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1、如何向划片去离子水加CO2我们用DAD321划片，最近有些品种的芯片划片时清洗不干净，因此想加CO2试试。请问如何加？加多少？哪里有这样的设备？加主要是防的,另外的设置太小了，酸性太高了，小心切割的时候遇到化物比较多，并且无保护层的产品，会腐蚀加co2只能是防静电，和清洗没关系的，看看你们的DI water有没有问题，还有水流量大小。首先确保所用的纯水质量,一般要求除掉盐分制成电阻率16M以上的水，要求高的需要18M以上，不含任何杂质的理论纯水电阻率在18.24M。水主要靠溶解在水中的盐离子导电，水越纯电阻率越高，导电性越差，高速冲击下越容易产生静电。* b6 q$ b0 ! 7 v& 0 s
2、静电对于芯片加工的危害主要表现在两方面：1是静电直接放电损伤芯片, 静电积累放电造成放电氧化或击穿;2是硅屑等微粒产生静电吸附造成芯片表面不容易清洗干净。3 _3 q! N. T u0 1 o8 W! Q8 CO2加入纯水可降低纯水电阻率，防止静电产生。烘干后，CO2变成气体挥发掉，芯片表面保持纯净,但是CO2过量加入水中会产生酸性腐蚀，影响刀片寿命，因此必须严格控制CO2的加入量。8 L) Q: F# |& D0 一般切片过程，将水电阻率控制在0.5-1M，低于0.4容易腐蚀刀片，同时注意0.5的用气量是1.0的5倍,清洗时控制在0.2-0.5M。% : T0 ; ?8 ) E所以如何控制电
3、阻率，是在保证效果的情况下尽量高,清洗电阻率通常控制在0.2-0.5，看效果也是电阻率设置越高越省,气纯度99.95以上，几十块一瓶，一般可以用半个月到1个月。$ I/ m! |- G% t: K8 L9 r2.水温对刀蛮有影响的吧，刀痕会有深浅；还有氧化问题。对沾污可能没有直接关系，搂住的温度和我们差不多，机器速度也差不多，不过水压和我们比好像低了点（记不清楚了）。5 z7 A/ m ?. q; 9 D* o uDI Water和CO2混合使用在DIe Saw制程。4 o/ M9 X3 0 u k7 R主要是降低温度，减少水分子表面张力，增加刀片的寿命！$ P I6 O% a+ Q: n3
4、_1 U0 x B2 j+ b7 Z我是Diamaflow产品的销售，它其实和Di Water,CO2一起使用！效果是比较理想的！1 V+ u, t7 K8 g- q7 2 e- F! k5 m! f0 F纯水高阻抗会引起的静电效应问题！加入CO2，可降低电阻率，同时也% T- Y5 e. l6 M# 5 H会产生酸性。要根据实际情况来设置DI Water的水阻值！可以有效防止wafer表面硅屑沾污主要是为了产品不受到或者少受到静电影响其他也没什么大的作用，其实不加也没什么问题，做好工作台接地，设备接地，人员防护装备等，对现在中国加工的以上的产品没有任何影响，: O/ j( i+ Z/ D0
5、9 |$ O, p- U6 . e6 j+ N1 KI7 G加大水压水流量调整好设备切割喷水角度控制切割水温度才是最好最省钱最直接的解决8 # k9 D& O% n8 i G# T2 5 % x: o1 f: * W- NN切割的纯水电阻值多少才合适请教大家切割的纯水电阻值多少才合适,是越大越好吗.我司的纯水电阻值达到14兆了，对晶圆切割和刀片有不良影响吗.近期切割的园片有氧化现象,跟水的电阻值有关吗,还与什么有关?产生氧化的原因可能是晶片上的水分没吹干净，不知道你们无尘车间的湿温管控如何？纯水电阻国家标准是不低于10M.cm。有一些弱酸性，接近中性。2 y! M1 A: : F是普通水通过一
