硅片的检测版本1A级B级C级D级E级线痕：TV：TTV：孪晶：多晶：裂纹、裂痕：应力：空洞：缺角：V型缺口：弯曲度翘曲度：硅多晶线性尺寸长度：无或轻线无无无不存在多晶无无无无无无 6≦L≦100mm≦10μm,≦5条≦20μm≦15无不存在多晶无无无无无≦,50μm6≦L≦100mm≦20μm,≦10条≦20μm≦30无不存在多晶无无无无无≦75μm6≦L≦100mm≦30μm,≦15条≦20μm≦50无不存在多晶无有无无无≦100μm6≦L≦100mm≦50μm＞20μm＞50有存在多晶有严重(可能碎裂)有有有＞100μmL＜6或L＞100mm一、 优等品1：硅片表面光滑洁净2：TV：220±20um 3：几何尺寸：边长：125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；边长：103±0.5mm、对角：135±0.5mm；边长：150±0.5mm、156±0.5mm、对角：203±0.5mm、200±0.5mm、同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3二、合格品一级品：垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5二级品：1：表面有少许污渍、线痕。
凹痕、轻微崩边 2：220±30um ≤TV≤220±40um 3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30um 4：崩边范围：崩边口不是三角形， 崩边口长度≤1mm ，深度≤0.5mm 5：几何尺寸： 边长：125±0.52mm；对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；边长：103±0.52mm、对角：135±0.52mm；边长：150±0.52mm、156±0.52mm、对角：203±0.52mm、200±0.52mm、同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8三级品：1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅洛现象2：220±40um ≤TV≤220±60um3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落部分硅晶脱落三、不合格品严重线痕、厚薄片：TV＞220±60um崩边片：有缺陷但可以改￠103的硅片气孔片：硅片中间有气孔外形片：切方滚圆未能磨出的硅片倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差＞1.5mm菱形片：（垂直度）：任意两边的夹角＞90°±0.8凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30um 脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑尺寸偏差片：几何尺寸超过二级片的范围。
注：以上标准针对的硅片厚度为220um 硅片等级分类及标准（150*150）一、 优等品（Ⅰ类片）1、 物理、化学特性①型号：P 晶向[100]±1°②氧含量：≤1.0X1018at/cm3③碳含量：≤5X1016 at/cm3④勺子寿命：T=1.3—3.0us（在测试电压≥20mv下裸片的数据）⑤电阻率：0.9—1.2、12—3.0 、3.0-6.0Ω/cm⑥位错密度：≤3000个/cm 2、几何尺寸：①边长：125*125±0.5mm②对角：150*150±0.5mm③同心度：任意两弧长之差≤1mm④垂直度：任意两办的夹角90°±0.3°⑤厚度：200±20 um，（中心点厚度≥195um，边缘四角厚度≥195um）180±20 um，（中心点厚度≥175um，边缘四角厚度≥160um）⑥TTV: ≤30um⑦弯曲度：≤40um3、表明指标：① 线痕：无可视线痕②目视表面：无粘污、无水渍、染色、白斑、指印等③无崩边：无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲二、合格品（Ⅱ类片）2、 物理、化学特性①型号：P 晶向[100]±1°②氧含量：≤1.0X1018at/cm3③碳含量：≤5X1016 at/cm3④勺子寿命：T=1.3—3.0us（在测试电压≥20mv下裸片的数据）⑤电阻率：0.5-0.8Ω/cm⑥位错密度：≤3000个/cm 2、几何尺寸：①边长：125*125±0.5mm②对角：150*150±0.5mm③同心度：任意两弧长之差≤1.5mm④垂直度：任意两办的夹角90°±0.3°⑤厚度：200±20 um，（中心点厚度≥195um，边缘四角厚度≥180um）180±20 um，（中心点厚度≥175um，边缘四角厚度≥160um）⑥TTV: ≤30um⑦弯曲度：≤40um3、表明指标：① 线痕：无明显线痕、触摸无凹凸感。
③崩边范围：崩边口不是“V”型，长X 深≤1X0.5mm ，无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲三、 等外品（Ⅲ类片）3、 物理、化学特性①型号：P/N 晶向[100]±3°②氧含量：≤1.0X1018at/cm3③碳含量：≤5X1016 at/cm3④勺子寿命：T＜1.0us（在测试电压≥20m下裸片的数据）⑤电阻率：≤0.5Ω/cm⑥位错密度：＞3000个/cm 2、几何尺寸：①边长：125*125±1.0mm②对角：150*150±1.0mm③同心度：任意两弧长之差≤1.5mm④垂直度：任意两办的夹角90°±0.5°⑤厚度：＜160um3、表明指标：① 有明显视线痕，触摸有凹凸感。