灌液触摸屏操作说明灌液触摸屏操作说明 1.开机初始画面点击右下角 MANU 鍵进入手动操作画面,可以手动动作 V1,V2,EV,BV,MV,阀门,托盘升降,以 及真空泵,加速泵的启停 2.MANU 画面点击 AUTO 鍵进入自动操作画面,先点击右上角 PTN 鍵为选择自动运行的程序(有 6 个程序适用于 不同 UPS 的玻璃) ,之后按 START 开始自动运行机台 3.AUTO 画面按右下角 PROG 进入程序编写,浏览,按右下角 STEP UP 和 STEP DOWN 上下逐步浏览程序内容 4.在 PROG 画面按右下角 P.CTRL 进入輔助功能 P 值设置画面,画面中由 P.NO UP 和 P.NO DOWN 来切换 P 编号进 行输入其 DATA 压力设定值,在数字区直接输入数值按 ENT 即可,全部输入完成后按左下角 RET 返回 PROG 画 面 5.在 PROG 画面按右下角 TIME 进入多个程序的每一步时间和輔助功能的设置,先按 PTN 选择要设的程序号,再由 “△” , “▽”鍵进行 STEP 步,TIME 时间,SUB 輔助功能代码切换输入数字区的相应数即可(如第一步将光标 移至 STEP 输入数 1) ,最后按 ENT 完成,按左下角 RET 返回 PROG 画面,SUB 輔助功能代码含义如下表:6.程序设置详细参数举例如下:步骤1234567启动R.PR.P,BVR.P,MV.R.P,MBP,MVR.P,MBP,MVR.P,MBP,MVR.P,MBP,时间(S)10405040100240020輔助机能Pig hiPig LoP.CTRLLF UP真空度(Torr)76090TRG1TRG2TRG2<5*410<5*410备注真空启动预抽真空接点接点液晶消泡抽真空托盘上升代码含 义说 明备 注0无輔助功能1P1开 V1 放 N2 至 P1 设定压力值停2P2开 V1 放 N2 至 P2 设定压力值停3P3开 V1 放 N2 至 P3 设定压力值停4P4开 V1 放 N2 至 P4 设定压力值停5P5开 V1 放 N2 至 P5 设定压力值停6P6开 V2 放 N2 至 P6 设定压力值停7P7开 V2 放 N2 至 P7 设定压力值停8P8开 V2 放 N2 至 P8 设定压力值停9P9开 V2 放 N2 至 P9 设定压力值停10P10开 V2 放 N2 至 P10 设定压力值停11Pig Hi真空表 TRG1 接点开加速泵12Pig Lo真空表 TRG2 接点关 MV13Pg Hi压力表高位值(开 V2 至此值停)14Pg Lo压力表低位值15Lf Up托盘上升16Lf Down托盘下降17Insert玻璃槽上升18Get out玻璃槽下降19P.CTRL液晶消泡20END结束1.Pig Hi 值的设定方法:在真空表上按 PARA 一次由“△”.“▽”设定此值; 2.Pig Lo 值的设定方法:在真空表上按 PARA 两次由“△”.“▽”设定,此值要低于 Pig Hi 值。
步骤891011121314151617181920启动R.PV1V1V1V1V1V2V2V2V2V2V2时间(S)6004204204204204204204204204204201003輔助机能P1P2P3P4P5P6P7P8P9P10Pg hiEND真空度(Torr)<110151040100200300400500600760760备注下槽停留V1 流量为:0.5±0.1L/minV2 流量为:30±1L/min结束。