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1、HS:84171000VHSF 600高温真空退火炉技术协议一、主要原理、用途、特点真空高温退火是在抽真空后充氮气保护状态下，利用电阻发热辐射加热的原理，通过热辐射传导到工件上，对工件进行热处理的设备。用途：、真空退火炉用途： 适用于软磁材料、硅钢片、电工纯铁、铜合金等材料的光亮退火 消除锻件、焊接件、冷冲压件、工件淬火后残余内应力，防止工件变形开裂。2、真空退火炉特点： 最高温度可达到1450 具备完善的报警功能，更先进的安全连锁保护系统 多重安全防暴措施，多种气体排放方式确保良好的工作环境 先进的自动化控制系统，通过可编程控制器PLC自动完成整个工艺过程,可配备计算机控制系统 完善的气氛控
2、制系统，满足各种工艺需要 高性能优质电气元件保证设备长期运行的稳定可靠性 低负荷加热器，可有效提高设备的使用寿命 配备自动点火装置、防回火装置等多种辅助装置，提高设备运行的安全性二、主要结构及组成 结构形式为卧式、侧门出料方式。其主要组成为：电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、进出料机构、底座、工作台、电阻加热装置、金属保温隔热屏、快速冷却系统、进电装置、晶闸管调压电源及电气控制系统等。三、主要功能 在抽真空后控制炉内压力和气氛的加热状态。可用铠装钨铼热电偶连续测温(01600)，并通过智能控温仪与设定程序相比较后，选择执行状态反馈给晶闸管电源，自动控制温度的高低及保温程序。四、技术参数
3、产品型号:VHSF 400x600x400炉体结构: 单室、卧式、水平前装料、全金属屏、电加热、快速冷却最大额定载重:200Kg有效均温区(LWH) 600mm00mm400mm工作环境:真空或惰性气氛保护最高温度:1450加热元件:钼带工作温度:：1350控温精度:1有效发热区均温性：:5设备总功率:90KW电源功率:70KW 进线电压 380V AC 3相 50-60Hz输入电压：75V 3相 50-60Hz极限真空度:510 -2mbar (空炉、冷态)压升率:1pa / h(空炉、冷态)温度上升速度:5 - 10/分钟冷却速度: 20-25/分钟 冷却方式：后置快速冷却发热区数：单区加
4、热元件: 钼带、 Y 型接法保温材料:4层钼屏,3层合金金属屏 1层不锈钢炉壳炉壳材料:双层水冷,内壁304 SS钢,，外壁Q235碳钢。壁厚10mm控制方式: Siemens S7-200 PLC控制,15英寸 触摸屏测温方式：0-1600 S型 铂铑热电偶2点测两加热室内温度 0-1300 N型 正极： 镍铬硅，负极： 镍硅 9点测温控温方式：手动控制及PLC智能化程序控制（按给定升温曲线升温）控温仪表： SHIMADEN FP-93 自动控制真空泵： 2X-70机械泵 抽速：70L/S ZJP-300罗茨泵 抽速：300L/S真空测量：ZDF复合真空计 测量范围：测量范围：连续测量（自动
5、模式）1105110-5Pa独立测量（手动模式）电阻单元1105110-1Pa；电离单元5110-5Pa真空规管：ZJ-52T电阻规 ZJ-27电离规保护气体类型：Ar2 或N2充气方式：水平方向充气和垂直方向充气气体纯度：99.99%压缩气体压力：0.9-13 bar冷却水循环量：20M3/h水压：0.15-0.2Mpa压缩空气的压力：0.6MPa 五、高温真空退火炉的构成5.1、炉壳及炉门高温真空退火炉为内热式，电阻加热，炉壳中安设不锈钢炉胆、钼带电热元件、金属隔热屏、炉床、料架、钼料框和其它部件。炉体为卧式单室水冷夹套结构，内壁采用10mm厚SUS304不锈钢，外壁Q235碳钢，双壁之间
