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1、南开大学 硅光电子学与储能实验室Four-Point Probe Operation | 2011四探针操作手册在能力与知识结构方面，要求学生应具有扎实的专业和日语语言基础，熟练掌握日语听、说、读、写、译的基本技能；了解日本社会及日本文化等方面的基本知识，熟悉日本国情，具有一定的日本人文知识及运用这些知识与日本人进行交流的能力。四探针操作说明书Four-Point Probe Operation第1章引言11.目的12.应用范围13.测试设备1四探针1数字电压源表2第2章原理简述31.薄膜(厚度4mm)电阻率：32.薄膜方块电阻3第3章操作方法51.引言52.测试线连接方式53.KEITHLE
2、Y 2400高压源表设置指南64.探针接触方式85.数据测试指南8第4章注意事项10附表I第1章 引言1. 目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。2. 应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01500M电阻率测试范围：10-5cm103cm样品大小：直径1cm精度：5%3. 测试设备 四探针生产厂商：广州四探针有限公司RTS-2型基本指标：间距：10.01mm；针间绝缘电阻: 1000M；机械游移率: 0.3；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径0.5mm；探针压力：516 牛顿(总力)；使用环境：温度:：232
3、； 相对湿度：65； 无高频干扰； 无强光直射；基本参数：Fsp=0.1探针间距：1.0mm 数字电压源表生产厂商：KEITHLEY 2400高压源表技术参数：准确度：0.012 功率：20w 型号：2400 品牌：吉时利 测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A） KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.主要特点及优点: 设计用于高速直流参数测度2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1V to 1100V, 20W to 1000W四象限工作0.012%的精确度，5 1/2 的分辨率可程控电流驱动和电压测
4、量钳位的6位线电阻测量 在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒 内置快速失败/通过测试比较器 可选接触式检查功能 数字I/O提供快速分选与机械手连接 GPIB, RS-232, 和触发式连接面板 TestPoint and LabVIEW驱动III第2章 原理简述Figure 21直线四探针法测试原理图V1234将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在 1、4 探针间通以电流 I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压 V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻： 1. 薄膜(厚度4mm)
5、电阻率：=RFD/SFW/SWFsp cm其中：D样品直径，单位：cm或mm，注意与探针间距S单位一致；S平均探针间距，单位：cm或mm，注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；W样品厚度，单位：cm，在F(W/S)中注意与S单位一致；Fsp探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；F(D/S)样品直径修正因子。当D时，F(D/S)=4.532，有限直径下的F(D/S)由Error! Reference source not found.查出：F(W/S)样品厚度修正因子。W/S0.4时，F(W/S)值由Error! Reference source not found.查出；R
6、源表测量电阻值，单位；2. 薄膜方块电阻R=RFD/SFW/SFsp /其中：D样品直径，单位：cm或mm，注意与探针间距S单位一致；S平均探针间距，单位：cm或mm，注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；W样品厚度，单位：cm，在F(W/S)中注意与S单位一致；Fsp探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；F(D/S)样品直径修正因子。当D时，F(D/S)=4.532，有限直径下的F(D/S)由Error! Reference source not found.查出：F(W/S)样品厚度修正因子。W/S0.4时，F(W/S)值由Error! Reference source
7、 not found.查出；R源表测量电阻值，单位；第3章 操作方法1. 引言电阻测量采用KEITHLEY 2400高压源表测量，参照4探针测试原理，源表设置应采用4线感应模式（4W AUTO）。具体设置参看Error! Reference source not found.。2. 测试线连接方式测试线采用4线连接方式。Figure 31 测试线连接方式3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南l 连接设备数据线，电源，开关。l 设备显示如Error! Reference source not found.所示。Figure 32 按 CONFIG 键l 按 CONFIG 键，设备显示如
8、Error! Reference source not found.所示。l 按 键，设备显示如Error! Reference source not found.所示。l 先按 键，选中 SENSE-MODE 模式，按 ENTER 键，设备显示如Error! Reference source not found.所示。Figure 33 按 键Figure 34 先按 键，选中 SENSE-MODE 模式，按 ENTER 键。l 先按 键，选中 4-WIRE 模式，按 ENTER 键，再按 EXIT 键，退出到测量窗口。l 如Error! Reference source not found
9、.所示，可看见上方4W AUTO字样，设置完成。Figure 35先按 键，选中 4-WIRE 模式，按 ENTER 键。Figure 36 设备最后显示模式，可看见上方4W AUTO。l 如有问题可以查看KEITHLEY 2400高压源表使用说明书 设备说明书下载。4. 探针接触方式探针接触应保持一定的压力，但不同材料的性质不同，有些材料的电阻率会随外加压力变化而改变，因而测试前要依据具体的测试材料而适当的改变探针压力。首先用粗调键旋转探针至样品表面，略有压力后停止。再细调一定距离，保证测量时表面读数稳定后即可。5. 数据测试指南待测试线连接无误，源表设置完成，探针加到样品表面后，可以开始测
10、量电阻。l 首先调节电阻测量量程。依据样品电阻率选择量程范围，如Error! Reference source not found.所示。Table 1 源表电阻测量量程选择 孙以材，半导体测试技术，冶金工业出版社，1984。样品电阻率范围（cm）通过样品电流0.01100 mA0.01-110 mA1-301mA30-1000100A1000-30002004.5322004.5314.5314.4621504.5314.5294.4611254.5304.5284.4601004.5284.5254.458764.5264.5204.455604.5214.5134.451514.5174
11、.5054.447384.5054.4854.439264.4704.4244.418254.47022.224.45420.004.43618.184.41716.674.39515.384.37214.284.34813.334.32212.504.29411.764.26511.114.23510.524.20410.004.171附表 2厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系W/S值F（W/S）W/S值F（W/S）W/S值F（W/S）W/S值F（W/S）0.4001.00000.5300.99620.6650.98580.8000.96630.4000.99970.5350.9960
12、0.6700.98530.8050.96540.4050.99960.5400.99570.6750.98470.8100.96440.4100.99960.5450.99550.6800.98410.8150.96350.4150.99950.5500,99520.6850.98350.8200.96260.4200.99940.5550.99490.6900.98290.8250.96160.4250.99930.5600.99460.6950.98230.8300.96070.4300.99930.5650.99430.7000.98170.8350.95970.4350.99920.5700
