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1、任务三 使用激光干涉仪检测数控机床直线滚动导轨的平行度 一、水平平面内直线滚动导轨平行度的测量原理 线性平行度是用来确定两个平行的坐标轴之间的偏差。 应用激光干涉仪进行平行度测量的原理是用一个公用的直线度数据，得出两个平行轴的平行度数据。 图4-56所示为测量轴1 水平方向的直线度布局；图4-57所示为测量轴2水平方向的直线度布局。 注意在测量轴2水平方向的直线度时，一定要确保直线度反射镜固定不动，并不做任何调整，以此作为两次测量的基准。,图4-56 轴1在水平方向直线度测量布局俯视图,图4-57 轴2在水平方向直线度测量布局俯视图,二、应用激光干涉仪测量十字滑台线性导轨平行度 1.光学元件的
2、固定与安装（表4-15） 表4-15 光学元件的固定与安装步骤,表4-15 光学元件的固定与安装步骤,2.光路的准直 （1）准直直线度干涉镜，在轴1整个行程上移动滑块，使激光光束始终能打在光靶的中心。 （2）直线度反射镜的调整，在轴1整个行程上移滑块动，使反射镜的返回光始终能通过直线度干涉镜回光孔，最终回到激光光闸回光孔。 （3）用人工去除斜率误差的方法来进一步精密调准激光光束。 （4）误差数值的正方向设定,如图4-58，测量时直线度干涉镜从靠近反射镜的一端向激光头一端移动，直线度误差值的正方向向右。当测量轴2的水平方向直线度时，误差数值的正方向设定应与轴1的正方向设定一致。,图4-58 误差
3、数值的正方向设定,3.数据采集 根据直线滚动导轨的长度，决定测量长度为400 mm ，测量间隔为50 mm 。然后完成测量软件的定义 按照软件设定的要求，并按规定的方向移动滑块，手动采集数据，直至所有点。点击完成。将数据文件另存为“轴1.stx ” 4. 重复1到3的步骤，完成轴2的水平方向直线度的测量，注意使用相同的误差数值的正方向设定。数据文件为“轴2.stx ” 5.数据分析，见表4-16,表4-16 十字滑台线性导轨平行度数据分析,实训任务 1.应用激光干涉仪检测数控车床Z轴水平方向的直线度 （1）列出所用的光学元件名称及作用（表4-17）,（2）填写测量步骤表格（表4-18）,2.应
4、用激光干涉仪检测数控车床Z轴垂直方向的直线度 （1）列出所用的光学元件及作用（表4-19）,（2）填写测量步骤表格（表4-20）,3.应用激光干涉仪检测立式加工中心Z轴X-Z平面内的直线度 （1）列出所用的光学元件及作用（表4-21）,（2）填写测量步骤表格（表4-22）,4.应用激光干涉仪测量立式加工中心X轴与Z轴的垂直度 （1）列出所用的光学元件及作用（表4-23）,（2）填写测量步骤表格（表4-24）,5.应用激光干涉仪检测十字滑台线性导轨平行度 （1）列出所用的光学元件及作用（表4-25）,（2）填写测量步骤表格（表4-26）,6.思考题 （1）激光干涉仪检测数控机床导轨直线度的原理是什么？ （2）数控机床导轨直线度测量的正确步骤是什么？ （3）安全操作激光干涉仪有哪些注意事项？ （4）如何正确保养激光干涉仪？ （5）激光干涉仪测量数控机床导轨垂直度的原理是什么？ （6）测量数控机床两条垂直轴的垂直度误差需要用哪些光学元件？ （7）激光干涉仪检测数控机床十字滑台导轨平行度的原理是什么？ （8）数控机床十字滑台导轨平行度测量的正确步骤是什么？,
