单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,,*,,国家标准《电子工厂洁净,厂房设计规范》中强制性条文,GB50472-2019,陈霖新,中国电子工程设计院,2009年07月,,国家标准《电子工厂洁净,1,,CEEDI,1、电子工厂洁净厂房特点,、章节内容简介,强制性条文等介绍,结语,,CEEDI,2,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,3,,1、电子工厂洁净厂房特点,集成电路对化学污染物的控制指标,20192019-20192019-20192019-20192019-20192009-2019,DRAM集成度,64M,256M,纯度(um,0.18-1.15,硅片直径(mm),400-450400-450,受控粒子尺寸,0.12,0.04,0.03,粒子数,1400,500,200,150,(栅清洗个/,重金属(Fe),5×102.5×101×105×1025×10<2.5×10,有机物(C)(原子,1×105×1023×1031×1025×1023×10,,1、电子工厂洁净厂房特点,4,,、电子工厂洁净厂房特点,电子工厂洁净厂房的特点:,微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径,sO1级或更严格,高纯物质,包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输,送,对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定,对防静电、电磁兼容等,大体量、多层单向流洁净室,二层/三层布置数万m2。
电子工厂洁净厂房特点,5,,1、电子工厂洁净厂房特点,表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积,项目,位置,状况,规格,洁净生产区,建筑,面积(m),芯片厂2,300/200(12/8”),芯片厂3,300(12),产运行,200(8,生产运行,200(8),产运行,芯片厂,爱尔兰,生产运行,200(8),5810,芯片厂12,300(12”),芯片厂13,爱尔兰生产运行,300(12”),00,芯片厂14,300(12,200(8"”),200(8),,1、电子工厂洁净厂房特点,6,,、电子工厂洁净厂房特点,表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积,位置,洁净生产区,面积(m2),芯片厂18,12000,2900,片厂19,芯片厂,都生产运行20,运行,生产运行,00(8"),芯片厂23,建设中,00,芯片厂24,产运行,5160,正在建设,1100×1300,LD5台,-LCD/7,,、电子工厂洁净厂房特点,7,,、电子工厂洁净厂房特点,表22几类电子产品所需气体品种,气体类性巢路m如杰纤8性,毒性、蚀,毒性、蚀性,No氧化性,可性,可燃性,毒性,可游性,16CHFy,,、电子工厂洁净厂房特点,8,,、电子工厂洁净厂房特点,CEEDI,表25集成电路芯片(64M)生产过程部分化学品的质量要求,微粒(PCCC),化学品种类,1 u m,金属离子,1.0X10-9,30,1.0X109,10,1.0X109,10,1.0X10-9,49‰HF,30,20,1.0X10-9,5%HF,30,1.0X10,,、电子工厂洁净厂房特点,9,,、电子工厂洁净厂房特点,表128”大规模集成电路生产用高纯水质量指标(前工序),水质标准,电阻率(X9·cm,25℃),>18.2,活性硅(ug),胶体硅(ug/L),<0.1,颗粒(个/m1)(≥0.05um),总有机碳T0C(μg/L),溶解氧D0(μgL),细菌(cfuL),使用点温度(POU)℃,№、k、Ca、Ni、Fe、Zn、B、Cu、Al(ug/L0.01,C1、S04、NO:(ug/L),每项<0.05,PO:(HE/L),<0.01,,、电子工厂洁净厂房特点,10,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,11,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,12,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,13,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,14,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,15,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,16,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,17,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,18,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,19,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,20,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,21,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,22,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,23,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,24,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,25,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,26,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,27,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,28,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,29,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,30,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,31,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,32,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,33,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,34,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,35,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,36,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,37,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,38,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,39,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,40,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,41,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,42,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,43,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,44,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,45,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,46,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,47,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,48,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,49,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,50,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,51,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,52,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,53,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,54,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,55,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,56,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,57,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,58,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,59,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,60,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,61,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,62,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,63,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,64,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,65,,国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》课件,66,。