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原子层沉积镀膜系统项目数据分析报告

陈****2
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泓域咨询 /原子层沉积镀膜系统项目数据分析报告报告说明薄膜沉积技术是以各类化学反应源在外加能量(包括热、光、等离子体等)的驱动下激活,将由此形成的原子、离子、活性反应基团等在衬底表面进行吸附,并在适当的位置发生化学反应或聚结,渐渐形成几纳米至几微米不等厚度的金属、介质、或半导体材料薄膜作为芯片衬底之上的微米或纳米级薄膜,是构成了制作电路的功能材料层随着集成电路制造不断向更先进工艺发展,单位面积集成的电路规模不断扩大,芯片内部立体结构日趋复杂,所需要的薄膜层数越来越多,对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求薄膜设备的发展支撑了集成电路制造工艺向更小制程发展随着半导体行业整体景气度的提升,全球半导体设备市场呈现快速增长态势,拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加根据MaximizeMarketResearch数据统计,2017-2020年全球半导体薄膜沉积设备市场规模分别为125亿美元、145亿美元、155亿美元和172亿美元,2021年扩大至约190亿美元,年复合增长率为11.04%预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模在2025年将从2021年的190亿美元扩大至340亿美元,保持年复合15.7%的增长速度。

近年来,下游产业新技术、新产品快速发展,正迎来市场快速增长期5G、新能源汽车、工业电子等包含的半导体产品数量较传统产品大比例提高;人工智能、可穿戴设备和物联网等新业态的出现,对于半导体产品产生了新需求经过不断发展,根据不同的应用演化出了PECVD、LPCVD、溅射PVD、ALD等不同的设备用于晶圆制造的不同工艺其中,PECVD是薄膜设备中占比最高的设备类型,占整体薄膜沉积设备市场的33%;ALD设备目前占据薄膜沉积设备市场的11%;SACVD是新兴的设备类型,属于其他薄膜沉积设备类目下的产品,占比较小在晶圆制造过程中,薄膜起到产生导电层或绝缘层、阻挡污染物和杂质渗透、提高吸光率、临时阻挡刻蚀等重要作用随着集成电路的持续发展,晶圆制造工艺不断走向精密化,芯片结构的复杂度也不断提高,需要在更微小的线宽上制造制造商要求制备的薄膜品种随之增加,最终用户对薄膜性能的要求也日益提高这一趋势对薄膜沉积设备产生了更高的技术要求,市场对于高性能薄膜设备的依赖逐渐增加随着集成电路的持续发展,产线逐渐升级,晶圆厂对薄膜沉积设备数量和性能的需求将继续随之提升越先进制程的产线所需的薄膜沉积设备数量越多先进制程使得晶圆制造的复杂度和工序量都大大提升,为保证产能,产线上需要更多的设备。

随着当前存储器性能瓶颈的出现,主流工艺方式不断拓展,精密结构加工所需的设备性能要求不断增加在FLASH存储芯片领域,随着主流制造工艺由2DNAND发展为3DNAND结构,相关产线中薄膜设备支出占比由18%提升至26%,结构的复杂化导致对于薄膜沉积设备的需求量也逐步增加半导体设备属于高新技术领域,相关厂商均在各自专业技术领域耕耘几十年从全球市场份额来看,薄膜沉积设备行业呈现出高度垄断的竞争局面,行业基本由应用材料(AMAT)、先晶半导体(ASMI)、泛林半导体(Lam)、东京电子(TEL)等国际巨头垄断2019年,ALD设备龙头东京电子和先晶半导体分别占据了31%和29%的市场份额,剩下40%的份额由其他厂商占据;而应用材料则基本垄断了PVD市场,占85%的比重,处于绝对龙头地位;在CVD市场中,应用材料全球占比约为30%,连同泛林半导体的21%和TEL的19%,三大厂商占据了全球70%的市场份额CVD设备需求量大,设备种类较多国内从事CVD设备开发销售的公司主要有北方华创、中微公司和拓荆科技北方华创主要研发PVD、LPCVD和APCVD设备,中微公司主要研发MOCVD设备,和拓荆科技的PECVD以及SACVD设备无直接竞争关系。

各公司专注于不同细分领域,共同发展弥补国内企业在相关行业的短板除了光刻、薄膜沉积以及刻蚀三大核心工艺外,其他前道设备虽然占比不高,但同样不可或缺从芯片制造工艺来看,包括涂胶显影设备、清洗设备、离子注入设备以及扩散设备其中涂胶显影设备与光刻机共同完成光刻工艺;清洗机与CMP共同完成芯片的各步骤的清洗与抛光;离子注入机和扩散炉则专注于掺杂工艺根据谨慎财务估算,项目总投资36258.99万元,其中:建设投资27910.96万元,占项目总投资的76.98%;建设期利息550.16万元,占项目总投资的1.52%;流动资金7797.87万元,占项目总投资的21.51%项目正常运营每年营业收入76600.00万元,综合总成本费用65569.90万元,净利润8037.88万元,财务内部收益率14.37%,财务净现值4769.62万元,全部投资回收期6.82年本期项目具有较强的财务盈利能力,其财务净现值良好,投资回收期合理本期项目技术上可行、经济上合理,投资方向正确,资本结构合理,技术方案设计优良本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的目录一、 项目名称及项目单位 7二、 项目建设地点 7三、 编制依据和技术原则 7主要经济指标一览表 8四、 主要结论及建议 9五、 半导体薄膜沉积设备发展趋势 14六、 社会经济发展目标 17七、 建筑工程建设指标 18建筑工程投资一览表 18八、 公司经营宗旨 19九、 高级管理人员 19十、 人力资源配置 22劳动定员一览表 22十一、 企业技术研发分析 23十二、 项目节能措施 25十三、 项目实施保障措施 26十四、 环境影响合理性分析 27十五、 建设投资估算 27建设投资估算表 28十六、 建设期利息 29建设期利息估算表 29十七、 流动资金 30流动资金估算表 31十八、 项目总投资 32总投资及构成一览表 32十九、 资金筹措与投资计划 33项目投资计划与资金筹措一览表 33二十、 经济评价财务测算 34二十一、 项目盈利能力分析 36二十二、 项目风险分析风险评估 38二十三、 总结 38二十四、 附表 38营业收入、税金及附加和增值税估算表 38综合总成本费用估算表 39固定资产折旧费估算表 40无形资产和其他资产摊销估算表 41利润及利润分配表 41项目投资现金流量表 42借款还本付息计划表 43建设投资估算表 44建设期利息估算表 45固定资产投资估算表 46流动资金估算表 46总投资及构成一览表 47项目投资计划与资金筹措一览表 48一、 项目名称及项目单位项目名称:原子层沉积镀膜系统项目项目单位:xxx有限公司二、 项目建设地点本期项目选址位于xx(以选址意见书为准),占地面积约90.00亩。

