以无水氟化氢（AHF）为原料 年产20kt电子级氢氟酸项 目 建 议 书2012年04月目录项目概况 03产品方案 05市场需求与生产状况 09项目工艺技术 12公用工程规格 14环境保护、职业安全卫生及消防 17主要原材料及公用工程需求、运输量 22项目实施进程 24项目投资内容 25劳动定员 30经济效益分析 32一、项目概况11项目名称:以氟化氢（AHF）为原料年产20kt电子级氢氟酸生产线12项目承办单位：1.3项目负责人：14项目实施地点：1.5项目投资内容：新建年产20kt电子级氢氟酸生产线一条，项目总投资2165万元；其中固定资产投资1865 万元,铺底流动资金300万元.正常生产时需流动资金约1200万元项目需占用土地10亩；完成厂房等土建5368 E.项目配套条件：本项目电力装机容量350KW,需新增350KVA变压器一台，10KV/380V年用电量220万KW? h （吨产品电耗110度）.供水接入管径为DN100;水压为0.25MPa;年用水量为20万吨供热：蒸汽用量为0.3t/h，压力为13MPa；需新增0.5t/h燃煤锅炉一台或从原有公用工程 中接入DN25蒸汽管道。
冷媒冷量消耗2.8 x 106 kJ本项目三废达到国家标准排放，预计项目建成后对环境的影响将控制在允许范围内，不会 造成污染6项目技术经济主要指标：项目建成投产达产后，正常年份可年产电子级氢氟酸20000吨，实现年销售额17000万元; 上缴增值税及附加600万元；税前年利润4300万元，所得税率为25%时，上缴所得税1075 万元；税后利润为3225万元可解决就业30人预计项目投资回收期0主要技术经济指标详见表1—1表1 — 1技术经济主要指标二、产品方案2.1项目产品方案2.1 1产能：新建年产2万吨电子级氢氟酸装置一套，设计能力为667吨/天（28t/h）.年运行时间为300天（7200小时）1.2主要原材料：本装置以无水氟化氢为原料2.2原材料及产品指标2.2 1 氟化氢（AHF）氟化氢（Hydrogen Fluoride），化学分子式为HF，分子量2001,易溶于水、乙醇无水 氟化氢（简称AHF）低温或压力下为无色透明液体，沸点19.4°C，熔点一83.37°C，密度1 008g/cm3 （水=1）在室温和常温下极易挥发成白色烟雾它的化学性质极活泼，能与碱、 金属、氧化物以及硅酸盐等反应。
氟化氢的水溶液为氢氟酸，工业氢氟酸为含氟化氢60%以下的无色澄清水溶液，无色透 明，在敞口容器中易于挥发，有强烈的刺激性气味、具有很强的腐蚀性，能迅速腐蚀玻璃等含 硅材料，具有酸的一般通性，剧毒氟化氢气体对眼、耳、鼻、喉粘膜有强腐蚀作用，对人 的牙齿及骨骼有严重腐蚀性，并使之钙化.空气中最大允许浓度为1mg/m3氟化氢是现代氟化工的基础，是制取元素氟、各种氟致冷剂、含氟新材料、无机氟化盐、 各种有机氟化物等的最基本原料产品指标如下表2—1 （国家标准：GB7746—1997）.本项目首选优级品，一级品也可使用表2—1 氟化氢国家标准GB7746—199722 高纯氢氟酸高纯氢氟酸的分类：国际 SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）标准 化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见表2.2.国内一些高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准其中，BV系列标准比较常见，该标准共 分为七个等级如：北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见表2.3。
