N阱CMOS工艺,初始材料,CMOS集成电路通常制造在尽可能重掺杂硼的P型（100）衬底上以减小衬底电阻 ,防止闩锁效应,外延生长,CMOS工艺的第一步是在衬底上生长一层轻掺杂的P型外延层，比标准双极工艺采用的外延层薄很多理论上CMOS工艺不需要外延层，因为MOS管可以直接在P型衬底上形成外延工艺增加了成本，但是采用P+衬底可以提高抗闩锁效应的能力,N阱扩散,使用N阱掩模版对甩在氧化层上的光刻胶进行光刻,N阱注入,曝 光,氧化层的刻蚀,光刻1，刻N阱掩膜版,N阱注入,光刻1，刻N阱掩膜版,形成N阱,场区LOCOS （局部氧化,基本CMOS工艺采用LOCOS技术选择性地生长厚氧化层，只在形成源器件的区域留下薄的缓冲氧化层芯片上的局部氧化区域称为场区，而被保护未形成氧化层的区域称为有源区LOCOS工艺首先在整个晶圆上淀积一层氮化硅，然后用反型槽掩模版光刻氮化硅，最后采用选择性可是除去场区上的氮化层,氮化硅的刻蚀,沟道终止注入,P型外延场区接受P型的沟道终止注入，而N阱场区接受N型沟道终止注入，这里包含大面积硼注入和选择性磷注入,场氧的生长,去除氮化硅,阈值调整,目的为了让PMOS和NMOS管拥有相同的阈值电压绝对值。
可以先注入P型杂质（B），再N型杂质（P），因为B的扩散系数小；也可以只注入P型杂质（B）进行调节,采用一步调节方法,重新生长二氧化硅（栅氧,多晶硅淀积和光刻,刻蚀多晶硅,源/漏注入,现在完成的多晶硅栅可作为NMOS管和PMOS管的源/漏自对准注入的掩模版在下图中，先进行N型的源/漏注入（NSD），采用As杂质；然后进行P型源/漏注入（PSD），采用B 由于As的扩散系数小所以先NSD,P+离子注入,N+离子注入,接触、金属化及保护层,接触孔硅化后，在晶圆上先溅射一层难溶金属薄膜，然后淀积较厚的掺铜铝层然后就是在最后一层金属上淀积保护层,生长磷硅玻璃PSG,PSG,光刻接触孔,刻 铝,刻铝,淀积钝化层,NMOS Transistors,PMOS晶体管,衬底PNP管,多晶电阻,NSD和PSD电阻,电 容,9、静夜四无邻，荒居旧业贫21.3.2021.3.20Saturday, March 20, 2021 10、雨中黄叶树，灯下白头人14:18:5014:18:5014:183/20/2021 2:18:50 PM 11、以我独沈久，愧君相见频21.3.2014:18:5014:18Mar-2120-Mar-21 12、故人江海别，几度隔山川。
14:18:5014:18:5014:18Saturday, March 20, 2021 13、乍见翻疑梦，相悲各问年21.3.2021.3.2014:18:5014:18:50March 20, 2021 14、他乡生白发，旧国见青山2021年3月20日星期六下午2时18分50秒14:18:5021.3.20 15、比不了得就不比，得不到的就不要2021年3月下午2时18分21.3.2014:18March 20, 2021 16、行动出成果，工作出财富2021年3月20日星期六2时18分50秒14:18:5020 March 2021 17、做前，能够环视四周；做时，你只能或者最好沿着以脚为起点的射线向前下午2时18分50秒下午2时18分14:18:5021.3.20 9、没有失败，只有暂时停止成功！21.3.2021.3.20Saturday, March 20, 2021 10、很多事情努力了未必有结果，但是不努力却什么改变也没有14:18:5014:18:5014:183/20/2021 2:18:50 PM 11、成功就是日复一日那一点点小小努力的积累21.3.2014:18:5014:18Mar-2120-Mar-21 12、世间成事，不求其绝对圆满，留一份不足，可得无限完美。
14:18:5014:18:5014:18Saturday, March 20, 2021 13、不知香积寺，数里入云峰21.3.2021.3.2014:18:5014:18:50March 20, 2021 14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏2021年3月20日星期六下午2时18分50秒14:18:5021.3.20 15、楚塞三湘接，荆门九派通2021年3月下午2时18分21.3.2014:18March 20, 2021 16、少年十五二十时，步行夺得胡马骑2021年3月20日星期六2时18分50秒14:18:5020 March 2021 17、空山新雨后，天气晚来秋下午2时18分50秒下午2时18分14:18:5021.3.20 9、杨柳散和风，青山澹吾虑21.3.2021.3.20Saturday, March 20, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话14:18:5014:18:5014:183/20/2021 2:18:50 PM 11、越是没有本领的就越加自命不凡21.3.2014:18:5014:18Mar-2120-Mar-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。
14:18:5014:18:5014:18Saturday, March 20, 2021 13、知人者智，自知者明胜人者有力，自胜者强21.3.2021.3.2014:18:5014:18:50March 20, 2021 14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏2021年3月20日星期六下午2时18分50秒14:18:5021.3.20 15、最具挑战性的挑战莫过于提升自我2021年3月下午2时18分21.3.2014:18March 20, 2021 16、业余生活要有意义，不要越轨2021年3月20日星期六2时18分50秒14:18:5020 March 2021 17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息下午2时18分50秒下午2时18分14:18:5021.3.20,感谢您的下载观看,专家告诉。