硅烷吹扫步骤（以 L 瓶为例）1、在主画面中点 LB/T（吹扫右瓶则点 RB/T）进入下面画面;2、在此画面中点 AUTOPURGE 进入下面画面;3、先确定钢瓶阀门关闭，然后点 START 进入第一次清洗；4、第一次清洗完毕后在-L 步骤进行负压保压，先观察第一次保压能顺利进行，之后二十分钟观察一次直至进行到 C（更换钢瓶）步骤,共计 260 分钟，其中负压保压时间 120 分钟；5、更换钢瓶时注意每次都要更换垫片，把新钢瓶换上之后点击 START 继续进行更换后吹扫，在+L 步骤时先观察第一次保压能顺利进行，之后二十分钟观察一次一直到如下画面；6、点击 PROCESSMODE 进入供气画面；7、点击 PROCESS 进入下面画面准备供气；8、点击 CONFIRM 一次，然后慢慢开钢瓶，至有压力显示时再往回关一点，然后慢慢全开，之后再点击三次 CONFIRM 至箭头全部变成红色9、当处于此画面状态时表示 L 瓶已经准备好供气，若 R 瓶没有用完则 L 瓶处于待供气状态，不需要再点击任何按键；若 R 瓶已经用完则 L 瓶自动供气，点击右下角 RBOTTLE 按键开始R 瓶吹扫步骤， R 瓶吹扫步骤和 L 瓶相同。