XPS Peak 软件拟合数据的简单步骤: 1. Excel中的数据转换成 TXT格式 从 Excel 中的数据只选择要进行拟合的数据点，copy至 txt 文本中，即 ABC 三 列数据 (其中 B 列为空的 ,只包含两列数据 ) 2.XPS Peak41中导入数据 打开 xps peak 41分峰软件 ,在 XPS Peak Fit窗口中 ,从 Data菜单中选择 Import (ASCII), 即可将转换好的 txt 文本导入 ,出现谱线3.扣背底 在打开的 Region 1窗口中，点击 Backgrond，选择 Boundary 的默认值，即不改 变 High BE 和 Low BE 的位置， Type一般选择 Shirley 类型扣背底4.加峰 选择 Add Peak，选择合适的 Peak Type( 如 s,p,d,f),在 Position处选择希望的峰 位，需固定时点 fix 前的小方框 ,同时还可选半峰宽（ FWHM ）、峰面积等各 项中的 constaints可用来固定此峰与另一峰的关系如W4f 中同一价态的 W4f7/2和 W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3 等，对 于% Lorentzian-Gaussian选项中的 fix 先去掉对勾，点击Accept 完成对该峰的设 置。
点 Delete Peak可去掉此峰再选择Add Peak可以增加新的峰，如此重复加峰界面举例：对峰的限制constraints，峰 1 的峰位 =峰 0峰位+1.5 5.拟合 选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点XPS Peak Processing 中的 Optimise All 进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点 Optimise All 合适图谱6.参数查看 拟合完成后，分别点XPS Peak Processing 窗口总的 Region Peaks下方的 0、1、 2等，可查看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰如对拟 合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点击Optimise All 7.XPS 存图 点 Save XPS可将谱图存为 .xps 格式的图，下回要打开时点Open XPS可以打开 这副图，并可对图进行编辑 8.XPS 图的数据输出 a.点击 Data中的 Export（spetrum），可将拟合好的数据存为.dat格式的 ASCII 文件（该文件可用记事本打开），然后再Origin 中导入该 ASCII 文件，可得到 一个包含多列的数据表，这里需要注意的是每列的抬头名称出错（如.dat文件 中的 Raw Intensity 分开到两列中作为两列的抬头，即Raw、Intensity），这时 需要根据做出的图与 .xps原始谱图比较，更改每列的名称，即可得到正确的谱 图 b.点击 Data中的 Export（Peak Parameters ），即将各峰参数导出为.par格式的文 件（也可用记事本打开），通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含 量比 c.点击 Data中的 Export to clipboard，即将图和数据都复制到剪贴板上，打开文 档（如 Word），点粘贴，即把图和数据粘贴过去，不过该图很不清晰 d.点击 Data中的 Print with peak parameters ，即可打印带各峰参数的谱图峰拟合中的一些基本原则: 1. 元素结合能数据可参考http://srdata.nist.gov/xps/ 2. 对于 p、d、f 等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电子能谱中一般省略 /2，即 为 p3、p1）强度比是一定的， p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。
在峰拟合过程 中要遵循该规则如W4f 中同一价态的 W4f7 和 W4f5 峰面积比应为 4:3 3. 对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是 固定的，如同一价态的W4f7 和 W4f5 之间的距离为 2.15eV左右， Si2p3和 Si2p1差值为 1.1eV左右各元素能级分裂数据可参考网上数据库 http://srdata.nist.gov/xps/Doublet_Sep.asp 4. 全谱扫描 ((即 Survey)中各峰对应的元素能级参考附件BE Lookup Table 。