厂务系统,概述,一、,厂务系统功能,目录,三、,厂务系统,流程,二、,厂务系统,使用材质,一、,厂务系统功能,1.1 水系统在制程中的功能,PCW,制程冷却水,制程机台冷却,UPW/DIW,超纯水,补水/清洗/稀释,Chill Water,冰水,冷却用冷源/空调用冰水,RW,回收水,DI回收/冷凝回收/再生使用,CW,自来水,原水/一般用水,1.2 气体系统在制程中的功能,CDA,压缩干燥空气,搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹,GN2,一般氮气,Purge/洁净冲吹,PN2,纯化氮气,Purge/空间填充/超洁净冲吹,其他B-GAS,大宗气体,制程需求/空间填充/超洁净冲吹,S-GAS,特殊气体,制程填充需求/制程需求,1.3 化学系统在制程中的功能,Chemical,化学药品,清洁清洗/制程需求,1.4 真空系统在制程中的功能,PV,制程真空,吸引,搬,移,HV,清洁真空,尘屑吸引清洁,Pump Line,制程高真空,制程转换之高真空建立,Exhaust,排气系统,制程转换之废气排除,Drain,排水系统,制程使用之废DI/Chemical排放,1.5 排气/排水系统在制程中的功能,二、,厂务系统使用材质,2.1 水系统使用材质,PCW,制程冷却水,SUS 304/高压软管,UPW/DIW,超纯水,CPVC/PVDF/PFA,Chill Water,冰水,SUS 304,RW,回收水,SUS 304,CW,自来水,SUS 304,CDA,压缩干燥空气,SUS 304L AP/BA/316L BA,GN2,一般氮气,SUS 316L BA/EP,PN2,纯化氮气,SUS 316L EP,其他B-GAS,大宗气体,SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP),S-GAS,特殊气体,SUS 316L EP/双套管/加热套,2.2 气体系统使用材质,2.3 化学系统使用材质,有机类,化学药品,溶剂类SUS 316 BA,一般酸,碱,化学药品,H2SO4/NaOHPVC/CPVC,其他,化学药品,CPVC/PFA/PVDF/PTFE,2.4 真空系统使用材质,PV,制程真空,PVC SCH80/SUS 304,HV,清洁真空,PVC SCH80/SUS 304,2.5 排气系统使用材质,Pump Line,制程高真空,SUS 316 BA/EP,GEX,一般排气,镀锌螺旋风管,Solvent,有机排气,SUS 304全焊式不锈钢风管,Acid/Ak,酸硷排气,不锈钢Teflon Coating风管,2.6 排水系统使用材质,Drain,一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent,有机排气水,SUS 304不锈钢管,Acid/Ak,酸硷排气水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,三、,厂务系统流程,3.1 制程冷却水系统简略流程,原水补水,膨胀水箱,冰水出,冰水进,板 热,制程管线,机台冷却,进水,回水,3.2 冰水系统简略流程,冷却水塔,MAU,冰水出,冰水回,大 气,冰水主机,冷媒循环,VAU,AHU,其他空调箱,板 热,冷却水,3.3 纯水系统简略流程,精密滤器,5M,滤心,逆渗透模块,City Water,自来水,多层过滤器,阴,/,阳离子,交换树脂塔,RO Tank,RO进水槽,热交换器,RO,储水槽,精密滤器,1M,滤心,CEDI,纯水储水槽,紫外线杀,菌灯,核子级树脂,精密滤器,1M,滤心,精密滤器,0.2M,滤心,制程使用点,3.4 自来水/回收水系统简略流程,自来水外管,水表/隔离阀,供应管线,使用点,自来水,空气中水份,冷盘/空调箱,回收管线,回收水槽,回收水,使用点,3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程,CDA,GN2/PN2,大气,空压机,蓄压槽,初级,过滤器,冷冻式,干燥机,吸附式,干燥机,精密,过滤器,大气,氮气,产生器,液氮槽,蒸发器,减压站,过滤器,纯化器,使用点,一/二次管,二次盘,CQC,使用点,一/二次管,二次盘,CQC,3.6 其他大宗气体/特气系统简略流程,O2,Specialty Gas,钢瓶,Cabinet,气瓶柜,VMB/P,阀箱,管线,使用点,液氧储槽,减压站,过滤器,纯化器,CQC,He/Ar/Kr/H2,钢瓶/Bundle,Trunker,减压站,过滤器,一/二次管,二次盘,使用点,蒸发器,使用点,一/二次管,二次盘,纯化器,CQC,管线,3.7 高真空/排气系统简略流程,Pumping Line,Others Exhaust,机台制程,Chamber,真空泵,高真空,管路,Scrubber,GEX,机台出口,Damper,风管,风机,高真空,管路,大气,Exhaust,风管,机台出口,Damper,风管,风机,Scrubber,大气,3.8 真空系统简略流程,PV,制程机台,使用点,真空管路,真空储槽,真空,Pump,HV,一/二次管,二次盘,配置需求,使用点,真空管路,真空,清洁储槽,真空,Pump,开关盒,3.9 化学系统简略流程,Chemical,化学品,供应槽车,传送系统,供应槽,分配系统,化学品,储槽,VMB/P,化学管路,使用点,回收管线,废液,回收槽,3.10 废水收集系统简略流程,Drain Pipe,机台,排放点,废水,处理厂,收集,管线,3.11 废水处理系统简略流程,Waste Water Treatment,废水,收集槽,曝气槽,生物,接触槽,PH,反应槽,PH,调整槽,澄清槽,聚合物,凝结槽,沉淀槽,污泥,收集槽,污泥,脱水机,污泥饼,储槽,运弃,英文缩写对照,。