建设项目环境影响报告表（送审版）项目名称：列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目建设单位：河南仕佳光子科技股份有限公司编制日期：2019年8月国家环保总局制40《建设项目环境影响报告表》编制说明《建设项目环境影响报告表》由具有环境影响评价资质的单位编制1项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）2建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应写明起止地点3行业类别——按国标填写4总投资——指项目投资总额5主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标性质、规模和距厂界距离等6结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论同时提出减少环境影响的其他建议7预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填8审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。
建设项目基本情况项目名称列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目建设单位河南仕佳光子科技股份有限公司法人代表葛海泉联系人常夏森通讯地址河南省鹤壁市淇滨区延河路201号联系0392-22980000392-2276819邮政编码458030建设地点鹤壁市金山产业集聚区河南仕佳光子科技股份有限公司现有厂区内立项审批部门鹤壁经济技术开发区经济发展局批准文号2019-410671-39-03-035466建设性质新建□改扩建√技改□行业类别及代码C3976光电子器件制造占地面积（平方米）/绿化面积（平方米）/总投资（万元）37000其中:环保投资（万元）145环保投资占总投资比例0.39%评价经费（万元）预期投产日期2019年12月工程内容及规模：1. 项目由来新一代信息技术产业是我国七大新型产业之一，加快建设宽带、泛在、融合和安全的信息网络基础设施，推动新一代移动通信、下一代互联网核心设备和智能终端的研发及产业化是新一代信息技术的关键所在随着信息传输、处理、存储爆炸式增长，三网融合、云计算数据中心、Post-Web业务、3G、IPTV、视频会议高速宽带业务的持续增加，密集波分复用技术正逐步由主干网向城域网、接入网推进，密集波分复用已成为构建泛在、全光高速宽带网络的主要技术，可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片是三网融合、云计算数据中心、4G高速宽带网络的关键器件。
河南仕佳光子科技股份有限公司（以下简称“仕佳光子”）位于河南省鹤壁市国家经济开发区电子工业园内，由郑州仕佳通信科技有限公司和中国科学院半导体研究所联合投资成立，是一家PLC光集成芯片及核心器件研发、生产和销售于一体的高新技术企业经研究市场发展和需求，公司拟在厂区内建设列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目该项目已取得《河南省企业投资项目备案确认书》（附件2）根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》（2017年10月1日施行）、《建设项目环境影响评价分类管理名录》（环境保护部令第44号）及《关于修改<建设项目环境影响评价分类管理名录>部分内容的决定》（生态环境部 第1号令）等有关规定，本项目属于“二十八：计算机、通讯和其他电子设备制造业中第82项电子器件制造中的集成电路制造”，应编制环境影响报告表河南仕佳光子科技股份有限公司委托河南梦无界环保科技有限公司承担本项目的环境影响评价工作，委托书见附件12. 现有工程概况自2010年起，河南仕佳光子科技股份有限公司在现有厂区陆续实施了“200万片平面光波导分路器芯片、光电子集成芯片一期项目”（鹤环监表[2010]089号批复、鹤环验[2012]005号验收）、“年产400万片可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片项目”（鹤环审[2014]4号批复）、“年产10万片波分复用器芯片研发与产业化项目”（鹤环审[2014]5号批复）河南仕佳光子科技股份有限公司年产800万片半导体激光器、200万片半导体探测器项目（鹤环监表[2019]19号批复）。
