单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,UPW(纯水系统),讲解人：方青,引言,UPW是服务生产工艺的一部分,另外还有CDS、特气、大宗气体等超纯水的制程随原水水质而有不同的方式，主要是去除水中的不纯物，如微粒子、有机物、无机盐类、重金属及生菌等,主要用途（GMIC）,超纯水主要供集成电路芯片生产的清洗用水，且用量较大另外还提供一些生活用水，以及PCW（工艺冷却水系统）、膨胀水箱、加湿器等都会用到不同程度的纯水为了满足工艺设备对水质的要求，必须考虑输送材料、流速、合理的输送系统的设计,Typical Components of a Semiconductor UPW System,纯水系统的组成单元,MMF和AC,RO,UF,MB,EDI,POLISH,UV,脱气塔,以下介绍各部分的作用,MMF和AC,MMF(多介质过滤器)和AC（活性炭过滤器）是作为RO的预处理，对RO膜起保护作用预处理原水首先加入絮凝剂和混凝剂，可以降低浑浊度（使微小颗粒凝聚变大，重力沉降有助于过滤）,去除悬浮物和胶体等杂质加入NaHSO3去除余氯（将氯还原），防止RO膜被氧化，活性炭也有吸附余氯的作用。
为了提高出水质量和加强对RO膜的保护，现在通常用UF作为预处理UF,超滤是一种以筛分为分离原理，以压力为推动力的膜分离过程，过滤精度在0.005-0.01m范围内，可有效去除水中的微粒、胶体、细菌垫层及高分子有机物质可广泛应用于物质的分离、浓缩、提纯超滤过程无相转化，常温操作，对热敏性物质的分离尤为适宜，并具有良好的耐温、耐酸碱和耐氧化性能（可以耐受高浓度的余氯和过氧化氢溶液），能在60 以下，pH为2-11的条件下长期连续使用中空纤维超滤膜是超滤技术中最为成熟与先进的一种形式中空纤维外径0.5-2.0mm，内径0.3-1.4mm，中空纤维管壁上布满微孔，孔径以能截留物质的分子量表达，截留分子量可达几千至几十万原水在中空纤维外侧或内腔加压流动，分别构成外压式与内压式超滤是动态过滤过程，被截留物质可随浓缩小排除，不致堵塞膜表面，可长期连续运行,一般采用外压式，这样增大表面积，过滤充分Ultrafiltration Design,RO,反渗透是,用,用足够的,压,压力使溶,液,液中的溶,剂,剂,(,一般常指,水,水,),通过反渗,透,透膜,(,一种半透,膜,膜,),而分离出,来,来，方向,与,与渗透方,向,向相反，,可,可使用大,于,于渗透压,的,的反渗透,法,法进行分,离,离、提纯,和,和浓缩溶,液,液。
反渗,透,透膜的主,要,要分离对,象,象是溶液,中,中的离子,范,范围反渗透法,分,分离过程,有,有如下优,点,点：不需加,热,热、没有,相,相变；能耗少,；,；过程连,续,续稳定；设备体,积,积小、操,作,作简单，,适,适应性强,；,；对环境,不,不产生污,染,染反渗透纯,水,水系统根,据,据不同的,源,源水水质,采,采用不同,的,的工艺一,一般自来,水,水经一级,反,反渗透系,统,统处理后,，,，产水电,导,导率,10-20,S/cm,，经二级,反,反渗透系,统,统后产水,电,电导率,5,S/cm,甚至更低,，,，在反渗,透,透系统后,辅,辅以离子,交,交换设备,或,或,EDI,设备可以,制,制备超纯,水,水，使电,阻,阻率高达,18,兆欧姆,.,厘米,),反渗透膜,老,老化或受,污,污染后，,产,产水质量,会,会下降,.,反渗透的,基,基本性能,参,参数是运,行,行压力、,产,产水量、,水,水回收率,和,和脱盐率,、,、测试液PH值大部分离,子,子依靠反,渗,渗透方式,除,除去，可,去,去除颗粒,、,、胶体、,有,有机杂质,、,、微生物,等,等有害物,质,质，Ca,、,、Mg之,类,类的硬度,离,离子及99%溶解,性,性离子。
给水总含,盐,盐量（TDS）和,需,需去除的,主,主要离子,的,的浓度是,反,反渗透系,统,统设计的,基,基本依据,，,，主要离,子,子有钙、,镁,镁、钠、,钾,钾、铵、,硫,硫酸根、,重,重碳酸根,、,、氯、氟,、,、硝酸根,和,和二氧化,硅,硅OsmosisandReverseOsmosis,1,2,Feedwater,Purifiedwater,Reverseosmosis,membrane(RO),Osmosis,ReverseOsmosis,2,2,1,Osmotic,pressure,P,1,2,TheSpiral WoundReverseOsmosisModule,MB,MB是继RO的进,一,一步脱盐,MB的工,作,作原理是,通,通过阴阳,树,树脂上所,带,带的活性,基,基团来置,换,换水中的,阴,阴阳离子,，,，同时释,放,放出H,+,和OH,-,化合成H,2,OEDI,近几十年,以,以来，混,合,合床离子,交,交换技术,一,一直作为,超,超纯水制,备,备的标准,工,工艺由,于,于其需要,周,周期性的,再,再生且再,生,生过程中,使,使用大量,的,的化学药,品,品（酸碱,）,）和纯水,，,，并造成,一,一定的环,境,境问题，,因,因此需要,开,开发无酸,碱,碱超纯水,系,系统。
