工艺阀门、管道清洗干燥规程工艺阀门、管道清洗干燥规程由于多晶硅产品要求纯度高，相应的输送原料的管道和控制流量的阀门、管道就要求有较高的洁净度阀门进厂打压合格后和安装前若不进行清洗，阀门内的锈渣和油脂单靠系统物料的冲刷是无法达到洁净要求的；如不干燥，系统内哪怕是一点水都会造成原料分解、设备腐蚀和系统堵塞因此，阀门的清洗和干燥是必要的阀门清洗采用清洗剂为主脱脂剂进行清洗，清洗和干燥的工艺按照以下步骤进行:水冲洗——脱脂——纯水冲洗——干燥下面具体介绍各个工艺步骤的要求：1．水冲洗用清水对阀门/管道内外表面进行冲洗水冲洗的目的是除去被清洗件内外表面的污物2. 脱脂施工及检验标准2.1 预处理（1）明显的灰尘、杂质用溶剂除去2）明显的防锈油脂可进行预先清除油脂再进行脱脂3）油脂很重时可用低压蒸汽吹洗后，再脱脂2.2 脱脂（1）脱脂方法：采用小件浸泡，小管灌注，大管喷淋，设备擦试或喷淋2）脱脂剂：四氯化碳(CS)、丙酮（SS）（3）脱脂温度：室温4）脱脂具体作法：A．管材的脱脂可以在预制前进行，也可以在预制后进行预制前脱脂必须保证以后不再被污染，同时保存完好B．未预制的管子可在经脱脂后，控净溶剂，自然风干，用塑料布封好两端并包好纱布，做好记号。
C．预制好的管子中加入四氯化碳（丙酮） 注入量不少于管子容量的一半转动管子，使管子内部能充分浸渍四氯化碳按上述方法反复清理直到合格注意：注入四氯化碳（丙酮）后一定要用塞子塞住管子两端D．脱脂后的管子及附件，如果二次污染必须进行再次脱脂，按上述要求脱脂合格为止E．阀件脱脂时，应在拆卸清理后，浸没在装有溶剂的密闭容器内浸泡 1~1.5 小时，然后取出干燥直到没有气味为止金属垫片、螺栓、法兰等，也采用同样的方法脱脂不便浸泡的壳体可以用浸有清洗液的净布（不掉纤维）擦拭干净到合格为止F．在管道上管件的填料函中填料（石棉盘根）与石棉垫片的脱脂方法：把这些填料、垫片在 300℃的温度下焙烧 2~3 分钟（不得用有烟的火焰）焙烧后涂以石墨粉对于已浸渍涂料的石棉填料成品，应具有适用范围的合格证，否则必须化验合格后方能使用G．非金属垫片在用四氯化碳脱脂时，把垫片放在装有溶剂的容器内，放置 1.5～2 小时后将垫片用铁丝（脱脂过的）分一串挂在室外通风良好的地方，干燥时间不宜少于 24 小时H．其它管件脱脂，小件浸泡，大件同管材脱脂方法I．所有脱脂后的管材、管件阀门等应妥当保管，防止被污染特别注意不要用手直接触摸与氧气接触的表面，因为汗渍可能残留在上面而而造成污染。
J．设备脱脂：a、整体到货设计规定由制造厂脱脂的设备，必须具有制造厂的脱脂合格证书b、具有制造厂脱脂合格证且封闭、保管良好的设备，在安装时可不再进行脱脂，但必须在安装前经有关人员检查确认若发现污染或被油脂污染则应重新脱脂c、需要脱脂时，喷淋时内部逐根接管口喷淋采用擦拭法时要选择清洁织物，浸蘸脱脂剂擦洗采用喷淋法时，喷头能上下移动，使溶剂均匀地喷淋到容器的全部需脱脂的表面d、经脱脂合格的设备须在各管口用脱脂合格的螺栓、垫片、盲板封闭，需防锈的应采取防锈纸等防锈措施避免被污染和锈蚀e、设备在脱脂过程中的拆卸、吊放、吹除等操作，必须遵守设备的安装、拆卸的有关规定；起重施工应执行相关的要求K．脱脂施工中，必须严格执行交接班和原始记录制度2.3. 脱脂检验标准2.3.1 凡经脱脂的设备、管材及附件都要进行外观检查，不得有任何外来物或残余物粘在上面2.3.2 检验方法用波长 3200~3800 埃米的紫外线光检查脱脂件表面，在 10cm2范围内直径小于 1mm 的点不多于 5 个为合格或用清洁干燥的白色滤纸擦拭脱脂件表面，纸上无油脂痕迹为合格2.3.3 对检验不合格的脱脂件，必须用上述脱脂方法重新脱脂。
2.3.4 所有脱脂件必须经有关人员检验合格后，再进行下一道工序施工，未经签字认可的，视为脱脂不合格，必须重新脱脂3)纯水冲洗浸泡清洗结束后，取出被清洗件，用纯水进行冲洗，去除残留在阀门内外表面上的碱液和洗落的污物纯水的油含量为零，电导率≤15μs/cm，氯离子≤5mg/L4)干燥用无油干燥空气或氮气对阀门进行吹扫干燥6. 保管与存放6.1 经检验脱脂合格的设备、管材、管件应由专人及时封闭设备用脱脂合格的螺栓、垫片、盲板封闭6.2 管材、管件用塑料布封闭，并包以无油、清洁、干燥的纱布6.3 脱脂合格的设备、管材及附件必须注明标志，同时由专人保管、发放发放时检查封闭端并作记录，发现问题及时汇报，及时处理7. 管道安装施工注意事项7.1 安装施工的程序与注意事项和其它要求详见本工程管道施工方案7.2 脱脂管道在对口准备时，应在管道中装一个由无油硬纸板等物制成的管口隔板，以防止金属屑和外来物进入管道内上述接口准备工作完成后，卸下纸板，并且用浸有 CCl4的净布仔细擦洗污染处，按规定检验合格后，再进行定位焊7.3 脱脂管线必须进行氩弧焊打底7.4 管道施工时要随时检查管材及管件等是否被污染，若发现有被污染的现象应立即停止施工，查明原因，进行脱脂合格后，才能继续进行安装工作。
7.5 与脱脂后的设备相连接的管道及附件必须进行脱脂，合格后再进行安装技术工艺部二〇一〇年五月六日。