现有工程环评批复及验收情况见表1表1 现有工程环评及批复情况类别项目名称建设内容及规模环评批复文号环保验收文号现有工程200万片平面光波导分路器芯片、光电子集成芯片一期项目200万片平面光波导分路器芯片、光电子集成芯片鹤环监表[2010]089号鹤环验[2012]005号年产400万片可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片项目（二期）年产400万片可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片鹤环审[2014]4号鹤环审[2017]19号年产10万片波分复用器芯片研发与产业化项目（二期）年产10万片波分复用器芯片鹤环审[2014]5号河南仕佳光子科技股份有限公司年产800万片半导体激光器、200万片半导体探测器项目（三期）年产800万片半导体激光器、200万片半导体探测器鹤环监表[2019]19号/现有工程主要生产设备见表2表2 现有工程主要设备情况一览表序号设备名称型号数量台/套1CVD厚膜生长设备/22ICP快速刻蚀系统/43高温扩散炉设备/14自动切割机/15匀胶机/16显影机/17热板/18光刻机/19去胶机/110电感耦合等离子体干法刻蚀机DSE200plus111等离子体增强化学气相淀积系统ACC1-150112自动切割机/113退火炉D15M214精密耦合系统/215膜厚测试仪/116棱镜耦合仪/217台阶仪/118划片系统/219抛光机/220显微镜/221烘烤平台/122氮气柜/223栏膜粘片机/124清洗处理机/225超声清洗/226粘片机/227超纯水处理工程/1286PDI水测试仪/129点光源UV机/130闸门式UV烘箱/131小型离子溅射仪/132应力测试设备/2336寸贴膜机/134台式光源/235多通道无源器件损耗分析仪/236数控超声波清洗器/237空气压缩机GAe30VSD238冷冻水补水系统QPG150-315A139冷却水塔YHA-200C×2140变频控制柜CKC-2T-30141屏蔽泵/142饱和加速寿命试验机/143N2烘片机/144循环热水机/145单片甩干机/146抛光机（不带泵）/247正置金相显微镜/248高精度手动耦合及测试/249激光共聚焦显微镜/250板式换热机组/251电热恒温鼓风干燥箱/152吸附剂酸废气净化系统/154石英缸/255紫外辐照计/256光纤热剥器/157全效全滤综合水处理器/158III型点胶机/159新型单芯光纤熔接机/1608度角测量仪/161端检仪/162磨床/163光纤放大镜/164真空吸笔/165电子防潮箱/167组合式空调机组/168热回收循环泵QPG100-315A269冷却水循环泵QPG200-315A270控制柜CKC-2T-11271变频控制柜CKC-2T-30272空压系统SLAD-4.5MXF 273酸碱废气净化系统/174纯水系统/175冷却塔YHA-200C×2176螺杆式冷水机组RTWC400D-R277囊式定压补水装置NZG(P)600×1-CDL2-4×2178全滤式水处理器WD—250A1.0QLZH/F179PECVD等离子气相沉积SPTS LPX CVD、CC1-150680APSSPTS LPX APS381三管退火炉D15M182二氧化碳打标机LSC10283全自动芯片测试系统SF300-16CH284感应耦合等离子体刻蚀设备DSE200plus385光波导精密对准系统/186Φ300数字式测量投影仪CPJ-3025CZ287Scrubber尾气处理器NSHW600288真空泵IH1000/IH80/PDT/Itim/XDS35389光刻系统/190波分复用器测试系统/4（一）外延材料和检测1MOCVD外延设备及其配套设施进口22X射线衍射仪进口13PL光致发光机图谱扫描进口14特殊气体气瓶柜进口45纵向掺杂分布测试设备进口16霍尔分析仪进口17膜厚测试议进口1小计11 （二）芯片加工和监测1光学曝光设备及其配套设施进口12反应离子刻蚀RIE设备进口13感应刻蚀ICP设备进口14扫描电镜设备进口15湿法设备国产66快速退火设备进口1 7单面减薄系统进口1 8光学镀膜设备进口19磁控溅射设备进口110电子束蒸发设备进口111PECVD进口112解理机进口113扩膜机进口114甩胶机国产115显影机国产116烘烤机国产4小计24 （三）测试设备1芯片自动化测试设备及其配套设施进口12光谱议进口2350G频谱分析仪及其配套设施进口24远场测试及其光学配套设施进口1550GHz微波网络分析仪和微波探针测试系统进口16高速示波器进口17。
