2014光电传感器第9讲

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1、第七章 光电式传感器,第一节 概述 第二节 外光电效应器件 第三节 内光电效应器件 第四节 新型光电传感器 第五节 光敏传感器的应用举例,光电传感器是各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件,它是把光信号(红外、可见及紫外光辐射)转变成为电信号的器件。,一、光谱 光波:波长为10106nm的电磁波 可见光:波长380780nm 紫外线:波长10380nm, 波长300380nm称为近紫外线 波长200300nm称为远紫外线 波长10200nm称为极远紫外线, 红外线:波长780106nm 波长3m(即3000nm)以下的称近红外线 波长超过3m 的红外线称为远红外线。 光谱分布如图所示。,第一

2、节 概 述,远紫外,近紫外,可见光,近红外,远红外,极远紫外,0.01,0.1,1,10,0.05,0.5,5,波长/m,波数/cm-1,频率/Hz,光子能量/eV,106,105,104,103,5105,5104,5103,1015,51014,1014,51013,100,10,1,50,5,0.5,51015,1016,31018,光的波长与频率的关系由光速确定,真空中的光速c=2.997931010cm/s,通常c31010cm/s。光的波长和频率的关系为 的单位为Hz,的单位为cm。,=31010cm / s,二、光源(发光器件) 发光二极管LED(Light Emitting D

3、iode) 由半导体PN结构成,其工作电压低、响应速度快、寿命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。 在半导体PN结中,P区的空穴由于扩散而移动到N区,N区的电子则扩散到P区,在PN结处形成势垒,从而抑制了空穴和电子的继续扩散。当PN结上加有正向电压时,势垒降低,电子由N区注入到P区,空穴则由P区注入到N区,称为少数载流子注入。所注入到P区里的电子和P区里的空穴复合,注入到N区里的空穴和N区里的电子复合,这种复合同时伴随着以光子形式放出能量,因而有发光现象。,电子和空穴复合,所释放的能量Eg等于PN结的禁带宽度(即能量间隙)。所放出的光子能量用h表示,h为普朗克常数,为光的频率。则,普朗克

4、常数h=6.610-34J.s;光速c=3108m/s; Eg的单位为电子伏(eV),1eV=1.610-19J。,hc=19.810-26mWs=12.410-7meV。 可见光的波长近似地认为在710-7m以下,所以制作发光二极管的材料,其禁带宽度至少应大于,h c /=1.8 eV,普通二极管是用锗或硅制造的,这两种材料的禁带宽度Eg分别为0.67eV和1.12eV,显然不能使用。,通常用的砷化镓和磷化镓两种材料固溶体,写作GaAs1-xPx,x代表磷化镓的比例,当x0.35时,可得到Eg1.8eV的材料。改变x值还可以决定发光波长,使在550900nm间变化,它已经进入红外区。 与此相

5、似的可供制作发光二极管的材料见下表。,表4.1-1 LED材料,发光二极管的伏安特性与普通二极管相似,但随材料禁带宽度的不同,开启(点燃)电压略有差异。图为砷磷化镓发光二极管的伏安曲线,红色约为1.7V开启,绿色约为2.2V。,U/V,I/mA,注意,图上的横坐标正负值刻度比例不同。一般而言,发光二极管的反向击穿电压大于5V,为了安全起见,使用时反向电压应在5V以下。,-10,-5,0,1,2,GaAsP(红),GaAsP(绿),发光二极管的光谱特性如图所示。图中砷磷化镓的曲线有两根,这是因为其材质成分稍有差异而得到不同的峰值波长p 。除峰值波长p决定发光颜色之外,峰的宽度(用描述)决定光的色