6、有加强筋加固，炉壳内部抛光，炉壳焊接焊缝严密，满足水压试验，X射线或氦质谱仪检测的检漏技术要求。炉壳内壁温度低于150.炉体为圆柱形，圆筒两端与不锈钢法兰焊接，底部也为双层水冷半球封头。炉体前部开门，炉体与炉门为高颈、高压法兰连接。真空口位于炉体后部，采用高压法兰与真空机组连接；炉体设有观察孔，进气口，真空，燃烧口，防爆孔，电气接口等炉门是送入或者取出工件的通道，炉门通常是有法兰。密封圈、门板、转动铰链、预紧机构、水冷装置和观察孔等组成。炉门采用双层椭圆形炉门，中间通水冷却，炉门法兰上开有密封槽及密封圈密封，炉门开启为手动，炉门设有4套丝杆螺母加紧机构。圈齿式炉门与炉体采用铰链连接，手动操作，
7、左侧开启，气动锁紧、异型圈密封，即能封负压，也能封微正压；5.2、真空高温退火炉炉胆退火炉热场又称炉胆，由外至内分别由不锈钢圆筒、钼板不锈钢复合隔热屏、钼带发热体、钼支架、钼托盘等组成。加热器为圆筒状，前后门无加热器，单区发热，三角形连接方式。为了保证温度的均匀性，依靠加长加热器的长度予以弥补。发热材料为宽25mm钼带，三相钼笼网状式结构，围成一个有效加热内径600mm600mm的圆柱面发热体。整个加热器接成星形，圆筒形加热器的上端引出三个电极，电极用水冷却。隔热屏由前隔热屏、后隔热屏和侧面圆筒式隔热屏组成。后隔热屏和侧隔热屏都固定在炉胆不锈钢壳体内，前隔热屏固定在炉门上随炉门一起转动。侧隔热
8、屏固定在炉胆的不锈钢壳体内侧，7层隔热屏为同轴圆筒状，层与层间距10mm,有钼屏和不锈钢屏组成复合式隔热屏，钼屏厚度为0.3mm高温TZM合金金属片，不锈钢屏厚度为0.6mm，屏的各层间通过高温钼螺钉和陶瓷隔套隔开，最外层用不锈钢圆筒固定并直接悬挂在炉体上。前，后隔热屏与侧隔热屏采用阶梯式热场封闭方式，尽可能的减少热量散失由于加热炉的最高使用温度为1350，这里我们采用8层全金属隔热屏，其中内4层为钼层，3层为复合材料隔热层。1层不锈钢炉胆。按设计计算，第一层钼辐射屏与炉温相等，以后各辐射屏逐层降低，钼层每层降低250左右，不锈钢层每层降低150左右。热场炉壳为圆筒状，304不锈钢材质，是隔热
9、屏和发热体的载体。风扇系统及快速冷却装置： 为了能是温度均匀传递和提升，炉体炉内安装了风扇，通入惰性气体，风扇搅拌气体，气体均匀分布在炉内，提高炉内均温性。退火炉后门内安装快速冷却装置，快速冷却系统快速散热器、风扇、通风管道和通风板，冷却工件时候，轴流风机使得炉内其他在加热室通风管道内循环流通经过散热器冷却再导入加热室内冷却工件。6、 真空系统真空系统配置：2X-70旋片机械泵 ZJP-300罗茨泵 不锈钢波纹管道、真空管道。 本炉真空系统各管道上所有，旋片机械泵采用电磁阀门，防止返油。其他真空阀门采用气动挡板阀门,真空管道采用不锈钢和不锈钢波纹管，管道上设计有真空测量和氦气质谱仪检测接口。真
10、空管道和炉体之间加装除尘罐，防止烧结炉内的灰尘和油烟污染真空泵。真空测量：真空表、ZDF型系列电阻/电离复合真空计，ZJ-52T电阻规 ZJ-27电离规。手动充气阀门和放气阀门、安全阀门真空测量：真空测量有真空压力表和真空计算。真空压力表测量粗真空。真空计测量高真空。本套电炉配置指针真空压力表和ZDF型系列电阻/电离复合真空计。 5.充气系统、放气阀门和安全防爆阀门氮气充气阀门为气动充气阀门，向炉内冲入氮气，安装电接点压力表，可以设定充气压力，当充气压力达到设定值，自动停止充气。过充会报警。放气阀门：释放真空。防爆阀门：安全阀门，当炉内气氛大于设定值，自动打开，防止爆炸。 7、 降压变压器及调
