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1、Desmear-PTH1罗门斯电子材料上海分公司 化學沉銅工藝操作規范2011.3苏州固宝得电子有限公司Desmear-PTH2目錄章節 內容 頁1 化學沉銅工藝流程簡介 22 工藝目的 33 控制條件 44 化學品補充 55 配制槽液程序及用量 6-96 化學沉銅工藝生産綫線開工規則 10-127 化學沉銅工藝生産綫線停工規則 138 化學沉銅工藝生產線之停電或機械故障處理方法 149 化學沉銅工藝生產線之保養事項及程序 15-1610 化學沉銅工藝生產線藥品用量準備 1711 品質檢定方法及標準 18-2012 問題分析程序及原因 21-23Desmear-PTH31) 化學沉銅工藝流程簡
2、介膨鬆ML Sweller除膠KMnO4預中和（硫酸、雙氧水）中和MLB 216-5清潔3325微蝕NaPS預浸C/P 404活化CAT 44速化19E化學沉銅C/P 880Desmear-PTH42) 工藝目的2.1 ML Sweller - 膨鬆及調整樹脂表面使易于被KMnO4蝕刻.2.2 除膠劑 - 通過KMnO4對樹脂之蝕刻以清除鑽孔留下之膠渣及粗化孔壁.2.3 中和劑MLB 216-5 - 清除KMnO4殘留下之MnO2確保孔壁為最佳狀態.2.4.清潔劑 3325 - 調整孔壁的表面使催化劑易于吸附.2.5.微蝕 NaPS - 蝕刻孔壁內層及板面的銅層, 具有良好結合條件.2.6.預
3、浸劑 CP 404 - 調整銅面及保護催化缸槽液.2.7.催化劑 CAT 44 - 是一種膠體狀的錫化鈀, 它可以使沒有導電性能的表面, 具有金屬導電性能及催化沉銅反應.2.8.化學銅 CP 880 - 通過催化鈀之作用使在孔壁及銅面沉積一層細緻的銅層以便加厚鍍銅.Desmear-PTH53 ) 控制條件工序 控制項目 控制範圍 標准及分析頻率 温度 () 時間 (min) 打氣 過濾膨鬆劑ML Sweller ML Sweller 200-250ml/l 225ml/l(2次/天) 70-75-80 6-8 不要 要高錳酸鉀 40 80g/l 60 g/l (2次/天)錳酸鉀 20g/l換缸
4、(1次/天)20-22-25 6 不要 要清潔劑3325強度銅含量PH值80-120%20g/l換缸(1次/班) 35micro-inch(1次/班)25-28-32 1.5 要 要預浸劑404比重銅含量1.12 - 1.15-1.1720 g/l 600L清潔劑3325 3325 10%60公升 兩周换槽Cu 1000ppm 600L過硫酸鈉 60g/l 36公斤微蝕NaPS 硫酸 (98%) 55g/L 18公升 Cu 20 g/l 600L預浸劑404 C/P 404 250g/l 150公斤 30万呎Cu1500ppm 600LC/P 404 270g/l 162公斤活化劑44 CAT
5、 44 16ml/L 9.6公升两年Cu2000ppm 600L加速剂19E 19E 0.02N 600LC/P 880A 10ml/L 16.8公升C/P 880E 45ml/L 75.6公升C/P 880C 25ml/L 42公升NaOH(345g/l) 28ml/L47公升化學沉銅880HCHO(250g/l) 15ml/L25.2公升每週倒缸1次半年换缸1次1280L+400L共1680LDesmear-PTH85) 配制槽液程序及用量(續 )5.2 新槽的清潔處理方法a. 清理槽內的固體雜物，用碎布抹去槽壁的灰塵及污物b. 注滿清水，開啟所有循環過濾泵加熱至最高處理溫度, 检查是否漏