项目拟定建设区域地理位置优越,交通便利,规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备,非常适宜本期项目建设三、 编制依据和技术原则(一)编制依据1、国家经济和社会发展的长期规划,部门与地区规划,经济建设的指导方针、任务、产业政策、投资政策和技术经济政策以及国家和地方法规等;2、经过批准的项目建议书和在项目建议书批准后签订的意向性协议等;3、当地的拟建厂址的自然、经济、社会等基础资料;4、有关国家、地区和行业的工程技术、经济方面的法令、法规、标准定额资料等;5、由国家颁布的建设项目可行性研究及经济评价的有关规定;6、相关市场调研报告等二)技术原则按照“保证生产,简化辅助”的原则进行设计,尽量减少用地、节约资金在保证生产的前提下,综合考虑辅助、服务设施及该项目的可持续发展采用先进可靠的工艺流程及设备和完善的现代企业管理制度,采取有效的环境保护措施,使生产中的排放物符合国家排放标准和规定,重视安全与工业卫生使工程项目具有良好的经济效益和社会效益主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积㎡60000.00约90.00亩1.1总建筑面积㎡99348.641.2基底面积㎡34800.001.3投资强度万元/亩300.902总投资万元36258.992.1建设投资万元27910.962.1.1工程费用万元24494.992.1.2其他费用万元2656.942.1.3预备费万元759.032.2建设期利息万元550.162.3流动资金万元7797.873资金筹措万元36258.993.1自筹资金万元25031.183.2银行贷款万元11227.814营业收入万元76600.00正常运营年份5总成本费用万元65569.90""6利润总额万元10717.18""7净利润万元8037.88""8所得税万元2679.30""9增值税万元2607.66""10税金及附加万元312.92""11纳税总额万元5599.88""12工业增加值万元19185.01""13盈亏平衡点万元37174.58产值14回收期年6.8215内部收益率14.37%所得税后16财务净现值万元4769.62所得税后四、 主要结论及建议该项目符合国家有关政策,建设有着较好的社会效益,建设单位为此做了大量工作,建议各有关部门给予大力支持,使其早日建成发挥效益。

二级标产业环境分析预计全年完成地区生产总值14050亿元、可比价增长8%,增幅连续11个季度保持8%及以上,位居东部地区GDP过万亿元城市和全省首位;一般公共预算收入1580亿元、增长7.5%,税占比86.9%,增速列全省首位固定资产投资增长8%,社会消费品零售总额增长5.5%,外贸进出口总额增长10%预计,金融机构本外币存贷款余额达到3.6万亿元和3.4万亿元,同比分别增长2%和17%国家推动区域经济布局优化,提出“增强中心城市和城市群综合承载和资源优化配置能力”,将为多重国家战略叠加的南京打开发展新空间我们必须把思想和行动统一到党中央对形势的分析判断上来,在“危”与“机”的转换中增强信心、争取领先,在“时”与“势”的把握中借梯登高、乘势而上,在“稳”与“进”的开拓中增创优势、赢得主动,推动经济高质量发展、市民高品质生活、城市高效能治理齐头并进今年经济社会发展的预期性指标主要是:地区生产总值增长7.5%;一般公共预算收入增长4%;固定资产投资增长7.5%左右,其中工业投资增长10%以上;社会消费品零售总额增长7%;外贸进出口总额增长10%,实际使用外资45亿美元;全社会研发经费支出占GDP比重3.3%;全体居民人均可支配收入增速与经济增速同步,农村居民人均可支配收入增速高于城镇居民增速;城镇登记失业率、城镇调查失业率控制在省定标准以内;居民消费价格指数保持在省调控目标以内。

当前,世界经济在深度调整中曲折复苏,国际金融危机深层次影响在相当长时期依然存在,外部环境不稳定不确定因素增多国内经济面对深刻的供给侧、结构性、体制性矛盾,经济减速还没触底,下行压力仍然较大同时,新一轮科技革命和产业变革酝酿新突破,新产业、新业态不断成长发展也呈现出新的阶段性特征,将进入全面建成小康社会决胜期、生态文明建设提升期、经济发展动能转换期、新型城镇化加速推进期、全面深化改革攻坚期和全面推进依法治省关键。

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