6、系列渗透后制成，目的是去除水中的金属离子等杂质。一般切割的纯水要求10 （在未加入co2) 的结果，加入co2后才能去切割，阻值在0.2-1.0 左右为比较合适，你反映的问题有可能是在切割过程中，水量不足，导致硅粉沉积在铝垫上的结果，加上清洗机的清洗效果不好，所以检查为氧化的问题，所以应该检查的问题较多，应该每一步骤进行分析及追查我们切割的产品现在有时有轻微氧化,在水质4兆多是没氧化,在水质达到8兆多时又有氧化,切割时间也才20分钟啊,片厚500um.氧化的问题真的烦人啊,难道真的是与水有关吗.但问过搞品质的又说应是wafer在流线时没弄干净.有的公司会用到发泡机,就是在die saw 前往D
7、I water 中混入二氧化碳,以降低水阻值.6 r1 N- Q6 t u) R2 k. 未加入二氧化碳的DI water 一般要求水阻值大于10M欧姆,加入二氧化碳后的DI water 水阻值一般要求在0.1-1.0M欧姆.水处理常见问题集水处理常见问题集 + O$ m7 p m/ o3 R8 Z水处理中经常碰到一些问题，稍不留心又忽略，下面小弟特把这些问题收集整理，以供有兴趣的你学习。3 u( f! P# I0 M4 b9 ?( S8 v l什么是水的硬度? ) J9 |2 X3 d Hx: l$ b水中有些金属阳离子，同一些阴离子结合在一起，在水被加热的过程中，由于蒸发浓缩，容易形成水垢
8、，附着在受热面上而影响热传导，我们抒水中这些金属离子的总浓度称为水的硬度。如在天然水中最常见的金属离子是钙离子（Ca+）和镁离子（Mg+），它与水中的阴离子如碳酸根离子（CO3-）、碳酸氢根离子（HCO3-）、硫酸根离子（SO4-）、氯离子（CL-）、以及硝酸根离子（NO3-）等结合在一起，形成钙镁的碳酸盐、碳酸氢盐、硫酸盐、氯化物、以及硝酸盐等硬度。水中的铁、锰、钭等金属离子也会形成硬度，但由于它们在天然水中的含量很少，可以略去不计。因此，通常就把Ca+、Mg+的总浓度看作水的硬度。水的硬度对锅炉用水的影响很大，因此，应根据各种不同参数的锅炉对水质的要求对水进行软化或除盐处理。% 3 _0
9、P7 n3 l6 R* J i+ T, C+ Q) H* u3 Q( ?. r水的硬度有哪几种？ + + ; 1 O+ i6 L4 e* F# F/ e+ 1 d) m7 f9 M6 J) wk$ , f水的硬度分为碳酸盐硬度和非碳酸盐硬度两种。, X g; 4 R3 c9 _* Z0 p碳酸盐硬度0 s: N# Q* m. G; o5 , L: 主要是由钙、镁的碳酸氢盐Ca(HCO3)2、Mg(HCO3)2所形成的硬度，还有# A1 S B C 6 N9 |少量的碳酸盐硬度。碳酸氢盐硬度经加热之后分解成沉淀物从水中除去，故亦称为暂时硬度。7 C1 n5 aw H O( P k7 C9 F*
10、Z5 非碳酸盐硬度5 Y1 ) s2 L8 Q3 l% m主要是由钙镁的硫酸盐、氯化物和硝酸盐等盐类所形成的硬度。这类硬度不能用加热分解的方法除去，故也称为永久硬度，如CaSO4、MgSO4、CaCl2、MgCl2、Ca(NO3)2、Mg(NO3)2等。9 Q0 lb- 1 u碳酸盐硬度和非碳酸盐硬度之和称为总硬度。3 n) a7 e8 m2 Y/ P2 h/ a水中Ca+的含量称为钙硬度。. _- W, RS. 6 j4 U) ?水中Mg+的含量称为镁硬度。 8 x+ s6 K8 J* v6 l3 o* K: c当水的总硬度小于总碱度时，它们之差，称为负硬度。 z% N( M; g3 O:
11、J- h2 D* A3 D% h % w, B什么是半逆流再生? d G7 O+ l: n& i( c+ m! i5 x- p, w6 d2 ! ( d, B/ ?: T* L7 V8 k半逆流再生是四床五塔式除盐系统，离子交换处理的工艺流程为：阳床-脱碳-阴床-阳床-阴床。阴、阳树脂均为强碱、强酸性交换树脂。第一台阳床及阴床装有较多的树脂，可基本上除去所有的离子；第二台阳床及阴床的树脂较少，起精制作用。再生时，酸、碱再生液分别先进入第二台阴、阳床，再串联至第一台的阴、阳床进行再生。各台交换器均采用顺流再生，操作较简便。此法具有分层再生的意思，由于树脂失效时，其型态排列阳床为：Ca型-Mg型-
12、Na型-H型，当再生时按其反方向进行，即H型-Na型-Mg型-Ca型，这样的再生效率较高，因为H置换出Na，又可以继而置换出Ca、Mg。因此，大大减轻屯由H来置换的负担，取得了逆流再生相似的效益，故称为半逆流再生。此法适用于含盐量较高的除盐水处理。便投资较大，设备较多。 8 + - r $ y8 2 k9 Y8 q. N5 K5 _ K8 y, p2 j4 何谓离子水? 1 y* T$ e/ T# x / S$ D, |+ S , l3 U5 I, r; 6 z2 o2 w n何谓离子水？ 健康离子水即电解还原碱性离子水的简称.它是适合人体机能的最佳饮用水，它能帮助排除人体内的各种有害毒素，中
13、和体内的酸性物质，调节人体的酸碱度，使之维持在弱碱性的健康体质，从而可以预防各类疾病的产生，保障人体的健康，活力，长寿，离子水的基本原理是：自来水通过高品质的过滤系统，去除水中的氯，有害菌类及铁锈等杂质，再经过电解生成碱性离子水和酸性离子水，并把大水分子团分割成小水分子团，增强了水的活性、渗透力及溶解力。 1 B! W5 c/ G- v d8 Q2 a* A7 i6 L4 H z何谓水的电阻率? : F6 L9 Z2 + f/ J# O2 p! x9 K1 - h0 q$ ?( T3 z在测定水的导电性时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。根据欧姆定律，在水
14、温一定的情况下，水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比，如下式：R=L/F 式中-电阻率，或称比电阴。电阴的单位为欧姆（欧，代号），或用微欧（），1等于1000000；电阻率的国际制（SI）单位为欧米（m ）。如果电极的截面积F做成1cm，两电极间的距离L为1cm，那么电阻值就等于电阻率。水的电阻率的大小，与水中含盐量的大小、水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。因此，纯净的水电阻率很大，超纯水电阻率就更大。水越纯，电阻率越大。5 z4 ( |8 e+ X6 u9 Q( p! Z; E; J! Q; 什么是水中的悬浮物质？ 7 2 p0 ?8 ?! u
15、0 O3 q( N3 d. W1 w. W( Q, z7 z$ O: G3 ty: i水中的悬浮物质是颗粒直径约在0.0001mm以上的颗粒。肉眼可见。这些微粒主要是由泥沙、沾土、原生动物、藻类、细菌、病毒、以及高分子有机物等组成，常常悬浮在水流之中，水产生的浑蚀现象，也都是由此类物质所造成。这些微粒很不稳定，可以通过沉淀和过滤而除去。水在静置的时候，重的微粒（主要是砂子和粘土一类的无机物质）会沉下来。轻的微粒（主要是动植物及其残骸的一类有机化合物）会浮于水面上，用过滤等分离方法可以除去。悬浮物是造成浊度、色度、气味的主要来源。它们在水中也不稳定，往往随着季节、地区的不同而变化。9 N6 Z1 T! I u0 E; Z# Q7 d) d7 p- i R0 J+ L$ m4 3 O1 y什么是水中的胶体物质？ 6 q0 0 _6 M1 A, b: j/ a9 4 L- M# h- a: m! Y水中的胶体物质是指直径在0.000