11、压器降压变压器将380V电压降低到75V输入给真空退火炉内。高温真空退火炉电源由希曼顿 SCR-PAD26调功器和降压变压器组成。调功器是一种四层三端半导体器件，把它接在电源和负载中间，配上相应的触发控制电路板，就可以调整加到负载上的电压、电流和功率。“晶闸管调整器”主要用于各种电加热装置的加热功率调整，既可以“手动”调整，又可以和电动调节仪表、智能调节仪表、PLC以及计算机控制系统配合，实现对加热温度的恒值或程序控制。8、 电气控制系统8.1、电气控制柜功能：具有手动及自动两种控制方式，采用并联方式，两种方式可自动装换。1)自动方式使用温度控制仪完成控温操作。使用这种方式，用户只需调用相应的
12、工艺温度曲线即可。可通过触摸屏调用，也可在温度控制仪上直接编制控温曲线。2)手动方式使用面板控制器完成控温操作。使用这种方式，用户只需调节面板控制器即可本设备采用触控屏，主面板上全方位显示炉内工作状态，各控制点的运行状态，动态方式演示炉内升温状况。全面记录各种重要数据，并实时存档以配调用。能够记录温度、进线电压、功率、氢气源压力、炉内气体压力、真空度、冷却水压力、冷却水出口温度、氢气露点等。并且工业触控屏上设有所有控制点的手动控制按钮。 本设备装有先进的智能化测温、控温装置来测控炉体高温区温度，以确保产品质量和炉堂安全。仪表采用日本岛电FP23，.加热过程（升温、保温过程）可全部由程序自动完成
13、，操作者只需在开机前把存储好的升温工艺曲线调出来投入运行即可，系统将全方位显示和记录加热过程的当前温度状况。 系统配有以PLC为核心的全方位水、电、气保护及报警装置，确保设备只有在各方面条件同时具备的情况下方能开机。如炉温出现超温超调、冷却水欠水、冷却水温、传感器故障、保护气体流量不足、过电流、过电压、三相进线缺相、欠压、超压、保护气体欠流量保护、等现象，立即发出声光报警，停止加热，提醒操作者及时处理现场，确保系统安全。报警保护系统：当设备工作异常时发出声，光报警信号并执行相应的保护程序。可对以下的故障进行报警：1. 控温过程中气体压力异常报警，同时面板流程图有指示。2. 控温过程中炉内真空度
14、异常报警，同时面板流程图有指示。3. 控温过程中水流量异常报警，同时面板流程图有指示。4. 炉体超温有报警，同时面板流程图有指示。5. 设备工作异常后会执行以下的保护程序：1)炉门为开启状态，抽真空操作不能进行。2)设定真空度未达到要求不能进行温度控制。3)控温过程中如果发生水流量不足报警，控温停止。4)控温过程中如果发生真空度异常报警，控温停止。5)控温或充气操作处于工作状态下，炉门不能打开。6、无纸记录仪对各工艺参数（温度、真空度、压力，位移）实现动态显示、记录、存储、生成文档、下载、打印。8.2、电气控制系统组成供电及电气控制柜：拼装式组合机柜低压电气元件：断路器、接触器、接近开关、中间继电器、按钮、报警器和指示灯等。降压变压器：70KVA。 输入380V 输入炉体电压75V晶闸管加热调功器： XIMANDUN SCR-PAD150A可编程序控制器（PLC）： Siemens S7-200 带触摸屏：15英寸 真空测量仪：成都正华ZDF复合真空计温度控制仪表：SHIMADEN FP-93
