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1、洁净室标准规格说明 洁净室标准规格说明 目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标 准 209D 之洁净室规格。 表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格 表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格 微尘粒子 压力 温度 风速与换气率（次 /hr) 照度 lux 洁净室级 数 （Class) 粒子大 小 um 粒子数目 Particles/ft 3 mmAg 值域 推薦 值 误差 值 最大 MAX% 最小 MIN% 误差 % 0.5 1 1 5.0
2、0 0.5 10 10 5.0 0 0.5 100 100 5.0 1 层流方式 0.350.55 m/s 0.5 1000 1000 5.0 10 0.5 10000 10000 5.0 65 0.5 100000 100000 5.0 700 1.3 19.425 22.2 2.8 特 殊 需 求 1.4 45 30 10 特 殊 需 求 5 乱流方式20 次 /hr 1080 1620 至于 209E 和 209D 等最大之不同点在于 209E 表示单位增加了公制单位，即洁净室等 级以“M”字头表示，如 M1、M1.5、M2、M2.5、M3依此类推，其目的在于配合国际 公制单位之标准化。
3、M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中0.5um 之微尘粒子数目 字以 10 的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即 非整数，则以 1.5、2.5、或 3.5等表示之。表 1-2 即为 1992 年 9 月新颁布之美国 联邦标准 209E 之内容，前述之 M 字母后的数字，可从表中 0.5um 列的数值中求出，读者 可试算之。 表 1-2 美国联邦标准 209E 表 1-2 美国联邦标准 209E 微尘粒子 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 洁净度等级 单位 单位 单位 单位 单位 公制 英制 (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 )
4、(ft 3 ) (m 3 )(ft 3 )(m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 -
5、- 26500 750 10600300 3530 100 - - M4 - - 75700 2140 30900875 10000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 - - - - - - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 2470 70.0 M6 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - - 3530000 100000 24700 700 M7 - - - - - -
6、 10000000283000 61800 1750 美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每 立方公尺为单位； 另外209D与日本JIS （B9920-1989） 标准中另一不同点为209D是以0.5um 之粒子数为计数基准，而日本则以 0.1um 微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以 Class1,Class2,Class3,Class8 表示，即最好之等级为 Class1,最差则为 Class8, 表 1-3 为日本 JIS （9920-1989） 之标准规定的粒子上限数 （个/m 3 ） 。 其 Class1， Class2. 之数目字以 0
7、.1um 粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 之幂次方，取 其指数而得。 表 1-3 日本 JIS（9920 1989）标准 表 1-3 日本 JIS（9920 1989）标准 粒径 级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5Class6 Class7 Class8 0.1 10 1 10 2 10 310 4 10 5 10 6 10 7 10 8 0.2 2 24 2362，360 23，600- - - 0.3 1 10 1011，010 10，100101，0001，010，00010，100，000 0.5 - - 35 350 3，
8、50035，000 350，000 3，500，000 5.0 - - - - 29 290 2，900 29，000 在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技 术，因此在 1967 年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国 规格不同， 其表示法是以 4*10”的形式表示粒径 0.5um 以上之粒子数， 而以其中之指数 n 规定等级，如 4*10 3 即表示等级为 3，此等级与美国联邦规格 Class100 想近似。表 1-4 为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。 表 1-4 德国规格表 表 1-4 德国规格表 微尘粒径(
9、um) 与别国等级比较 等级 0.5 1 5 美国 法国 3 4*10 3 1*10 3 - 100 4000 4 4*10 4 1*10 4 0.03*10 4 - - 5 4*10 5 1*10 5 0.03*10 5 10000 400000 6 4*10 6 1*10 6 0.03*10 6 100000 4000000 美国联邦标准 209D 标准粒子之数目上限值（个/ ft 3 ）（以 0.5u 粒子为依准）。 由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同， 为让使用人员有一快速之获知二者之相 近标准等级， 以期运用于工作上， 故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算， 如表 1-6.
10、 表 1-5 美国 209D 规定粒子数（上限值） 表 1-5 美国 209D 规定粒子数（上限值） 等级 Class1 Class10 Class100 Class1000 Class10，000 Class100，000 0.1 35（1，225） 350（12，250- - - - 0.2 7.5（263） 75（2，630）750（26，300）- - - 0.3 3（105） 30（1，050）300（10，500）- - - 0.5 1（35） 10（350） 100（3，500） 1000（35，000） 10，000（350， 000） 100，000（3，500， 000）
11、5.0 - - - 7 70 700 *（）内之数值单位：个/M 3 。 表 1-6 美日洁净度级别换算 表 1-6 美日洁净度级别换算 日本 美国 级别 3 Class 1 级别 4 Class 10 级别 5 Class 100 级别 6 Class 1000 级别 7 Class 10000 级别 8 Class 100000 除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中 国大陆之规格，表 1-7 即为世界各国洁净度等级规格之比较。 表 1-7 世界各国洁净度等级规格表 表 1-7 世界各国洁净度等级规格表 国名 美国 美国 日本 英国德国 法国 澳洲韩国
12、中国大陆 规格 FS209D FS209E JIS B 9920 BS 5295VDI 2083 AFN 4410 AS 1386KS QJ2214 年度 1988 1992 1989 19891990 1981 19891991 1991 基准粒子(um) 0.5 0.5 0.1 0.5 1 0.5 0.5 0.3 0.1 0.5 单位 pcs/ft 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3pcs/M 3 pcs/M 3pcs/M 3 pcs/M 3 - - 1 - - - - M1 0.1um 1 - M1 2 - 0 - - M10 0.1um 5 1 M1.5 3 C 1 - 0.035M100 0.1um 10 10 M2.5 4 D 2 - 0.35M1000 1 100 M3.5 5 E or F3 4,000 3.5 M10000 100 1000 M4.5 6 G or H4 - 35 M100,000 1,000 10,000 M5.5 7 I 5 400,000350 M1,000,000 10,000 100,000 M6.5 8 J 6 4,000,0003500M10,000,000 100,000 - M7 - K 7 - - - - Class - - - L - - - - - *以 0.5um 为区别。
