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1、HWR-II-2 型不锈钢硅烷燃烧塔操作维护说明HWR-II-2 型不锈钢硅烷燃烧塔的作用是处理 PECVD 尾气中的硅烷和氨气，它的工作原理是硅烷与输入的压缩空气或新风补气口补入的空气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量的二氧化硅粉尘；氨气采用水吸收形成氨水。一般设备运行二个月左右需清理二氧化硅粉尘，八个月至一年需清洗设备内部的吸收填料、收水填料及喷头，具体操作如下： 1、清理二氧化硅粉尘在清理粉尘时，需先关闭粉尘清渣阀门。如：清理左集尘箱内的粉尘时，使用二把与阀螺栓同规格的扳手，一把固定在阀螺栓上用于开启及关闭阀门，一把固定在紧固螺帽上用于松开或拧紧螺帽（紧固螺帽的作用是固定阀门） ，
2、首先松开紧固螺帽，然后关闭阀门，阀门关闭后拧紧紧固螺帽。完成关闭粉尘清渣阀门后打开清渣箱盖板，清除不锈钢硅烷燃烧塔腔体内的二氧化硅粉尘，清理完毕后盖上清渣口盖板，打开清渣阀门，拧紧阀柄紧固螺帽即可。2、粉尘吹扫HWR型硅烷燃烧塔是双气流进气设计，该设计主要便利可不停机清渣保养，当设备运行一个月后，应打开左、右气流上的粉尘吹扫口（如图10、11）进行清渣。清渣过程如下：首先拧下左右粉尘吹扫口的两个闷头，用直径的软管插入塔体内，接上压缩空气，向塔体里吹扫一下即可，吹扫后的粉尘掉入循环箱，由循环箱内的粉尘自动溢流分理系统自动溢流掉。吹扫完毕后拧上闷头螺栓即可。、填料更换硅烷氧化燃烧后生成的二氧化硅粉
3、尘大部分会沉积在集尘箱内，少量粉尘会由气流带至喷淋系统中并溶入水中，久而久之，这部分二氧化硅粉尘会堵塞填料，从而影响抽风，所以填料需定时清洗或更换。HWR-II-2 型不锈钢硅烷燃烧塔喷淋室分左右两室，当需要更换左喷淋室填料时，首先关闭左气流阀门，再关闭左喷淋管的水阀，然后关闭设备出气口的同系统阀，同时关闭气流隔断阀门，打开检修孔，取出堵塞的填料，装入新的填料。更换收水填料时，打开（图 2）设备顶部的检修孔盖板，取出堵塞的填料，装入新的收水填料，盖好检修孔盖板，按顺序打开气流割断阀门，出气口风阀，开启左喷淋系统的阀门，然后打开设备内部的气流阀即可。更换右喷淋的填料时，顺序与之相同。、氨气主要依
4、靠水吸收，而水吸收氨气到一定程度后会饱和从而无法吸收氨气，为了防止循环液饱和，当设备运行三天左右后，必须放空循环液，重新注入外供水。5、补水系统由流量计上的阀门控制，设备补水有两个作用：一是防止吸收氨气的循环液饱和，二是用于分离粉尘。一、水泵检修事项1、开机时应检查水泵的运转方向是否准确；2、检查左、右喷淋腔的喷淋系统阀门，在正常运行时（如图 1、2）的水泵阀门应全部打开，水泵阀门的手柄水平方向为开，手柄垂直方向为关闭；3、当水泵开启后，可通过观察喷淋管上水压表的读数来判断水泵是否处于正常状态，一般水压表在 0.8 以上表明水泵运行正常；喷淋系统则可通过检修孔的透明视镜来目测监视；4、开机时首
5、先应注满水，水位高度在溢流口下边缘处，然后调整进水口（图 6）内的自动补水浮球阀，使其到达该液位是停止进水。打开补水阀并保持常开状态，同时通过调节补水流量计上的调节阀来控制流量，正常补水量为200300L/h 之间。二、检查各气流阀门及清渣阀门1、开机时应检查气流阀门的状态，气流阀门分左、右气流阀，左右气流阀门作用是便于不停机下更换填料等。其中左进气流阀向右旋为开启状态，向左拧紧为关闭状态，在正常运行时应旋转至打开位置，然后拧紧固定螺帽，正确方向注意设备上的图案（如图 10、11） 。右进气流阀向左为开启，向右旋转为关闭状态，正常运行时，应旋转至开启位置，然后拧紧固定螺帽，正确方向注意设备上的
6、图案（如图 2） 。2、开机前应确保左右清渣阀门处于开启状态。检查左清渣阀门时，用与连杆螺帽同规格的扳手固定连杆阀的螺帽，松开固定螺帽，然后把连杆螺帽向左旋转到开启位置，拧紧固定螺帽即可（如图 17） 。检查右清渣阀门时，用与连杆螺帽同规格的扳手固定连杆阀的螺帽，松开固定螺帽，然后用力向右旋转至开启状态，拧紧固定螺帽即可（如图 18） 。三、检查补气量在正常运行时，首先调整压缩空气的补气量，HWR型的压缩空气补气量为每小时 1015m3/h，如果压缩空气的补气量受条件限制，可调节新风补气口风阀，利用大气补充空气。氮气是保护安全的一种手段，工艺正常情况下，氮气可忽略使用，从安全角度来讲，氮气一般调节至 20L/min。四、风机完成上述三项工作后，可打开风机，在整个不锈钢硅烷处理系统中，风机一般采用双风机备用形式，当一台风机运行时，另一台作为备用。打开风机时，风机前的阀门应同时打开。风机有自动和手动两种形式，自动形式：电动阀在运行时可与风机联动，风机打开时，风阀出同时打开，风机停止时，电动阀也自动关闭，缺点是电动阀出现故障时容易造成安全隐患。手动形式：手动阀稳定性较好。