针对各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：① 低档产品，用于＞12pmIC工艺技术的制作；② 中低档产品，适用于0.8〜12pmIC工艺技术的制作；③ 中高档产品，适用于06pmIC工艺技术的制作；④ 高档产品，适用于0.09〜0.2pm和＜0.09gm IC工艺技术的制作具体检测时的指标值如下：三、市场需求与生产状况31国际市场1999年〜2010年间，全球电子化学品市场的年均增长率为9%左右预计2012年全球电 子化学品销售额将达到380亿美元，并且未来几年仍将维持8〜10%的增速，高于全球GDP 增速.2005年前，在电子化学品中，电子级氢氟酸与其它电子级清洗剂液所占比重为8〜9%； 2005年开始，随着太阳能电池片产业的爆炸式成长，带动电子级氢氟酸的使用量也超规模 增长，在电子化学品中，电子级氢氟酸与其他电子级清洗剂液占比已上升至14〜15%，预计 2012年全球销售额在55亿美元左右在国际市场上，高端IC芯片所需的电子级氢氟酸由几家知名大公司垄断；即使中国产品 质量达到要求，高端IC芯片制造商也不会采用中国产品,因为更换供应商的风险太大但只 要中国产品质量符合要求，价格具有竞争力，那些中低档IC芯片、太阳能电池片的生产厂 家，还是会采用中国产品.目前，中国生产的电子级氢氟酸80%用于出口。
主要出口国家和地区有台湾、美国、韩国、 日本、印度等2 国内市场国内电子级氢氟酸市场主要集中在太阳能、半导体、IC、液晶屏和玻璃解薄行业2011 年全球太阳能电池片产出达到295GW (全球太阳能发电安装量在2011年创历史新高，达 到27.4GW)，其中中国太阳能电池片产出达到18.6GW占全球产出的60%;截止2011年6 月，全国在建与投产的电池组件企业共有156家，太阳能电池片产能高达35.6GW根据资 料，从多晶硅切片开始统计，在正常情况下，每生产1GW (1000MW)太阳能电池片，需消 耗40%的电子级氢氟酸3620吨据此计算，当中国国内的太阳能电池片产量达到30GW时， 每年消耗的40%电子级氢氟酸为1086万吨其它使用电子级氢氟酸的行业还有：半导体行业、IC制造业、液晶屏和相关玻璃制造业 等，预计2012年将消耗40%电子级氢氟酸26万吨左右，而且国内的这些行业都在扩张， 市场需求量在不断增加所以，国内电子级氢氟酸市场发展潜力巨大，空间广阔从2011年开始，电子级氢氟酸销售已开始从以外贸为主，转向外贸与内销并行;预计从2015年开始，国内的销售量将大于外贸量3.3生产状况分析目前我国有电子级氢氟酸生产企业50多家，装置生产能力在万吨级以上的有5套，目前国 内电子级氢氟酸的年产能为130万吨.详见表3-1。
从以上表格可看出，国内已投产的生产厂家并不多，按照产能计算只有2在建 的厂家中，有个别厂家只是完成了项目审批，尚未开建;还有个别厂家在建过程中发现存在技 术问题，正在寻求解决.目前，许多太阳能硅片企业采用试剂级氢氟酸作清洗酸.实际上，试剂级氢氟酸只能由于 清洗、处理硅块料和碎料.太阳能硅片制造工艺过程中去除“扩散制结”后在硅片表面形成的 那层磷硅玻璃时所用的氢氟酸，还是应该采用EL级或C1级以上的品质随着太阳能硅片行业竞争的加剧，对产品质量的管理会越来越严格，对辅助材料的要求也 会越来越高;这应该是期待中的事四、项目工艺技术4.1工艺简介本项目采用无水氟化氢为原料，原料资源丰富、无固废物排放具体的工艺是:无水氢氟酸首先经过化学预处理，除砷、除碲、脱硼；然后泵入高位槽， 再进入精馏塔，通过精馏得到高纯的氟化氢气体，并进入吸收塔;精馏塔残液定期排放至生 产工业级氢氟酸系统或回到无水氟化氢生产系统在吸收塔中，通入经计量的超纯水，把高 纯氟化氢气体吸收为高纯氢氟酸粗品；氢氟酸粗品经超净过滤，在除去可能存在的颗粒后进 入储罐均质处理;最后在净化室内包装，得到高纯电子级氢氟酸产品.电子级氢氟酸的HF含量完全可控。
