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1、HK000L8P_Analyst Presentation,CONFIDENTIAL NOT FOR DISTRIBUTION OR DISCUSSION (IN WHOLE OR IN PART OR IN SUMMARY), INCLUDING DISTRIBUTION TO OR DISCUSSION WITH ANY PROSPECTIVE INVESTOR, THE MEDIA, PRESS OR WIRE SERVICES,太阳能电池 工艺培训,太阳能电池概述,太阳能电池是一种有效地吸收太阳能辐射并使之转化成电能的半导体器件 应用材料为 单晶硅，多晶硅，带状硅，薄膜材料 利用多晶硅
2、生产工艺可以使电池效率达到 15% - 16%,RENA 清洗工艺 InTex InOx InOxSide,生产太阳能电池流程,基本流程:,腐 蚀 绒 面,POCl3-掺杂/扩散,去磷硅玻璃,切边,丝 网 印 刷 AI/Ag,丝 网 印 刷 Al,丝 网 印 刷 Ag,烧结,PECVD SiNx,制备绒面的目的： 减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。 陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。,腐蚀绒面 InTex,降低表面反射，提高光电转换效率 浓度: HF 125g/L， HNO3 380g/L 温度
3、: 6 8 C (chiller) 时间: 2 分钟,清洗: 水洗: DI H2O 20 C 碱洗: KOH / NaOH 5% , 20 C , 0.5 分钟 酸洗: HF 5% ,HCL 10% ,20 C , 1 分钟,1: Si + 4HNO3 = SiO2 + 4NO2 + 2H2O 2: SiO2 + 4HF = SiF4 + 2H2O 3: SiF4 + HF= H2SiF6 4: NO2 + H2O = HNO3 + HNO2 5: Si + HNO2 = SiO2 + NO +H2O 6: HNO3 + NO + H2O = HNO2,反应方程式,制绒工序工艺要求,制绒后的片
4、子，不容许用手摸片子的表片。收片员工只允许接触片子的边缘进行装片。并且要勤换手套，避免扩散后出现脏片！ 认真执行每批片子的腐蚀深度的检测工作，腐蚀深度是衡量制绒工艺的重要指标。所以希望上班的测片员工认真完成这项工作。A,要求每批测量4片。B,每次放测量片时，把握均衡原则。如，第一批我们把测试片放在1.3.5.7道，那下一批我们要求将测试片放在2.4.6.8道。这样我们也就可以检测设备稳定性以及溶液的均匀性。 生产没有充足的片子时，工艺对产线员工的要求。A,如果有一个小时以上的停机，我们要求要将刻蚀槽的药液排到tank，减少药液的挥发。B,停机后没半小时用水枪冲洗碱槽喷淋，以防结晶盐堵塞喷淋。C
5、,停机一个小时以上，要在开启机器生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印！,扩散,太阳电池制造的核心工序,扩散装置示意图,太阳电池磷扩散方法,三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 喷涂磷酸水溶液后链式扩散 本公司目前采用的是第一种方法和第二种方法。,POCl3磷扩散原理,POCl3在高温下与氧气反应生成五氧化二磷（P2O5）和氯气（CL2)，其反应式如下： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：,影响扩散的因素,管内气体中杂质源的浓度 扩散温度 扩散时间,POCl3 简介,POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具
6、有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2，沸点107，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 遇水蒸汽分解成磷酸和氯化氢，可致磷中毒，对皮肤、粘膜有刺激作用，短期内吸入大量蒸汽，可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎；严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、心力衰竭等危害。 接触皮肤应立即脱去被污染的衣服，要先用纸、棉花等将液体吸去，然后用大量流动的清水冲洗至少15分钟，就医 。,检验标准,扩散方块电阻控制在45-55/之间。同一炉扩散方块电阻不均匀度10%，同一硅片扩散方块电阻不均匀度5%。 表面无明显蓝点，手印以及因其他原因引起的污染。,