6、彩纯度,越小,其光色越纯。,0.2,0.4,0.6,0.8,1.0,0,600,700,800,900,1000,GaAsP,p=670nm,p=655nm,GaAsP,p=565nm,GaP,p=950nm,GaAs,发光二极管的光谱特性,/nm,相对灵敏度,三、光电效应 是指物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能量,从而产生的电效应。光电传感器的工作原理基于光电效应。光电效应分为外光电效应和内光电效应两大类 1、外光电效应 在光线的作用下,物体内的电子逸出物体表面向外发射的现象称为外光电效应。向外发射的电子叫做光电子。基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍增管等。,光子是具有能量的粒

7、子,每个光子的能量:,E=h,h普朗克常数,6.62610-34Js;光的频率(s-1),根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受一个光子的能量,所以要使一个电子从物体表面逸出,必须使光子的能量大于该物体的表面逸出功,超过部分的能量表现为逸出电子的动能。外光电效应多发生于金属和金属氧化物,从光开始照射至金属释放电子所需时间不超过10-9s。 根据能量守恒定理 式中 m电子质量;v0电子逸出速度。,该方程称为爱因斯坦光电效应方程。,光电子能否产生,取决于光电子的能量是否大于该物体的表面电子逸出功A0。不同的物质具有不同的逸出功,即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称为红限频率或波长限。光线频率低于红限

8、频率,光子能量不足以使物体内的电子逸出,因而小于红限频率的入射光,光强再大也不会产生光电子发射;反之,入射光频率高于红限频率,即使光线微弱,也会有光电子射出。,当入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强成正比。即光强愈大,意味着入射光子数目越多,逸出的电子数也就越多。,光电子逸出物体表面具有初始动能mv02 /2 ,因此外光电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压,也会有光电子产生。为了使光电流为零,必须加负的截止电压,而且截止电压与入射光的频率成正比。,当光照射在物体上,使物体的电阻率发生变化,或产生光生电动势的现象叫做内光电效应,它多发生于半导体内。根据工作原理的不同,内光电效应分为光电

9、导效应和光生伏特效应两类: (1) 光电导效应 在光线作用,电子吸收光子能量从键合状态过渡到自由状态,而引起材料电导率的变化,这种现象被称为光电导效应。基于这种效应的光电器件有光敏电阻。,2、内光电效应,过程:当光照射到半导体材料上时,价带中的电子受到能量大于或等于禁带宽度的光子轰击,并使其由价带越过禁带跃入导带,如图,使材料中导带内的电子和价带内的空穴浓度增加,从而使电导率变大。,导带,价带,禁带,自由电子所占能带,不存在电子所占能带,价电子所占能带,Eg,材料的光导性能决定于禁带宽度,对于一种光电导材料,总存在一个照射光波长限0,只有波长小于0的光照射在光电导体上,才能产生电子能级间的跃进

10、,从而使光电导体的电导率增加。,式中、分别为入射光的频率和波长。,为了实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光电导材料的禁带宽度Eg,即,(2) 光生伏特效应 在光线作用下能够使物体产生一定方向的电动势的现象叫做光生伏特效应。 基于该效应的光电器件有光电池和光敏二极管、三极管。 势垒效应(结光电效应)。 接触的半导体和PN结中,当光线照射其接触区域时,便引起光电动势,这就是结光电效应。以PN结为例,光线照射PN结时,设光子能量大于禁带宽度Eg,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在阻挡层内电场的作用下,被光激发的电子移向N区外侧,被光激发的空穴移向P区外侧,从而使P区带正电,N区带负电,

11、形成光电动势。,侧向光电效应。 当半导体光电器件受光照不均匀时,有载流子浓度梯度将会产生侧向光电效应。当光照部分吸收入射光子的能量产生电子空穴对时,光照部分载流子浓度比未受光照部分的载流子浓度大,就出现了载流子浓度梯度,因而载流子就要扩散。如果电子迁移率比空穴大,那么空穴的扩散不明显,则电子向未被光照部分扩散,就造成光照射的部分带正电,未被光照射部分带负电,光照部分与未被光照部分产生光电动势。基于该效应的光电器件如半导体光电位置敏感器件(PSD)。,利用物质在光的照射下发射电子的外光电效应而制成的光电器件,一般都是真空的或充气的光电器件,如光电管和光电倍增管。,一、光电管及其基本特性,光电管的

