对于真空度的标识通常有两种方法:一是用“绝对压力”、“绝对真空度”(即比“理论真空”高多少压力)标识;在实际情况中,真空泵的绝对压力值介于0〜101.325KPa之间绝对压力 值需要用绝对压力仪表测量,在20°C、海拔高度=0的地方,用于测量真空度 的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa即一个标准大气压)二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识相对真空度”是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值用普通真空 表测量在没有真空的状态下(即常压时),表的初始值为0当测量真空时,它 的值介于0到一101.325KPa (一般用负数表示)之间国际真空行业通用的“真空度”,也是最科学的是用绝对压力标识;指得是“极 限真空、绝对真空度、绝对压力”,但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负 压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜,因此也有 广泛应用真空度”顾名思义就是真空的程度在给定的空间内,压强低于101325帕斯卡 (也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。
近似换算关系如下:1MPa=1000KPa1KPa=1000Pa1 大气压=100KPa=0.1MPa1 大气压=1 公斤(Kgf/cm2)=760mmHg1大气压=14.5PSI1KPa=10mbar1bar=1000mbar真空泵种类起动压强(Pa)1X10 5活塞式真空泵1X10 5 〜1.3X10 21X10 5旋片式真空泵1X10 5—6.7X10-11X10 5水环式真空泵1X105—2.7X1031.3X10 3罗茨真空泵1.3X103— 1.31.3—1.3X10 -5涡轮分子泵1.31X10 5水蒸气喷射泵1X10 5—1.3X10-11.3X10 -7油扩散泵1.3X10 -2—1.3X10<1.3X10 5油蒸气喷射泵1.3X10—1.3X10 -21X10 5分子筛吸附泵1X10 5—1.3X10 -16.7X10 -i溅射离子泵1.3X10 -3—1.3X10 -91.3X10 -2钛升华泵1.3X10 -2—1.3X10 -91.3X10锆铝吸气剂泵1.3X10—1.3X10 -111.3—1.3X10 -i低温泵1.3—1.3X10 -11。