石英坩埚使用中的常见问题（破裂）一、石英坩埚破裂的原因在熔料和拉晶的过程中有时会发生石英坩埚破裂，发生破裂的原因有以下几个因素：1、熔料的方法不当1.1、二次结晶 上部硅料熔化后沿着石英坩埚的内壁向下流到底部时往往会因底部温度过低而发生 “二次”结晶，硅料在“二次”结晶时发生膨胀而将石英坩埚胀裂1.2、底部翻料后漏硅当上部熔硅液体沿埚壁流到坩埚底部时将底部块料和石英坩埚粘连在一起，当上部硅 料完全熔化成液体后，对底部的块料形成浮力，当浮力大到足以将未熔完的块料脱离与之 粘连的石英坩埚底部时，往往能将坩埚拉破2、熔料的温度不当溶料的温度太高会加剧坩埚析晶的程度，增加了破裂的可能性3、原料问题原料的杂质太多或在原料的清洗和装填过程中受到沾污，都会对石英坩埚产生侵蚀作 用，严重时熔硅会渗透到坩埚内层4、石墨坩埚问题4.1、新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶4.2、石墨坩埚因使用时间过长，其原有的厚度氧化降解而大为减薄5、石英坩埚问题5.1、石英坩埚在放入时用力过量，底部受到损伤而产生隐裂5.2、在装底部料时大块的硅料撞击到石英坩埚底部产生隐裂5.3、坩埚上部装入太多的大料，熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。
5.4、石英坩埚因受到外力损伤已产生隐裂，熔料过程中发生破裂5.5、在石英坩埚的生产、包装、运输中受到损伤而产生隐裂二、如何防止漏硅的发生石英坩埚的破裂对生产造成的损失往往是非常巨大的1.1、选用合适的熔料方法，采用下放式热屏的熔料方法时应在上部硅料熔化后及时将埚 位上升，就能有效防止因“二次”结晶而发生的漏硅1.2、大块的块料宜放置在石英坩埚的中部位置1.3、在熔料过程中，随着原料的逐步熔化和下沉，应随时提升埚位，这在很大程度上可 减少因熔硅与底部石英坩埚发生粘连而出现的鼓包现象1.4、在熔料时应根据不同的热场，不同的投料量选择合适的熔料温度与时间1.5、当遇到反复几天都无法拉出单晶就应及时吊料结束拉晶，以避免发生因石英坩埚破 裂而造成的漏硅事故1.6、新投入的石墨坩埚应彻底煅烧后才能投入使用以减少石英坩埚外层析晶的程度1.7、当石墨坩埚使用时间过长，其厚度已减薄很多时，应及时更换1.8、在石英坩埚的生产、包装、运输等过程中应避免使石英坩埚受到撞击，以免受到损 伤而产生隐裂1.9、在放置石英坩埚时应避免用力过重和撞击1.10、在装填硅料的过程中，应避免块料对坩埚的撞击1.11、在清洗原料的过程中应将酸碱残液彻底冲洗干净以避免坩埚内壁发生严重析晶。
1.12、在装填硅料时应严格按照操作工艺规程认真操作，以避免石英坩埚和原料受到沾污 而发生严重析晶。