7、刻蚀 InOxSide,切除硅片边缘过多的参杂部分。激光切边，等离子切边，腐蚀切边,腐蚀溶液: HNO3 65% , HF 49% , H2SO4 95% 温度: 6 8 C 时间: 1.5 2 分钟 清洗: 水洗: DI H2O 碱洗: KOH 5% ，20 C 酸洗: HF 5% ， 20 C,腐蚀表面扩散层 InOx,酸液腐蚀: HF 5% - 7%，2 min 10 - 20 C 清洗: 水洗 DI H2O，6 min 20 C,1: SiO2 + 4HF = SiF4 + 2H2O 3: SiF4 + HF= H2SiF6,去磷硅玻璃主要反应方程式,去磷硅工序工艺要求,去磷硅后的片子
8、，不允许用手摸片子的表面。收片员工只容许接触片子的边缘进行装片。并且要勤换手套，避免PECVD后出现脏片！ 认真执行每批片子的腐蚀重量和绝缘电阻的检测工作，绝缘电阻是衡量后清洗工艺的重要指标。所以希望上班的测片员工认真完成这项工作。A,要求每批测量4片。B,每次放测量片时，把握均衡原则。如，第一批我们把测试片放在1.3.5.7道，那下一批我们要求将测试片放在2.4.6.8道。这样我们也就可以检测设备稳定性以及溶液的均匀性。 生产没有充足的片子时，工艺对产线员工的要求。A,如果有一个小时以上的停机，我们要求要将刻蚀槽的药液排到tank，减少药液的挥发。B,停机后没半小时用水枪冲洗碱槽喷淋，以防结
9、晶盐堵塞喷淋。 C,停机一个小时以上，要在开启机器生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印！,PECVD工艺培训,PECVD的原理,目录,PECVD的作用,PECVD：Plasma EnhanceChemical Vapour Deposition 等离子增强化学气相沉积,定义,等离子体：由于物质分子热运动加剧，相互间 的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就 会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子 和中性粒子组成的混合物。,PECVD的作用,在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。其还具有卓越的抗氧 化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽 扩散的能力
10、；它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢 腐蚀外，其它酸与它基本不起作用。,PECVD的作用,减少入射光的反射,PECVD的作用,钝化太阳电池,在SiN减反射膜中存在大量的H，在烧结过程中会钝化晶体内部悬挂键。,PECVD的原理,PECVD的原理,PECVD的原理,在左图中示出了四分之一波长减反射膜的原理。从第二个界面返回到第一个界面的反射光与从第一个界面的反射光相位相差180度，所以前者在一定程度上抵消了后者。即n1d1=/4,PECVD颜色和膜厚的关系,丝网印刷工艺培训,二 丝网印刷的工作流程,上料-第一道印刷-烘箱-第二道印刷-烘箱-烘箱-第三道印刷-烧结-下料,四 浆料的使用,使
11、用前应将银浆、银铝浆放置在滚筒搅拌机上搅拌24小时。铝浆放到JB600D拌机上搅拌30分钟，转速为50转/每分。 目前工艺要求： 第一道印刷银铝浆型号为ferro3398作用：具有良好的欧姆接触特性和焊接性能，长期附着性能很好。 作用：收集载流子。,四 浆料的使用,第三道印刷银浆按照硅片的不同类型使用不同的型号单晶为ferro33462、作用：收集电流。 烘干炉、烧结炉的作用：烘干是为了去除浆料中的有质部分；烧结是为了让上下电极形成欧姆接触，提高转换效率。,印刷工序工艺要求,严格按照工艺要求的印刷重量进行生产。如果更换网板刮条后印刷重量不符工艺要求，要及时向当班的工艺技术员反应，将重量调至达标
12、，才能进行生产。 印刷不能偏移，不能出现印刷不全。 正面不允许有两处断线。 不允许浆料污染到片子。 生产操作过程中严格要求生产要求，不允许不带手套去拿片子。,烧结,烧结的目的,背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂，它可以减少金属与硅交接处的少子复合，从而提高开路电压和短路电流，改善对红外线的响应。,相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重要很多，对电池片电性能影响主要表现在串联电阻和并联电阻，即FF的变化。,干燥硅片上的浆料，燃尽浆料的有机组分，使浆料和硅片形 成良好的欧姆接触。,烧结对电池片的影响,质量要求,烧结后的氮化硅表面颜色应该均匀，无明显的色差. 背场无铝珠 电池最大弯曲度不超过1mm,测试,I-V曲线专业术语 串联电阻（Rs）：系指太阳电池内部的与P-N结串联的电阻，它是由半导体材料体电阻、薄层电阻、电极接触电阻等组成 并联电阻（Rsh）：系指太阳能电池内部的、跨连在电池两端的等效电阻 填充因子（FF）：指太阳能电池的最大功率与开路电压和短路电流的乘积之比 转换效率（）：指受光照太阳电池的最大功率与入射到该太阳电池上的全部辐射功率的百分比,太阳能电池的结构,Thanks,
