几种典型的超高真空系统图时间:2008-10-13 来源:真空技术网整理 编辑:鬼马 由于原子能工业和火箭技术的发展，超高真空技术也得到迅速发展和应用其系统有如下几种①用扩散泵和钛泵并联为主泵，扩散泵单独串联前级机械泵的真空系统图 17 所示，称为钠灯超高真空封接炉的系统可以达到极限真空度为 1.33×10-6Pa图 17：钠灯封接用的超高真空系统图②由扩散泵串联扩散泵(中间泵)，再串联机械泵的真空系统如图 18，是一个超高真空系统和设备的结构图主泵是一个水银扩散泵，泵顶有冷却挡板和液氮冷阱，中间泵也是水银扩散泵在中间泵和前级机械泵之间设有油蒸气捕集器并设有各种单独的加热器，烘烤真空室和主泵顶部及捕集器该系统的特点是能获得超高真空，并能稳定工作图 18：超高真空系统图③主泵为分子泵串联机械泵的真空系统，该种超高真空系统，由于机械泵有油存在，需要在机械泵入口管道上设置捕集器冷凝油蒸气如果分子泵串联分子筛吸附泵(前级泵)，则构成了无油超高真空系统，该系统比较清洁④用钛泵或溅射离子泵做为主泵并联或串联分子筛吸附泵(做为预真空泵)，构成无油超高真空系统．如图 19 所示也可以用钛泵联接预真空机械泵，但此时机械泵的入口管道上要加油蒸气捕集器。
⑤用低温泵做为主泵，串联或并联分子筛吸附泵(预真空泵)，构成无油超高真空系统同样也可以用机械泵做为预真空泵，在机械泵入口管道上设置油蒸气捕集器。