在25%〜55%的范围内，可根据客户的需要安排生产工艺过程中的高纯水制作工艺：自来水或清水先进行粗过滤，再进入超纯水系统，在经过 超滤、微滤、纳滤装置后，进行反渗透、树脂吸附、EDI等工序处理，得到超高纯水；超高 纯水检验合格后进入储槽，供给各个使用场合（吸收塔、助剂配制、分析室、包装桶清洗、设 备清洗等）净化室要求：当要求电子氢氟酸产品质量符合 UP-S级及更高时，净化室应达到ISO14644—1标准ISO class3的要求;相当于中国国家标准GB 50073-2001《洁净厂房设计规 范》3级.厂内整体环境：厂房、分析室、仓库等必须是封闭的，而且也要达到一定的洁净度，一般 为10000级（随高纯氢氟酸产品等级而提高）;还要保持一定的温度（22.2±2.5°C，具体操作部 位控制在22.2±011C）、湿度（40%左右，不得低于30%，不得高于50%）建筑外围所有 场地必须进行绿化和地面硬化处理，平时要求规范护养，尽量减少扬尘4.2工艺流程简图 见图1本项目为成熟技术，已有5条生产线在正常运行.五、公用工程规格本项目需要配套的公用工程及其规格如下：51饱和蒸汽供汽压力： 1.3MPa供汽温度： 190°C蒸汽用量： 900kg/h5.2循环冷却水供水压力： 0.4 Mpa供水温度： < 30C（或当地环境温度）硬度：（含 CaCO3） <50ppm含氯离子： <100ppm水循环量： 220m3/h5。
3超纯水电阻： 10 X1018Q供水压力： 0.4Mpa供水温度： < 22 C用量： 3.5T/h5.4新鲜水供水压力： 0.4 Mpa供水温度： 25 C接入水管管径： DN150水消耗量： 10m3/h55仪表空气干燥、无油露点： -40C供气压力： 06MPa（A）供气温度： 常温用气量： 400m3/h5.6动力电380/220V，三相，50HZ装机容量：350KVA每小时电耗：305 KW-h （吨产品电耗110 KW-h）5.7冷媒40%乙二醇溶液，一15C每小时耗量:2.8 X106 kJ58工厂排水本项目正常排水量为03 m3/h，主要是生活污水；最大排水量为3.5m3/h根据排水来源及排水水质，实行清污分流，本项目的排水划分为生产污水排水系统、生活 污水排水系统及雨水排水系统.51生产污水排水系统本项目的生产废水主要为含氟废水，正常生产时无废水，检修或发生事故时，废水的最大 排水量约2.5m3/h收集后送入厂内污水处理站进行处理8.2生活污水排水系统厂内生活污水正常排水量为0.3 m3/h,最大排水量约1.0m3/h，经化粪池处理后送入原厂污 水处理站进行处理，达标后排放.5.8.3雨水排水系统雨水通过道路雨水口收集，经管道排入清净下水-一雨水排水管网，排入厂内排水沟，最终 排至厂外。
发生氟化氢或氢氟酸泄漏等紧急情况时，喷淋水和消防水统一排入厂内雨水应急收集池, 送至污水处理站处理后达标排放六、环境保护、职业安全卫生及消防6. 1环境保护6.1 1废气项目装置内产生的废气为工艺尾气，其排放量正常情况下分别为800 m3/h，主要污染物为 氟化物等.6.1.2废水本项目的废水主要是含氟废水，其正常排放量为0.3m3/h，最大排放量为3.5m3/h；生活 污水排放量为1.0m3/h，其主要污染物为COD、BOD、S.S1.3废渣废渣来自污水处理站的污泥.64噪声噪声源主要有引风机及空压站，产生的噪声约85dB（A）。