KB-2600操作流程圖 第 3 頁，共 12 頁 深圳新美化光電設備有限公司KB-2600自動固晶機作業流程膠台高度設定置晶接触位置置晶位置教導置晶位置教導膠針高度設定取晶接触位置頂針高度設定 視覺 建立工單 取晶位置教導(機械三點)設定晶圓挑揀範圍晶圓/支架攝影設定攝影位置設定(支架攝影機)攝影機水平設定攝影機影像設定攝影機比值效正調整支架攝影機位置1. 移動支架載台到標準位置2. 調整攝影機使支架在畫面中心.支架攝影機是否在節距移動位置上?調整攝影機角度1. 載台上設置水平基準線.2. 水平移動載台,校正攝影機角度.水平移動載台畫面基準點是否沿基準線移動?調整攝影機焦距光線及放大倍率1. 調整攝影機光線及焦距.2. 調整攝影機放大倍率.*芯片約3個節距.*支架約2個節距.影像是否清晰?物件大小是否適中?攝影機比值效正1. 模組教導,攝影機攝定.2. 自動校正.3. 選取特別唯一樣板.*樣板最好不受光線險影響.4. 移動測試.水平與垂直側移動比值是否接近?移動位置是否正確?設定完成視覺視覺教導導線架視覺晶圓視覺攝影機設定教導導線架攝影機設定晶圓攝影機設定將”+”光標定位於碗杯中心視覺模組教導選圖像特殊唯一點點擊右鍵晶圓視覺教導教導確定拖拉畫面綠色框確定合適教導確定確定開始自動校正開始自動校正確定拖拉畫面紅色框確定晶粒大小確定拖拉畫面綠色框確定晶粒節距範圍確定拖拉畫面藍色框確定晶粒定位樣板確定建立工單參數設定基板教導基板教導開始教導第一置晶位置確定教導平板行數及列數(行數:1列數:2)及Y方向節距確定教導大區塊行數及列數確定立式支架大,小區塊均默認為:1教導大區塊X方向及Y方向節距確定教導小區塊行數及列數確定教導小區塊X方向及Y方向節距確定教導次小區塊行數及列數(行:25列:20)確定教導次小區塊X方向節距(Dich:24)確定教導次小區塊y方向節距(Dich:19)確定確定置晶數量設定存檔離開確定工作單5.7inch.s11.wfr瀏覽確定晶圓檔案建立或開啟工單瀏覽確定存檔基板檔案取晶位置教導各模組教導打壓吸咀印痕物放置於頂針蓋上取晶位置教導點選取晶中心教導完畢之”是”取晶中心設定將”+”光標定位於吸咀印痕中心關閉真空取走打印痕物品移動頂針座使其位於晶圓視覺中心離開頂針高度設定將晶片放置於wafer載台上模組教導各模組教導Die TransferEjector speed調至1%Ejector開啟真空點擊“ZF”使頂針與帽蓋正端平齊或略低點選設定功能關閉點擊等待位置點擊 “Z+”使頂針頂刺破藍膜儲存點選設定功能關閉點擊頂出位置點擊等待位置之移動鍵關閉真空儲存離開取晶接触位置用視覺鎖定一顆晶粒模組教導各模組教導Die Transfer 點擊設定功能關閉點選取晶位置自動教導之自動教導儲存離開膠針高度設定在瑩幕中鎖定一顆晶粒移動導線架使膠針位於碗杯中心正上方模組教導各模組教導Die Transfer點選取晶位置自動教導之移動鍵相對移動處輸入200點擊相對移動放鬆膠針鎖固螺母將膠針調至碗杯底部鎖固膠針螺母點擊等待位置之移動鍵離開置晶位置教導導線架移到節一置晶位置模組教導置放位置教導打印痕物品放置於節一置晶位置前方視覺鎖定位置設定點膠位置教導置晶中心教導將⊕移至膠針印痕中心點選此間距移動點膠位置設定置晶位置設定將⊕移至吸咀印痕中心離開保存置晶拉触位置導線架移到節一置晶位置模組教導各模組教導Die Transfer晶穴移到B’G位置1. 吸咀真空開啟2. 以寸動方式移動Die Transfer3. 接近碗杯時以更慢的寸動速度接近杯底.4. 觀察吸咀流量檢知器.5. 流量檢知時,記錄此時Die Transfer位置脈波數,手動鍵入此位置為置晶按触位置.6. 關閉真空儲存離開膠台高度設定用視覺鎖定一顆杯模組教導各模組教導Die Transfer晶穴移到B’G位置點選置晶位置自動教導之移動鍵將膠台調至與膠針恰好接触設定晶圓挑揀範圍工作單設定晶圓挑揀範圍圓心半徑法空Die回頭十點多邊法將晶圓載台欲挑揀位置移至頂針座中心重置移動wafer載台使晶片位於頂針帽邊緣(第一點)點選晶圓挑揀節一點之set鍵晶圓中心設定將晶圓載台以寸動方式將移至頂針座位置多邊极點設定點擊晶圓直徑set移動wafer載台使晶片位於頂針帽邊緣(第二點)離開將晶圓載台移到第一取晶位置離開多邊极點設定移動wafer載台使晶片位於頂針帽邊緣(第三點)多邊极點設定點擊挑揀周圍移動之移動鍵點擊確定點擊晶圓挑揀第一點之移動鍵離開。