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1、振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为 开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时 ,曲线延时 下面分别介绍1 Laser On Delay （开光延时）下面称 LOnDa. LOnD的作用原理和发生时间LOnD 发生在开光时当振镜到达指定位置后 开始Mark运动，但并不同时出光 而是延时LOnD后出光示意图图1 开光延时这个值可以设为负值 当设置为负值 表示当振镜到达指定位置后 先出光 LOnD后再开始Mark运动b. 设置值的单位这个值 在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）但是 在Raylase中 此值的绝对值不能低于50, 在 Scanlab 无此限制c. 设置过大或者
2、过小时的情形设置LOnD 过小时 可以看到开光处产生了爆点 (产生此情形的原因是 由于振镜开始运动速度低 而LOnD又过小 这时候出光 导致激光在开始处聚集 导致爆点)图2 开光延时太小设置LOnD 过大时 可以看到开光处有一部分少刻了 (产生此情形的原因是 由于振镜开始运动 而LOnD过大 过了很久再出光 导致激光刻蚀时 已经离开开始点很远 导致有一部分少刻了)图3 开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关 一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些2 Laser Off Delay （关光延时）下面称 LOffDa. LOffD的作用原理和发生时间LOffD 发
3、生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后 要结束Mark运动，但并不同时关光 而是延时LOffD后关光示意图图4 关光延时这个值可以设为负值 当设置为负值 表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候 已经将光关闭 即提前关光b. 设置值的单位这个值 在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）但是 在Raylase中 此值的绝对值不能低于50, 在 Scanlab 无此限制c. 设置过大或者过小时的情形设置LOffD 过小时 可以看到关光处少刻了一段 (产生此情形的原因是 由于振镜结束 运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位 但实际还未到到位, 而LOffD又过小 这时候关光
4、导致激光在结束处少刻一段)图5 关光延时太小设置LOffD 过大时 可以看到关光处产生爆点 (产生此情形的原因是 由于振镜结束 运动时,振镜已经到位 , 而LOffD又过大 这时候还未关光 导致激光在结束处产生爆点)图6 关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关 一般扫描速度越大则LOffD也需要越大3 Jump Delay （跳转延时,快跳延时）下面称 JumpD a. JumpD的作用原理和发生时间JumpD 发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后 延时JumpD的时间 再开始别的运动 示意图图7 跳转延时这个值不可以设为负值 b. 设置值的单位这个值 在Scanlab中 单位为10
5、微妙（10us） 即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中 单位为微妙（us） 即设置1 代表1us 但是最小值是50 c. 设置过大或者过小时的情形设置JumpD 过小时 可以看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生 (产生此情形的原因是 由于振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳定, 而JumpD又过小 这时候下一段运动时 振镜还在不稳定状态 导致此现象发生)图8 跳转延时太小设置JumpD 过大时 不会有不稳定的现象产生 但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关 一般的如果振镜跳转速度越大 则JumpD也需要越大4 Mark Delay （扫描延时）下
6、面称 MarkD a. MarkD的作用原理和发生时间MarkD 发生的条件是: 在Mark指令后 下一条是Jump指令 它在Mark指令后会产生MarkD, 即振镜刻蚀到指定位置后 延时MarkD的时间 再开始跳转指令 连续的Mark指令之间不会产生MarkD 示意图图9 扫描延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值 在Scanlab中 单位为10微妙（10us） 即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中 单位为微妙（us） 即设置1 代表1us 但是最小值是50 c. 设置过大或者过小时的情形设置MarkD 太小时 可以看到还没到刻蚀的终点位置 就直接开始下一段Jump
7、运动了 导致关光处出现拐角 (产生此情形的原因是 由于振镜理论位置和实际位置存在时间差, 理论上运动已经到位 但实际还未到位, 而MarkD又过小 这时候下一段Jump运动已经开始 导致此现象发生)图10 扫描延时太小设置MarkD 过大时 不会有不稳定的现象产生 但是会影响效率MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关 一般的如果振镜扫描速度越大 则MarkD也需要越大5. Poly Delay （拐角延时, 转角延时,曲线延时）下面称 PolyDa. PolyD的作用原理和发生时间PolyD 发生连续Mark指令之间 即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动,
8、 期间 激光不会关闭示意图图11 曲线延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值 在Scanlab中 单位为10微妙（10us） 即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中 单位为微妙（us） 即设置1 代表1us 可设0 ,但是设置 比0大的值必须从50开始c. 设置过大或者过小时的情形设置PolyD 过小时 可以看到在两段连续的Mark运动之间 拐角处有圆弧过渡 导致和实际需求图形不符 (产生此情形的原因是 由于前一段Mark结束 振镜电机还未到位, 而MarkD又过小 这时候下一段Mark时 振镜只能从走捷径路径 导致此现象发生)图12 PolyD太小设置PolyD 过大
9、时 可以看到在两段连续的Mark运动之间 拐角处有爆点 (产生此情形的原因是 由于前一段Mark结束 振镜电机已经到位, 而PolyD又过大, 这时候下一段Mark还未开始 但是激光仍然在出 导致爆点产生)图12 PolyD太大 PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关 一般的如果振镜扫描速度越大 拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理 我们可以得出如下 延时设置必须遵循的规则1. LOffD LOnD (关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题 )2. MarkD LOffD LOnD (扫描延时必须大于关光延时和开光延时的差 ,否则在进行短距离跳转时再刻蚀时会出现问题)3. 延时的设置要根据 激光的特性(频率,能量,首脉冲等),扫描速度和快跳的速度,再结合上述延时设置不当时出现的典型情形,综合考虑 力求达到既能满足刻蚀图形不变形, 效率又高的最佳状态.
