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1、大面积多层膜沉积技术一、大面积薄膜沉积设备介绍及工艺流程1、溅射原理定义：溅射镀膜是一个极其复杂的过程，溅射沉积过程中，一般把受到离子轰击的表面看作供应材料，作为生长薄膜的源。1.电离工作气体，Ar等；2.使工作粒子获得足够的能量，并轰击源物质的固体表面；3.与源物质分子或者原子交换能量，使源物质从固体表面溅射出来；4.固体分子或者原子溅射出来后，向基片方向输运；5.薄膜的形成 2、连续溅射镀膜线配置靶材的结构和尺寸Si靶或者Ti靶110mm1150mm中频交流反应磁控溅射3、基架回件与抽气系统4、靶材的结构和尺寸5、设备工作流程6、工艺流程过程控制二、 大面积AR Coating 连续溅射技
2、术1、需有高折射率（H）和低折射率（L）两种材料（中折射率（M）材料）；1、多层介质膜干涉理论光束在多层介质膜中的传输模型2、多层膜干涉的条件2、需有高低折射率材料形成交替的叠层，产生对特定波长光的干涉效应； 3、各层材料需由真空蒸发、溅射或者溶胶凝胶法（SolGel）等方法形成膜层，高低折射率层形成干涉界面；4、同一层必须保证为各向同性（保证膜层厚度一致，折射率一致）；5、各层膜层在工作波长内区域内吸收很小或者没有吸收。3、抗反射（AR）增透膜定义：减反射增透膜（ AntiRefletance简称AR膜） 是在玻璃基片上镀多层复合光学膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通
3、过精心的膜层设计和膜厚严格控制，利用干涉效应减少基片表面反射。抗反射增透膜的应用领域。 液晶显示（LCD） 液晶电视（LCDTV） 触摸屏液晶显示（TPLCD） 汽车玻璃 太阳能电池 阴极射线管显示（CRT） 等离子显示（PDP） 手机屏 汽车表盘 仪表显示板 作用：增加背光源的透射率，减少外界光线的反射；获得高的色彩对比度；同时获得好的外观色彩。4、抗反射增透射的LCD效果5、传统LCD显示和镀AR Coating的LCD显示屏的对比：目前防反射技术：可以减少外部光线的反射强度。缺点：1、反射光将使图像模糊；2、使LCD的图像失真。AR Coating的LCD显示屏1、减小反射光强度，表面反
4、射降低到0.5%以下，防止产生眩光；2、表面为光滑的镀膜面，减少图像失真；3、增加LCD的出射光强度，增加图像的对比度；4、可以产生更宽的视角；5、LCD显示色彩更鲜明。6、抗反射膜的膜结构设计AR（Anti-Reflective Glass）光学技术与护眼涂层的结合，不仅可以有效防眩防反光，同时具备最高达99.5%的超高的透光率及超亮彩性能。 抗反射膜的膜结构设计:应用领域：汽车玻璃、太能电池等；抗反射特点：1、可见光透过率最高峰值99%可见光平均透过率超过95，大幅提高LCD、PDP原有亮度。2、 平均反射率低于4%，最低谷值0.5%有效削弱因背后强光导致画面变白之缺憾，享受更清晰的影像画
5、质。3、色彩更艳丽、对比更强使图像色彩对比更强烈，景物更清晰。4、抗紫外线，有效保护眼睛紫外线光谱区透过率大幅降低，可有效阻绝紫外线对眼睛之伤害。5、良好的导热性良好的导热性能，克服了目前使用的镀膜压克力不易导热的弱势，从而防止PANEL过热，延长了LCD寿命。6、膜层附着能力强新济达“AR玻璃使用是磁控溅射沉积膜层，通过光学折射原理，提高玻璃透光度。7、 耐高温AR玻璃耐温500度(一般压克力只能耐温80度)8、防刮耐磨性最佳AR玻璃膜层硬度与玻璃相当,大于7H，（一般PC板硬度约为2H至3H）。9、可耐各种清洁剂清洗耐酸、碱清洗剂之擦拭，膜层不受损坏。10、抗冲击性强3mm厚度玻璃的冲击性能相当于6mm压克力。11、保持视角一般压克力在安装后，视角会边小；而AR玻璃装上后，视角不会变小。12、外观AR玻璃表面平整度远远优于镀膜压克力，并且尺寸越大，相差越明显。13、AR玻璃冷热变形几乎可以省略不计，适用于各类环境；同时，AR玻璃具有琉璃感，外观更漂亮。7、技术难点 1、多层膜连续反应溅射气路设计； 2、多层膜连续反应溅射靶材布置； 3、多层膜大面积镀膜均匀控制； 4、多层膜光学设计与厚度控制。