6、水备注: 開啟任何循環泵和過濾泵前, 安装好过滤袋 和过滤芯c. 加入3-5的NaOH 溶液浸泡 4-8小時，並開啓循環泵d. 用自來水衝洗幹凈e. 加入自來水循環攪拌2-4小時后排水f. 加入3-5%的H2SO4（98）溶液浸泡4-8小時，並開啓循環泵g. 取掉濾芯后用自來水衝洗幹凈h. 加入自來水循環攪拌2-4小時后排水i. 用純水衝洗幹凈j. 加入純水循環攪拌2-4小時后排放準備配藥水Desmear-PTH95) 配制槽液程序及用量(續)5.3. 配制槽液程序5.3.1 膨鬆劑 ML Swellera. 加入半缸純水於槽中.b. 加入過濾蕊於過濾泵中.c. 加入 135 公升膨鬆劑 ML
7、 Swellerd. 開動過濾泵.e. 補充足夠水位.f. 開啟加熱器,將溫度提升至 75 C.5.3.2 除膠缸a. 加入 75%缸純水於槽中 .b. 加熱至 60 - 65 C.c. 開動攪拌器.d. 加入 127 公斤高錳酸鉀 (KMnO 4) ,緩慢地加入槽中 .e. 補充足夠水位.f. 提升溫度至 78 C.g. 抽取樣本到實驗室分析當量,高錳酸鉀及錳酸鉀.h. 調校含量於 控制范圍之內.5.3.3 預中和a. 加入 3/4 缸純水於槽中.b. 加入 12 公升硫酸.c. 加入 12 公升雙氧水.d. 攪拌至完全均勻.e. 補充足夠水位.f. 放入濾蕊於過濾泵中.g. 開動濾泵.h.
8、 開啟加熱器,將溫度提升至 28 C.5.3.4. 中和劑 MLB 216-5a. 加入 3/4 缸純水於槽中.b. 加入 12 公升硫酸.c. 加入 30 公升中和劑 MLB 216-5,.d. 攪拌至完全均勻.e. 補充足夠水位.f. 放入濾蕊於過濾泵中.g. 開動濾泵.h. 開啟加熱器,將溫度提升至 22 C.5) 配制槽液程序及用量(續)5.3.5.清潔劑 3325Desmear-PTH10a. 加入半缸純水於缸中.b. 加入過濾蕊於濾泵中.c. 開動過濾泵.d. 加入 60 公升清潔劑 3325e. 補充足水位.f. 開動發熱器,直至加溫到 60C.5.3.6. 微蝕缸 NaPS a
9、. 保留 10舊液.b. 加入 3/4 份缸水.c. 加入 18 公升 硫酸.d. 攪拌,然後加入 48 公斤 NaPSe. 開動打氣,直至完全溶解.f. 補充足水位 及開動循環泵.5.3.7. 預浸劑 C/P 404a. 加入 3/4 純水於槽中.b. 加入 150 公斤 C/P 404 粉.c. 攪拌溶液. 直至所有 C/P 404 粉 完全溶解.d. 開動過濾泵.e. 補充水位.5.3.8. 活化劑 CAT 44a. 加入 3/4 純水於槽中.b. 加入 162 公斤 C/P 404 粉.c. 攪拌溶液,及加溫至 42 - 44 C.d. 直至所有 C/P 404 粉 完全溶解.e. 更
10、換濾蕊及開動過濾泵.f. 補充水位.g. 加入 9.6 公升 活化劑 CAT 44, 并 攪勻.5.3.9. 沉銅水 CP880 a. 加入 2/3 缸純水於槽中,開啟打氣.b. 加入 75.6 公升 C/P 880Ec. 開啟打氣,待 2-5 分鐘 .d. 加入 16.8 公升 C/P 880A 攪拌 5 分鐘.e. 加入 42 公升 C/P880C 攪拌 5 分鐘.f. 加入 47 公升 NaOH(345g/l)及 15 公升 HCHO(250g/l).g. 補充水位並開動加熱器.h. 更換濾蕊及開動過濾泵.i. 升溫至 32 C.j. 取樣分析，調校濃度達控制范圍.Desmear-PTH
