真空镀膜室中冷却到 100 时，向镀膜室充大气，取出工件；3) 用复合涂层离子镀方法为黄铜电镀亮镍的手表壳镀制tin 十 au+ si02膜；接受电弧，磁控溅射， 中频或射频溅射离子镀多功能镀膜机， 在真空镀膜室壁上安装 6 个小平面弧源钛靶镀 tin ，中心安装柱状磁控溅射黄金靶镀金，壁上安装 2 个矩形平面磁控溅射 s
10、i02 靶或 si 靶镀 si02 ；接受直流偏压电源；(1) 工件清洗，上架，入炉；方法同前；(2) 抽真空：本底真空最好达到6.6 x 10-3pa ，烘烤加热温度为 150 左右；(3) 轰击清洗；方法同前，包括氩轰击和钛轰击两种方法；(4) 镀膜沉积钛底层真空度：通入高纯氩气，真空度保持在5 x 10-2pa ；电弧电流： 50 70a ， 引燃全部弧源，时间为2 3min ；偏压： 400 500v ；沉积 tin 膜名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑真空度：通入高纯氮气，真空度保持在s x lo-1pa ；偏压： 100 200vo 电弧电流： 60 80a ；沉积时间
11、： 10 20min ，膜层厚度 0.1 0.5 m；掺金镀真空度：通入高纯氮气，真空度保持在5 x 10-2pa ；偏压： 100 150v ；电弧电流： 60a( 真空镀膜室上，中，下各点燃 1 个源)；磁控溅射金靶电压： 400 500v ，电流 3 5a; 时间： 1min ；镀金真空度：通入氩气，真空度保持在3 x 10-1pa；偏压： 100 150v ；溅射靶电压： 400 550v ；时间： 5-10min；沉积 si02真空度：通入高纯氩气，真空度8 x 10-2pa或 5x 10-1pa ；中频（射频） 电源功率： 200 500w ；时间： 10 20min ；4) 冷却
12、：第一关闭中频（或射频）电源，然后关气源，停转架；工件在真空室冷却到 80-100 时，向真空室充空气，取出工件；该工艺也叫掺金镀或ipg ， 最终一层 si02 是透亮的，是保持金膜的，它可以延长金膜的磨损时间，依据客户的要求可有可无；二塑料件装饰膜的镀制工艺名师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑接受 pvd 技术可在玻璃，陶瓷，塑料，水晶，木材，纸等非金属工件上镀制金属膜及氮化膜， 氧化膜；此处重点介绍塑料制品装饰膜的镀制技术，塑料制品镀金属膜的工艺也称塑料金属化；为了填充塑料制品毛坯上的缺陷，提高表面光亮度和塑料与金属膜的结合力，在镀膜之前需要上底漆； 为爱惜膜层仍需上面漆； 底
13、漆，面漆由溶剂，树脂，助剂组成，按比例，次序加入，混合搅拌；底漆，面漆一般接受溶剂型涂料，近几年显现了紫外线硬化涂料，它可以扩展塑料制品的应用领域；塑料制品装饰膜的 pvd 技术有两种：真空蒸发镀和磁控溅射镀；真空蒸发镀设备结构简洁， 操作简便并且生产效率高， 是目前广泛接受的塑料件的镀膜技术；1)塑料制品装饰膜的真空蒸发镀工艺一般塑料制品的真空蒸发镀膜机有卧式和立式双室（蚌形） 两种；镀膜的工艺流程是：清洗脱脂上架涂底漆一固化蒸发镀膜一涂面漆一固化下架一染色检验；下面具体介绍镀膜的流程；(1) 来料检验；(2) 干燥；待镀件来料时含较多水分，需进行干燥处理3 5h ，温度为 50 60 ；名
14、师归纳总结欢迎下载精品word学习资料可编辑3)上架；一般注塑时基本按真空镀膜要求生产， 因此待镀件表面一般油污较少，经过一般的擦拭就可上架， 但是来料油污多时需进行去污处理； 方法是用市售洗洁剂逐件刷洗，漂洗，烘干；油污严肃时仍需用清洗剂在50 60 ，浸泡15 20min进行脱脂处理；(4) 除尘；这道工序是保证镀膜质量的关键之一，方法有两种：一种是用吸尘器对准上好架的待镀件仔细地除尘，能取得较理想的成效； 另一种是用高压气“吹尘”的方法， 这种方法必需装有油水分别器， 但在实际工作中这种方法并不是很理想；仍有一种方法是用静电除尘的方法，对质量要求较高时接受；(5) 涂底漆；涂底漆是保证镀膜质量的关键之二，涂底漆的目的是提高镀件表面的光滑度和光亮度；提高膜层结合力；(6) 烘干；涂漆流平后需进行干固处理，方法有红外线加热法，