EDI技,术,术是将膜,、,、树脂和,电,电化学原,理,理相结合,的,的成为水,处,处理技术,的,的一场革,命,命其离,子,子交换树,脂,脂的再生,使,使用的是,电,电，而不,再,再需要酸,碱,碱，因而,更,更满足于,当,当今世界,的,的环保要,求,求EDI,装置是应,用,用在反渗,透,透系统之,后,后，取代,传,传统的混,合,合离子交,换,换技术（,MB-DI,）生产稳,定,定的去离,子,子水EDI,技术与混,合,合离子交,换,换技术相,比,比有如下,优,优点,:,水质稳,定,定容易实,现,现全自动,控,控制不会因,再,再生而停,机,机不需化,学,学再生运行费,用,用低厂房面,积,积小无污水,排,排放EDI,工作原理,:EDI,装置将离,子,子交换树,脂,脂充夹在,阴,阴,/,阳离子交,换,换膜之间,形,形成,EDI,单元EDI,工作原理,如,如图所示,EDI,组件中将,一,一定数量,的,的,EDI,单元间用,网,网状物隔,开,开，形成,浓,浓水室又,又在单元,组,组两端设,置,置阴,/,阳电极在,在直流电,的,的推动下,，,，通过淡,水,水室水流,中,中的阴阳,离,离子分别,穿,穿过阴阳,离,离子交换,膜,膜进入到,浓,浓水室而,在,在淡水室,中,中去除。
而,而通过浓,水,水室的水,将,将离子带,出,出系统，,成,成为浓水,.EDI,设备一般,以,以反渗透,（,（,RO,）纯水作,为,为,EDI,给水RO,纯水电阻,率,率一般是,40-2,S/cm,（,25,),EDI,纯水电阻,率,率可以高,达,达,18 M,.,cm(25,),，但是根,据,据去离子,水,水用途和,系,系统配置,设,设置，,EDI,纯水适用,于,于制备电,阻,阻率要求,在,在,1-18.2M,.cm(25,),的纯水A,A,C,Anode,Cathode,A-Anion Membrane,C-Cation Membrane,Na,+,Na,+,Na,+,Na,+,H,+,H,+,OH,-,OH,-,Cl,-,Na,+,waste,+,_,Cl,-,Cl,-,Cl,-,Cl,-,C,Source water,Product,POLISH,POLISH（抛,光,光混床）,是,是更进一,步,步的精度,处,处理，主,要,要去除像,弱,弱电解质,（,（棚、SiO2）,较,较难清除,离,离子的任,务,务,We should understandjust how much(or little)1ppbreallyis!For example:,1 secondin32 years=1ppb,or,1 inch in 15,700miles=1 ppb,UV Photo-oxidation Module,O-ringseal,Water out,Hightransmittancequartz sleeve,PVDFhousing,Lowpressuremercuryvapourlampwith high transmittancequartzenvelope,Water in,UV,一般选用UV185nm和UV254nm。
UV254nm具,有,有杀菌效,能,能，原理,是,是通过紫,外,外线对微,生,生物的照,射,射，以改,变,变及破坏,微,微生物的,组,组织结构,（,（DNA-核酸）,，,，导致核,酸,酸结构突,变,变，生物,体,体丧失复,制,制、繁殖,能,能力，功,能,能遭受破,坏,坏，从而,达,达到消毒,、,、杀菌的,目,目的，消,灭,灭水中的,细,细菌、病,菌,菌和其它,微,微生物可,可参照下,表,表UV185nm主,要,要去除TOC（总,有,有机碳）,，,，波长185nm,的,的放射线,会,会产生羟,基,基（OH,）,）自由基,，,，自由基,将,将水中透,过,过反渗透,膜,膜的少量,有,有机物分,解,解成CO2和H2O而去除,，,，确保系,统,统的TOC指标达,到,到用户要,求,求脱气塔,脱气塔主,要,要是除去CO2（,影,影响水电,导,导率的主,要,要物质,，,，CO2,无,无法被膜,去,去除）是,是利用气,液,液相压强,差,差的原理,，,，利用风,压,压把水中,的,的CO2,吹,吹掉鼓风脱气,系,系统分为,三,三个部分,，,，上部为,脱,脱气塔体,，,，内装脱,气,气介质；,下,下部为脱,气,气塔水箱,，,，装有目,视,视和自动,液,液位控制,系,系统；中,部,部装强力,鼓,鼓风机，,鼓,鼓风机进,风,风口装有,高,高效过滤,器,器。
注：本页,说,说明是摘,自,自苏净的,报,报价书演讲完毕,，,，谢谢观,看,看！,。