11、116) 化學沉銅工藝生產線開工規則6.1 生產前準備6.1.1. 先開動所有過濾泵後, 再開動所有加熱器.6.1.2. 補足所有藥品缸的水位,通知化驗室分析調整葯水含量.6.1.3. 檢查藥水缸溫度a. 膨鬆： 70-80 Cb. 除膠： 70-85 C.c. 預中和： 25-30 Cd. 中和： 20-25 C.e. 清潔： 55-65 C.f. 微蝕 25-32 Cg. 預浸： 28-32 C.h. 活化： 40-46 C.( 不能高於 48C. )i. 化學沉銅： 30-36 C.6.1.4. 檢查所有過濾泵功能.并定時更換濾芯(1 次/7 天), 如發現過濾泵流量不足時,應立即更換濾
12、芯.6.1.5. 檢查洗水缸的流量及打氣.6.1.6. 檢查沉銅 缸的儲液桶的液位是否足夠(C/P880 A, C/P880E, NaOH, HCHO).6.1.7 取樣分析各槽液並補充至標準值 (取樣時必需注意液位是否正常 ).6.1.8 檢查拖缸板是否足夠, 停拉 1-2 小時之內, 每个 沉銅缸需要 1 缸拖缸板,2 小時以上需2 缸拖缸板.拖缸板于每次使用前 需去除銅層方可使用, 最好不要過除膠渣, 從除油缸開始. 6.1.9 檢查自動加藥控制器 ( S/E 471 )a. 按(POWER).b. 等壹至貳分鐘,待顯示錶讀出數值.c. 打開泵電摯 (ON)d. 按 (MAN), 有燈號
13、指示.e. 檢查缸中喉管能否加藥.f. 按(MAN) 至(AUTO).Desmear-PTH126) 化學沉銅工藝生產線開工規則ProwerONOF MAAUTO1234（控製器麵板圖示）6.1.10 完成以上工作後便可生產.6.1.11 自动加药添加比例：(NaOH 和 HCHO 都是 300g/l)880A ：880E ：NaOH ：HCHO=1 ：0.7 ：2.2 ：26.1.12 除胶缸电解再生器电流控制：生产时电流：7001000A（温度要在 60C 以上）停产时电流：500700A（温度要在 60C 以上）Desmear-PTH136) 化學沉銅工藝生產線開工規則(續 )6.2 生
14、產時的補充6.2.1 每生產 一千平方尺按下表作補充.工序 葯品名稱 千尺補充量ML Sweller 1.0 升膨鬆ML SwellerKMnO4 1.0 公斤除膠KMnO4H2SO4 _預中和 H2O2 _中和MLB 216-5 MLB 216-5 0.4公升清潔3325 3325 2 公升NaPS 5.0公斤微蝕H2SO4 2 公 升預浸 404 CC 404 2.5 公斤活化 CAT 44 CAT 44 0.4 公升沉铜880880A880ENaOH(345g/l)HCHO（250g/l）3公 升*2.7公 升*7.2公升*6公升*註: 缸中有板時, 切勿補充葯品.* 自動加药啓動後無需
15、補充.6.3 特別事項6.3.1 CAT 44 的水位補充由於 CAT 44 直接與水混合時會出現分解. 所以如要補充水位時,應該用30-50 g/l CP 404 溶液, 而補充水位每次不能多于 40 升. 6.3.2 由於 CAT 44 與大量空氣接觸時亦會出現分解. 所以要小心以下事項以免帶入太多的空氣帶入缸中.a. 補充大量液體時, 要分數次從缸壁慢慢溜入 ,b. 注意在過濾系統有沒有滲漏,特別在更換濾蕊或喉管後 .Desmear-PTH147) 化學沉銅工藝生產線停工規則.7.1 關掉所有藥水槽中的加熱器.7.2. 關掉洗水缸的入水掣及打氣掣.7.3. 保持沉銅缸 C/P 880 有打氣及過濾.7.4 關掉行車電掣.7.5 關掉自動加藥控制器.7.5.1 關掉加藥泵.( 沉銅缸自動加藥泵可提前 2 缸缸關閉)7.5.2 關掉電源(POWER).7.5.3 完成.7.6. 降低除膠缸中溫度至 40 C.Desmear-PTH158. 化學沉銅工藝生產線之停電或机械故障處理方法.8.1. 當遇到停電或機械故障的時候,把正浸在化藥品槽溶液中的板取出並放進後面之水缸中.8.2. 如停電及機械故障超過 10分鐘,便要把所有板從水缸取出重做.8.3.