12、结构示意图,光,阳极,光电阴极,光窗,1. 结构与工作原理,光电管有真空光电管和充气光电管或称电子光电管和离子光电管两类。两者结构相似,如图。它们由一个阴极和一个阳极构成,并且密封在一只真空玻璃管内。阴极装在玻璃管内壁上,其上涂有光电发射材料。阳极通常用金属丝弯曲成矩形或圆形,置于玻璃管的中央。,第二节 外光电效应器件,光电器件的性能主要由伏安特性、光照特性、光谱特性、响应时间、峰值探测率和温度特性来描述。 (1) 光电管的伏安特性,2. 主要性能,在一定的光照射下,对光电器件的阴极所加电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电管的伏安特性。光电管的伏安特性如图所示。它是应用光电传感器参数的主要

13、依据。,图4.2-2 光电管的伏安特性,50,20lm,40lm,60lm,80lm,100lm,120lm,100,150,200,0,2,4,6,8,10,12,阳极与末级倍增极间的电压/V,IA/ A,(2) 光电管的光照特性 通常指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时,光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性。其特性曲线如图所示。曲线1表示氧铯阴极光电,管的光照特性,光电流I与光通量成线性关系。曲线2为锑铯阴极的光电管光照特性,它成非线性关系。光照特性曲线的斜率(光电流与入射光光通量之间比)称为光电管的灵敏度。,光电管的光照特性,25,50,75,100,2,0,0.5,1.5,2

14、.0,/1m,IA/ A,1.0,2.5,1,(3)光电管光谱特性 由于光阴极对光谱有选择性,因此光电管对光谱也有选择性。保持光通量和阴极电压不变,阳极电流与光波长之间的关系叫光电管的光谱特性。一般对于光电阴极材料不同的光电管,它们有不同的红限频率0,因此它们可用于不同的光谱范围。除此之外,即使照射在阴极上的入射光的频率高于红限频率0,并且强度相同,随着入射光频率的不同,阴极发射的光电子的数量还会不同,即同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同,这就是光电管的光谱特性。所以,对各种不同波长区域的光,应选用不同材料的光电阴极。,国产GD-4型的光电管,阴极是用锑铯材料制成的。其红限0=7000,它

15、对可见光范围的入射光灵敏度比较高,转换效率:25%30%。它适用于白光光源,因而被广泛地应用于各种光电式自动检测仪表中。对红外光源,常用银氧铯阴极,构成红外传感器。对紫外光源,常用锑铯阴极和镁镉阴极。另外,锑钾钠铯阴极的光谱范围较宽,为30008500,灵敏度也较高,与人的视觉光谱特性很接近,是一种新型的光电阴极;但也有些光电管的光谱特性和人的视觉光谱特性有很大差异,因而在测量和控制技术中,这些光电管可以担负人眼所不能胜任的工作,如坦克和装甲车的夜视镜等。 一般充气光电管当入射光频率大于8000Hz时,光电流将有下降趋势,频率愈高,下降得愈多。,二、光电倍增管及其基本特性,当入射光很微弱时,普通光电管产生的光电流很小,只有零点几A,很不容易探测。这时常用光电倍增管对电流进行放大,下图为其内部结构示意图。 1. 结构和工作原理,由光阴极、次阴极(倍增电极)以及阳极三部分组成。光阴极是由半导体光电材料锑铯做成;次阴极是在镍或铜-铍的衬底上涂上锑铯材料而形成的,次阴极多的可达30级;阳极是最后用来收集电子,的,收集到的电子数是阴极发射电子数的105106倍。即光电倍增管的放大倍数可达几万倍到几百万倍。光电倍增管的灵敏度就比普通光电管高几万倍到几百万倍。因此在很微弱的光照时,它就能产生很大的光电流。,(1)倍增系数M 倍增系数M等于n个倍增

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